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31

VSPE-de-171117

4.2

Status LED

The status LED signalizes the following operational states:

Normal Operation / Pirani (green LED continuously on)

Error (red LED continuously on)

4.3

Bake-Out

When a bake-out of the vacuum chamber is performed with the VSP/VCP being
mounted to the chamber, the temperature at the sensor flange must not exceed
150 °C.

The transducer's voltage supply must be switched-off while the
chamber is heated. Otherwise a damage of the electronics can
be the result!

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Summary of Contents for VCP63E

Page 1: ...VSP63E VSP64E VCP63E Vakuum Transmitter Vacuum Transducer Betriebsanleitung Operating Instructions ...

Page 2: ...2 VSPE de 171117 ...

Page 3: ... Allgemeines 10 4 2 Status LED 11 4 3 Ausheizen 11 5 Kommunikation 12 5 1 Die serielle RS485 Schnittstelle des Transmitters 12 5 2 Die EtherCAT Schnittstelle des Transmitters 13 5 3 Parameterübersicht 14 5 4 Geräte Parameter und Information 15 5 5 Messwertabfrage 16 5 6 Nachjustieren 16 5 7 Sensor Parameter 17 6 Wartung und Service 18 7 Technische Daten 20 Konformitätserklärung 22 Hersteller Thyra...

Page 4: ...Schutzmaßnahmen Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessme dien Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen der Prozessmedien infolge der Eigener wärmung des Produkts Gerät nicht eigenmächtig umbauen oder verändern Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination Beachten Sie im Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschri...

Page 5: ...tter VSP dient zur Absolutdruck Messung in gasförmigen Medien im Bereich 1000 1x10 4 mbar Der Transmittertyp VCP mit Pt Rh Fila ment ist für den Einsatz in vielen Korrosivgas Anwendungen geeignet und misst Absolutdruck im Bereich 1000 5x10 4 mbar Das Gerät kann an ein Thyracont Anzeigegerät angeschlossen oder gemäß An schlussbelegung mit einer kundeneigenen Spannungsversorgung betrieben wer den De...

Page 6: ... anlei tung hierfür nicht vorgesehen sind der Anschluss an Geräte die berührbare Spannung führende Teile aufwei sen Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs und Ge währleistungsanspruch Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber VSP Das Gerät ist nicht zum Einsatz in Verbindung mit Korro sivgas vorgesehen Aggressive Medien wie H...

Page 7: ...er benö tigt Vakuumanschluss über Kleinflansch DN16 ISO KF VSP63 VCP63 oder DN16CF Flansch VSP64 herstellen Bei Verbindung über Kleinflansch Metall Spannelemente verwenden die sich nur mit einem Werkzeug öffnen und schließen lassen z B Spannband Spann ring Dichtringe mit Zentrierring verwenden Sicherstellen dass der Sensorflansch mit dem Schutzleiter verbunden ist bei spielsweise durch metallische...

Page 8: ...ndungen können Elastomer Dichtringe dem Druck nicht mehr standhalten Dies kann zu Gesundheitsschä den durch ausströmende Prozessmedien führen 3 3 Elektrischer Anschluss 3 3 1 Spannungsversorgung RS485 Schnittstelle Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV gerecht gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen Stecker Pin 1 Pin 2 Pin 3 Pin 4 Pin 5 M12 A kodiert 5polig wei...

Page 9: ... unter Verwendung geeigneter Kabel EMV gerecht gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen Stecker Pin 1 Pin 2 Pin 3 Pin 4 2x M12 D kodiert 4polig weiblich Tx Transmit Data Rx Receive Data Tx Transmit Data Rx Receive Data Falscher Anschluss kann zu Schäden am Transmitter führen ...

Page 10: ...tt 5 Kommunikation Stabilisierungszeit Die Ausgabe des Mess Signals erfolgt ca 2 s nach Einschalten des Geräts Zur Ausnutzung der vollen Genauigkeit des VSP kann es insbesondere nach extre men Drucksprüngen angebracht sein eine Stabilisierungszeit von 5 min zu be achten Messgenauigkeit Das Gerät ist ab Werk in stehender Position bei einer Versorgungsspannung von 24VDC abgeglichen Verschmutzung Alt...

Page 11: ...Fehler rot Dauerleuchten 4 3 Ausheizen Soll die Vakuumkammer mit angeflanschtem VSP ausgeheizt werden so darf die Temperatur am Sensorflansch 150 C keinesfalls überschreiten Die Spannungsversorgung des Transmitters muss während des Ausheizens der Kammer ausgeschaltet sein Anderenfalls kann es zu Schäden an der Elektronik kommen ...

