
第
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页
共
26
页
图
5. D07-7CM
型
MFM
外形图
注意
:
图中的高度 108mm 是不加电缆插头的高度,加上插头后的高度要再增加 50mm 左右。
5.2
气路接头形式
采用标准双卡套接头和
VCR
接头
,
可提供
8
种尺寸接管外径的接头类型
:
a. Compression Fitting
φ
3 mm ; b. Compression Fitting
φ
6 mm ; c. Compression
Fitting
φ
8 mm; d. Compression Fitting
1/8"
(
英制
); e. Compression Fitting
1/4"
(
英制
);
f. VCR
1/4"
(
英制
); g.
φ
6
(内)×
1
软管
; h .
φ
4
(内)×
1
软管。
一般用金属管将质量流量控制器与气路相连接,在要求不高的情况下也可以用尼龙管
或其它较硬的弹性塑料管。双卡套接头的连接方法
,
如图
6
所示。注意流量计通道上的箭
头指示的方向是气流方向
,
进出气方向不能接反。
Summary of Contents for D07-7C / ZM
Page 1: ...D07 7C D07 7CM 2015 12...
Page 3: ...1 26 1 D07 2 Mass Flow Meter MFM Mass Flow Controller MFC CVD D07 D07 D08 1...
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Page 7: ...5 26 2 7C 7CM 7C 4 2 D08 3 3 D D D...
Page 9: ...7 26 0 5 V 5 5 1 7C 7CM 4 5 4 D07 7C MFC...
Page 13: ...11 26 5 4 a 9 0V 5V 0 A D 5 00V MFC 3mA 0V 5 00V 3 3K 5 00V D A 100K 10 9 A D D A 15V 15V PLC...
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Page 18: ...16 26 2 7 3 2 F S 2 7 4 7 5 7 6...
Page 19: ...17 26 7 7 N2 10 1 100 SCCM N2 MFC 86 SCCM 10 1 0 719 86 0 719 61 8 SCCM 10 2...
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