Inficon PGE500, Руководство по эксплуатации, Страница: 38 / 84

38
tinb21e1 (2016-06)
CH
4
0.0 0.1 0.2 0.5 1.7 3.3 7.7
15.3 30.4 77.2
159
(con
tinued)
Ne
0.0 0.1 0.2 0.5 0.7 1.5 3.5 7.1
14.1 34.8 70.0
D
2
0.0 0.1 0.2 0.5 1.3 2.4 6.0
12.1 24.3 60.0
121
Freon
22
0.0 0.1 0.2 0.5 1.5 3.1 7.0
13.5 27.2 69.0
136
Freon
12
0.0 0.1 0.2 0.5 1.5 3.1 7.6
14.7 29.9 72.5
143
KR 0.0 0.1 0.2 0.5 0.4 1.0 2.3 4.8 9.5
23.5 46.8
CO
2
0.0 0.1 0.2 0.5 1.1 2.3 4.4
11.0 22.2 54.9
107
O
2
0.0 0.1 0.2 0.5 1.0 2.0 5.0 9.7
19.8 49.2 97.2
He
0.0 0.1 0.2 0.5 0.8 1.6 4.0 8.1
16.1 40.5 82.0
Ar
0.0 0.1 0.2 0.5 0.7 1.4 3.3 6.6
13.1 32.4 64.3
N
2
0.0 0.1 0.2 0.5 1.0 2.0 5.0
10.0 20.0 50.0
100
True Tot
al
Pressure
[Torr /
mTorr]
0
mTor
r
0.
1
mTor
r
0.
2
mTor
r
0.
5
mTor
r
1
mTor
r
2
mTor
r
5
mTor
r
10
mTorr
20
mTorr
50
mTorr
100
mTorr