GEBRAUCHSANWEISUNGEN
Der Pumpenbetrieb wird nur durch den Einsatz speziell dafür
vorgesehener Varian Steuereinheiten (Dual, MidiVac oder Mi-
niVac) optimiert.
ACHTUNG!
Die Einhaltung der Sicherheitsvorschriften beim Gebrauch der
Pumpen ist nur bei Verwendung von Varian Steuereinheiten
gewährleistet.
Die Pumpe VacIon
Plus
kann in einer beliebigen Position instal-
liert werden. Aus praktischen Gründen wird sie in der Regel
senkrecht mit nach oben gerichtetem Eintrittsflansch. Die Pum-
pen können auch in einer beliebigen Position an ihrem Eintritts-
flansch hängend eingebaut werden. Detaillierte Informationen
zur Installation der Pumpe sind dem Anhang “Technical Infor-
mation” zu entnehmen.
GEBRAUCH
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Pumpen Va-
cIon
Plus
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten. Die-
ses Handbuch ist vor der Inbetriebnahme genau durchzulesen.
Es wird empfohlen, die Pumpe auf einen Druck von 1x10
-4
Torr
(mbar) zu bringen, um einen rascheren Anlauf zu gewährleis-
ten. Zu diesem Zweck empfiehlt es sich, keine ölversiegelte
mechanische Pumpe zu verwenden. Falls hingegen eine derar-
tige Pumpe benutzt werden muß, soll an der Vakuumleitung
eine Falle eingesetzt werden, um den durch die Wasser- und
Öldämpfe aus der mechanischen Pumpe erzeugten Druck zu
verringern. Es ist zu versuchen, die Zeit auf ein Mindestmaß zu
reduzieren, während der die mechanische Pumpe zum System
und zur Ionenpumpe geöffnet ist, da sich ihre Dämpfe bei Drü-
cken unter 1x10
-1
Torr (mbar) im System verbreiten und dessen
Verunreinigung verursachen. Bei Systemen, die vollkommen
ölfrei sein müssen, erweisen sich für den obengenannten Vor-
gang Turbopumpen als geeigneter. Hygroskopische Ablage-
rungen und die Absorption von Wasserstoff in der
Titanverbindung können die Anlaufzeit verlängern und eine
kürzere Standzeit der Pumpe verursachen. Die Ablagerungen
der Titanverbindungen absorbieren Wasserdampf, wenn sie der
Luft ausgesetzt werden. Dadurch bewirkt beim anschließenden
Anlaufvorgang die Aufheizung der Pumpe die Abgabe des
Dampfes und eines Teils des zuvor gepumpten Wasserstoffs,
so daß sich die Anlaufzeit verlängert.
Bedienungsschritte
Es ist zu kontrollieren, daß die Steuereinheit in bezug auf die
Pumpe richtig gepolt ist: positive Polarität für Dioden Pumpen
und negative für StarCell Pumpen. Es ist nach dem diesbezüg-
lichen Handbuch vorzugehen, für den Gebrauch der Pumpe
sind die folgenden Bedienungsschritte zu beachten:
1. Mit einer Vorvakuumpumpe das System auf einen Min-
destanlaufdruck gemäß Tabelle 9 in Abhängigkeit vom Io-
nenpumpentyp bringen.
2. Die Steuereinheit an eine entsprechende Versorgungs-
quelle anschließen und einschalten.
3. Die Spannung, die Stromstärke und den Druck beobach-
ten. Wenn der Anlauf bei einem Druck von 5x10
-2
Torr
(mbar) erfolgt ist, ist eine Spannung von ca. 300 – 400 V
typisch. Ein Stromwert, der sich dem Kurzschlußstromwert
der Steuereinheit annähert, weist auf eine Leckstelle an
der Pumpe und am System hin. Ein zeitweiliger Anstieg
des Vorvakuumdruckes ist während der Anlaufphase nor-
mal.
4. Während des Anlaufes der Ionenpumpe soll das Vorvaku-
umventil geöffnet bleiben, bis ein angemessener Anlauf-
druck erreicht ist. Wenn die Spannung der Ionenpumpe
nach Schließung des Ventils abfällt, ist das Ventil für eine
zusätzliche Vorvakuumpumpung zu öffnen. Sobald der
Druck sinkt, steigt die Spannung erneut an und kann das
Vorvakuumventil geschlossen werden.
5. Wenn die Spannung 2 – 3 kV erreicht hat, ist die Steuer-
einheit auf den Status PROTECT zu schalten. Das System
verfügt auf diese Weise über einen Selbstschutz vor ei-
nem Druckanstieg über 1x10
-4
Torr (mbar), wenn die
Pumpe nicht kontrolliert ist. Falls ein solcher Anstieg statt-
findet, wird die Steuereinheit automatisch ausgeschaltet.
6. Der Pumpendruck kann auch berechnet werden, indem
die Stromstärke abgelesen wird und der abgelesene Wert
mittels des Druck-Stromstärke-Diagramms im Anhang
“Technical Information” des vorliegenden Handbuches in
einen Druckwert umgerechnet wird.
ANMERKUNG
Die Stufen im Druck-Stromstärke-Diagramm sind charakteris-
tisch für die Funktionsweise des Dual. Wenn die Stromaufnah-
me der Pumpe ein bestimmtes Ausmaß erreicht, ändert die
Steuereinheit die ausgangsseitige Hochspannung auf einen
niedrigeren Wert ab.
7. Wenn die Pumpe auf den atmosphärischen Druck ge-
bracht wird, ist trockener Stickstoff zu verwenden, um die
Aufnahme von Wasserdampf durch die Pumpenwände zu
verhindern.
,
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das
jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge zu befolgen. Die
Pumpe nie bei Vorhandensein von explosivem Gas benutzen.
,
GEFAHR!
Wenn die Heizung installiert ist, darf die Pumpe während der
Aufheizung und Abkühlung nicht berührt werden. Die hohe
Temperatur kann zu Personenschäden führen.
ACHTUNG!
Keine elektronischen Geräte in die Nähe der Pumpe bringen.
Das darum befindliche Magnetfeld kann zu Funktionsstörungen
der Geräte führen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie VacIon
Plus
erfordern keine Wartung.
Sämtliche Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Personal vor-
genommen werden.
,
GEFAHR!
Vor Eingriffen an der Pumpe ist diese von der Hochspannungs-
quelle zu trennen.
Bei eventueller Verschrottung einer Pumpe ist diese entspre-
chend der einschlägigen nationalen Vorschriften zu entsorgen.
ENTSORGUNG
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten
Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-
Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment)
angebracht.
Dieses Symbol (
nur in den EU-Ländern gültig
) zeigt an, dass
das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll
entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem
zugeführt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts -
d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontak-
tieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die
Verkaufsbedingungen geprüft hat.
4
87-900-106-01(B)
