TSP & Remote TSP Controller Users Manual
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Product Safety Labeling
WARNING:
SHOCK HAZARD.
CAN CAUSE
INJURY OR
DEATH. REMOVE
POWER BEFORE
SERVICING.
ALERTE
:
RISQUE DE CHOC.
PEUT CAUSER DES
BLESSURES OU LA
MORT. RETIRER
LA SOURCE
D’ALIMENTATION
AVANT LE
SERVICE.
警告：
点検・修理の際は
必ず全ての電源を
お切りください。
使用者が感電した
り、死亡、または
重傷を負う危険が
あります。
安全警告:
触
电
危
险
。
触
电
可
能
导
致受
伤
或死亡。
请
于
维
修前去掉
电
源。
ADVERTENCIA:
PELIGRO POR
DESCARGA. PUEDE
CAUSAR LESIÓN O
INCLUSO LA
MUERTE. RETIRE Y
DESCONECTE LA
FUENTE DE
ALIMENTACION
ELECTRICA, ANTES
DE PROCEDER AL
SERVICIO DE
REPARACIÓN,
MANTENIMIENTO O
REVISION INTERNA.
ACHTUNG:
GEFAHR ELEKTRISCHER
SCHLÄGE. VERLETZUNGS-
ODER LEBENSGEFAHR.
TRENNEN SIE ALLE
ELEKTRISCHEN
ANSCHLÜSSE VON DER
SPANNUNGSVERSORGUNG
BEVOR SIE ARBEITEN AN
DEM GERÄT AUSFÜHREN
WARNING:
HEAVY OBJECT.
TO AVOID
MUSCLE STRAIN
OR BACK INJURY,
USE LIFTING AIDS
AND PROPER
LIFTING
TECHNIQUES
WHEN REMOVING
OR REPLACING
.
ALERTE
:
OBJET LOURD.
POUR EVITER UNE
TENSION
MUSCULAIRE OU
UN MAL DE DOS,
UTILISER DES
AIDES ET DES
TECHNIQUES DE
LEVAGE
APPROPRIEES
POUR
L’ENLEVEMENT
OU LE
DEPLACEMENT.
警告：
大変重い装置です
。筋挫傷、背部損
傷等を防ぐ為、移
動や移設の際は適
切な技術や補助機
器等を使用してく
ださい。
安全警告:
重物。
为
避免肌肉
拉
伤
或背部受
伤
，
当
移
动
或
归
位
时请
使用起重
设备
以及
适
当
的起重技
术
。
ADVERTENCIA:
OBJETO PESADO.
PARA EVITAR UN
SOBRE-ESFUERZO
MUSCULAR O DAÑO
FÍSICO, UTILIZE LA
AYUDA DE
ELEVADORES Y
TÉCNICAS
APROPIADAS PARA
EL MANEJO DE
OBJETOS PESADOS,
CUANDO LO
TRANSPORTE,
DESPLAZE O
CONSIDERE
REEMPLAZARLO.
ACHTUNG:
SCHWERES OBJEKT. ZUR
VERMEIDUNG VON
MUSKELZERRUNGEN
ODER RÜCKENSCHÄDEN
BEIM TRANSPORT
GEEIGNETE
HUBVORRICHTUNGEN UND
HEBETECHNIKEN
VERWENDEN.
WARNING:
READ AND
UNDERSTAND
OPERATOR’S
MANUAL BEFORE
USING THIS
MACHINE.
FAILURE TO
FOLLOW
OPERATING
INSTRUCTIONS
COULD RESULT IN
INJURY OR
DAMAGE TO
EQUIPMENT.
ALERTE
:
LIRE ET
COMPRENDRE LE
MANUEL
D’OPERATION
AVANT D’UTILISER
CETTE MACHINE .
NE PAS SUIVRE
LES
INSTRUCTIONS
D’OPERATION
PEUT CAUSER DES
BLESSURES OU
DES DEGATS A
L’EQUIPEMENT.
警告：
この装置を使用さ
れる前に必ず取扱
説明書を熟読し理
解した上でご使用
ください。取扱説
明書の通り操作を
しなかった場合、
装置が損傷、破損
することがありま
す。
安全警告:
在使用这台机器前，
请务必阅读并理解
“操作员手册
（指南）”。如果
未能遵循操作步骤
说明，将可能导致
设备的损坏。
ADVERTENCIA:
LEA, ESTUDIE, Y
ENTIENDA BIEN EL
MANUAL DE
OPERACION, ANTES
DE USAR ESTA
MAQUINARIA. UNA
FALLA POR NO
SEGUIR LAS
INSTRUCCIONES
OPERATIVAS,
PUDIERA RESULTAR
EN DAÑO O
PERJUICO DEL
EQUIPO.
ACHTUNG:
LESEN UND VERSTEHEN
SIE DIE
BEDIENUNGSANLEITUNG
BEVOR SIE DAS GERÄT IN
BETRIEB NEHMEN.
FEHLBEDIENUNGEN
KÖNNEN ZU
VERLETZUNGEN FÜHREN
ODER DIE AUSRÜSTUNG
BESCHÄDIGEN.
TSP Installation Procedure
If purchased as part of an ion pump, the TSP and corresponding shield come pre-installed. Refer to this section if
the TSP and shield are purchased separately.
Required Items
You need the following items to install the TSP:
•
Cyroshroud, ambient sputter shield or suitable 2 ¾” CFF vacuum system port.
•
2 ¾”, 3 3/8” and/or 8” CFF gaskets, washers, bolts and nut plates (provided with new equipment purchase).
•
Corresponding wrenches for CFF bolts.
