7.
從
USB
隨身碟中選擇資料庫。前往「
USB
」
>
「
Database (
資料庫
)
」
>
「
Backup 20XX.XXX (
備份
20XX.XXX)
」
>
TEIS_DATA.FDB
8.
關閉軟體並重新啟動電腦。
第
5
節 啟動
要收集的項目：流量計
第一次使用分析儀時，請執行下列步驟：
1.
開啟電腦電源。
2.
開啟分析儀的電源開關。
3.
開啟氣體供應。確定氣體壓力小於
8
巴
(116 PSI)
。
4.
啟動
TEIS2
軟體。以服務工程師認證登入。
5.
等待軟體中的所有裝置顯示為已連線。
6.
使用流量計檢查氣體接口。然後安裝正確的項目。
a.
將流量計連接至加濕器的右下方接口。
流量必須為
150 mL/min ± 5 %
。
b.
在加濕器中裝入超純水。小心連接加濕器。
註
請務必將加濕器筆直推入接頭，否則可能會損壞接頭。
c.
將流量計連接至爐膛頂部的載氣配管。
流量必須為
150 mL/min ± 5 %
。
d.
連接爐膛頂部的載氣配管。安裝爐膛頂蓋。
e.
將流量計連接至
IC
管的中間接口。
流量必須為
150 mL/min ± 5 %
。
f.
小心安裝
IC
管。在
IC
管的中間施加壓力。
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