14
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
3. Flow Sheet
The figure below shows the flow diagram of MP-300K (fixed automatic type 2)
Figure 3-1
Flow diagram
Ｓ
Ｖ
－
１
Ｓ
Ｖ
－
４
Ｓ
Ｖ
－
３
Ｓ
Ｖ
－
２
Ｐ
φ
６
×
ｔ
１
Cr
yo
ge
ni
c
So
le
no
id
Va
lv
e
(A
ut
o
1)
LN
2
Su
pp
ly
Li
ne
Cr
yo
ge
ni
c
So
le
no
id
Va
lv
e
(A
ut
o
2)
LN
2
Su
pp
ly
Li
ne
Cr
yo
ge
ni
c
So
le
no
id
Va
lv
e
(M
an
ua
l)
LN
2
Di
sp
en
se
Fl
ex
ib
le
Ho
se
Pr
es
su
re
Re
gu
la
to
r
No
rm
al
Te
mp
er
at
ur
e
So
le
no
id
Va
lv
e
Co
nt
ro
l
Ci
rc
ui
t
Te
mp
er
at
ur
e
In
di
ca
to
r
（
TI
）
Pr
es
su
re
Re
li
ef
Va
lv
e
Pr
es
su
re
Me
te
r
Co
ld
he
ad
Ca
bl
e
He
li
um
Ga
s
Li
ne
Pow
er
Cab
le
Remo
teC
able
(p
ol
yu
re
th
an
e
re
si
n
pa
in
t)
He
li
um
Co
mp
re
ss
or
Po
we
r
Ca
bl
e
Ni
tr
og
en
Ga
s
Ge
ne
ra
to
r
Coo
lin
gW
ate
rH
ose
