
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本机还设计有外调零功能,当控制器与我厂新生产的(带外调零功能的)
D08
系列流量
显示仪配套工作时,也可以通过显示仪面板上的调零电位器调零。但要注意,外调零的调
节范围比较小,若遇到较大的零点偏移,还需要调节控制器上的调零电位器,才能解决。
6.
使用方法和操作步骤
(
结合
D08
系列流量显示仪
)
6.1
质量流量控制器的操作
6.1.1
开机操作
使用时主要操作在流量显示仪上进行
(
参见图
12)
。阀门控制开关及流量设定电位器在前
面板上,流量设定的内部或外部信号选择开关一般在后面板上。当设定选择开关打到“内”
时,用设定电位器设定流量,打到“外”时,由外部信号设定流量(参见流量显示仪的使
用说明书)。
a.
阀开关处于“阀控”位时,先开气后开电源,则气体流量软启动经过约
20
秒钟达到原设定
值的
5%
以内。一般应先将阀关闭,不通气,通电预热
15
分钟,待零点稳定以后再正式工
作。如果零点偏差较大,参见
5.5
条
,
在不通气的情况下
,
可以通过调零电位器调零。
b.
阀开关处于“关闭”位
,
在开电源预热并开气后
,
再将阀开关置至“阀控”位
,
则流量经过几
秒钟后达到设定流量的
2%
以内。这是推荐操作方法。
c.
阀开关处于“清洗”位,在开电源、开气后,则管路流量达到最大值,起到吹洗气路的作
用。
图
11. 7C
和
7CM
型调节电位器位置图
调零孔
调零
增益
线性
Summary of Contents for D07-7C / ZM
Page 1: ...D07 7C D07 7CM 2015 12...
Page 3: ...1 26 1 D07 2 Mass Flow Meter MFM Mass Flow Controller MFC CVD D07 D07 D08 1...
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Page 7: ...5 26 2 7C 7CM 7C 4 2 D08 3 3 D D D...
Page 9: ...7 26 0 5 V 5 5 1 7C 7CM 4 5 4 D07 7C MFC...
Page 13: ...11 26 5 4 a 9 0V 5V 0 A D 5 00V MFC 3mA 0V 5 00V 3 3K 5 00V D A 100K 10 9 A D D A 15V 15V PLC...
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Page 19: ...17 26 7 7 N2 10 1 100 SCCM N2 MFC 86 SCCM 10 1 0 719 86 0 719 61 8 SCCM 10 2...
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