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PCU LED N
2
10. Monitoring
Erklärung der Parameterdarstellung im finalen Screen in der Anwenderebene
Darstellung Bedeutung
216
Laufnummer (Anzahl der Belichtungsjobs)
01.01.2000
Datum
01:17:35
Uhrzeit
040
LED-Intensität der oberen Panels in %
040
LED-Intensität der unteren Panels in %
0800
Belichtungsdauer [Stelle 1 und 2: Minuten; Stelle 3 und 4: Sekunden]
1
Vakuum AN [1 – AN; 0 – AUS]
0
Stickstoff AUS [1 – AN; 0 – AUS]
Aufschlüsseln der Fehlercodes im finalen Screen in der Anwenderebene
Code
Zustand
Hintergrundanzeige
00
Fehlerfreier Ablauf
Grün
01
Pumpe läuft während des Belichtungsvorganges Rot
02
Pumpe kann kein Vakuum ziehen
Rot
03
Deckel geöffnet
Rot
04
Kein Stickstofffluss
Rot
05
Programmablaufzeit=0
Rot
06
LED Fehler im Programm LED Test
Rot
Die verschiedenen Prozessparameter werden durch die in der PCU LED N
2
verbaute
Sensorik erfasst. Im finalen Screen in der Anwenderebene werden diese angezeigt.
Code
Störung
Ursache
Fehlerbehebung
02
Pumpe kann kein
Vakuum ziehen.
Abschaltung nach
150 Sekunden
Deckeldichtung der
Belichtungskammer
undicht
Erneuern der
Deckeldichtung
Schläuche des Vakuum-
systems undicht
Erneuern der
Schläuche
Vakuumpumpe
defekt
Austauschen der
Vakuumpumpe
03
Deckel geöffnet
Deckel nicht
geschlossen
Deckel schließen
Deckelsteuerung
(Endschalter) defekt
Deckelsteuerung
(Endschalter) aus-
tauschen
04
Kein Stickstofffluss
Stickstoffventil an
der Gasflasche nicht
geöffnet. Achtung:
Das Gerät darf mit
einem maximalen
Druck von 5 bar (70
psi) bedient werden.
Stickstoffventil
öffnen
05
Programmlaufzeit = 0
Es wurde keine
Programmlaufzeit
gesetzt
Programmlaufzeit
> 0 speichern
06
LED Fehler im Programm
LED Test
LEDs defekt
LEDs müssen von
einem Fachmann
getauscht werden
Weitere
Gerät zeigt keine
Funktion
Netzverbindung nicht
korrekt
Netzverbindung
kontrollieren
Hauptschalter aus
Hauptschalter
einschalten
Hauptschalter defekt
Hauptschalter
austauschen
11. Störungshilfeplan
Code
Störung
Ursache
Fehlerbehebung
00
Fehlerfreier Ablauf
Entfällt
Entfällt
01
Pumpe läuft während
des Belichtungsvor-
ganges
Deckeldichtung der
Belichtungskammer
undicht
Erneuern der
Deckeldichtung
Schläuche des
Vakuumsystems
undicht
Erneuern der
Schläuche