
第
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页
共
26
页
6.1.5
阀控功能
当阀开关置于阀“控位”时
,
用户也可通过外控信号插座上的“阀控”线控制阀门
, (
参
照图
3
和图
9)
,当阀控线接
+15V
时,阀门关闭;当阀控线接
-15V
时,阀门开到最大,处
于清洗状态;当阀控线悬空时,阀门处于自动控制状态。
6.1.6
关机操作
切断电源后,流量自动截止。最好先关气(将阀控开关置于“关闭”位和关闭气路中
的截止阀)
,
后断电源。
6.2
质量流量计的操作
6.2.1
开机预热
:
使用前,先接通电源预热
15
分钟。
6.2.2
检查和调整零点
预热后
,
检查流量计的零点(特别是在首次使用时)
,
参见
5.5
条
,
在不通气的情况下
,
可以通过调零电位器调零。
6.2.3
通气工作
:
待零点稳定后
,
即可通气工作。注意观察气体流量
,
最好不要超过满量程使用。
6.2.4
关机
:
切断电源
,
即停止流量计的测量工作
,
不影响通道流过的气体流量。
7.
注意事项
7.1
禁用流量介质
使用气体必须净化,切忌粉尘、液体和油污。必要时,须在气路中加装过滤器等。如果
流量计出口接有液体源瓶
,
应在流量计出口加装单向阀
,
防止液体回流损坏流量计。
7.2
使用腐蚀性气体问题
流量计通道采用的材料为
: 00Cr
17
Ni
14
Mo
2
(
相当于
316L
不锈钢
) ,
氟橡胶等耐蚀材料。
在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下
,
可以用于控制一般的腐蚀性气体。
使用氨气的用户应在定货时声明。
7C
、
7CM
型流量计产品不能用于有机溶剂蒸汽(如丙酮
等)和
BCl
3
、
BBr
3
等强腐蚀性气体。阀口的密封材料通常为氟橡胶或耐氨橡胶,对于
7C
Summary of Contents for D07-7C / ZM
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Page 3: ...1 26 1 D07 2 Mass Flow Meter MFM Mass Flow Controller MFC CVD D07 D07 D08 1...
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Page 13: ...11 26 5 4 a 9 0V 5V 0 A D 5 00V MFC 3mA 0V 5 00V 3 3K 5 00V D A 100K 10 9 A D D A 15V 15V PLC...
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