Page 12: ...insetzen Bei der Kommunikation werden die Telegramme gemäß Thyracont Protokoll Ver sion V2 als ASCII Code übertragen Ausführliche Informationen hierzu finden Sie in der gesonderten Beschreibung Thyracont Communication Protocol Download unter www thyracont vacuum com download center Schnittstellen Parameter 9 6 14 4 19 2 38 4 57 6 115 2 kBd 8 Datenbits 1 Stopbit keine Parität Nach dem Einschalten s...

Page 13: ...dem ankom menden EtherCAT Strang an linked physikalische Verbindung zum vorhergehenden EtherCAT Slave vorhanden blinkt aktiv Kommunikation mit vorhergehen dem EtherCAT Teilnehmer L A OUT grün aus keine Verbindung auf dem weiter führenden EtherCAT Strang an linked physikalische Verbindung zum weiterführenden EtherCAT Slave vorhanden blinkt aktiv Kommunikation mit weiterführen dem EtherCAT Teilnehme...

Page 14: ...ader VB Baud Rate BR Response Delay RD Device Restart DR Measurement Range MR Measurement Value MV x Adjust High Atmosphere Pressure AH x Adjust Low Zero Pressure AL x Gas Correction Factor 1 Pirani C1 x Das bisherige RS485 Schnittstellen Protokoll der Version V1 wird auch weiterhin von allen Smartline Geräten unterstützt Telegramme die gemäß Protokollversion 1 aufgebaut sind können somit weiter v...

Page 15: ...e Versionsnummer des Geräts Version Firmware VF Abfragen der Firmware Versionsnummer des Geräts Version Bootloader VB Abfragen der Bootloader Version des Geräts Baud Rate BR Einstellen der Baudrate zur Datenübertragung per RS485 Wertebereich 9600 14400 19200 28800 38400 57600 115200 Bd Response Delay RD Abfragen und Einstellen der Wartezeit zwischen dem Empfang eines Tele gramms und dem Senden der...

Page 16: ...ors erforderlich machen Adjust High AH Nachjustieren des Pirani Sensors bei Atmosphärendruck Adjust Low AL Nachjustieren des Pirani Sensors bei Nulldruck Hierzu sollte der Ist Druck klei ner 5 0x10 5mbar sein Adjust Low AL p Der Pirani Sensor kann auch auf einen beliebigen Referenzdruck im Bereich 1x10 4 1x10 1 mbar abgeglichen werden Dazu wird mit dem Befehl AL ein Druckwert p als Referenzdruck ü...

Page 17: ...ausgabe unterhalb 0 1 mbar korrigiert werden indem Korrekturfaktoren für den Piranisensor via RS485 gesetzt werden Die Messwerte des Sensors werden dann bereits im Gerät mit dem entsprechen den Korrekturfaktor multipliziert so dass am Ausgang des Transmitters ein korri giertes Mess Signal zur Verfügung steht Wertebereich 0 20 8 0 Korrekturfaktor C1 Pirani Ar 1 6 CO2 0 89 He 1 0 Ne 1 4 CO 1 0 H2 0 ...

Page 18: ... können vor Ort gegen kalibrierte Ersatz sensoren ausgetauscht werden Ersatzteile B_VSP63D B_VSP64D bzw B_VCP63 Fehlfunktionen des Gerätes die auf Verschmutzung oder Ver schleiß zurückzuführen sind fallen nicht unter die Gewährleis tung Fehlersignal und Störungen Problem Mögliche Ursache Behebung Messwertabweichung zu groß Alterung Verschmutzung extreme Temperaturen falsche Justierung Nachjustiere...

Page 19: ...19 VSPE de 171117 ...

Page 20: ...eit VSP 1000 20 mbar ca 30 v Messwert 20 0 002 mbar 10 v Messwert VCP 1000 10mbar ca 30 v Messwert 10 0 01mbar 10 v Messwert Wiederholbarkeit VSP 20 0 002 mbar 2 v Messwert VCP 10 0 01 mbar 5 v Messwert Materialien mit Vakuum kontakt VSP Edelstahl 1 4307 Wolfram Nickel Glas VCP Edelstahl 1 4307 Platin Rhodium Nickel Glas Reaktionszeit 40 ms Betriebstemperatur 5 60 o C Lagertemperatur 40 65 o C VSP...

Page 21: ...AT Serielle Schnittstelle 9 6 115 kBd 8 databit 1 stopbit no parity Anschluss M12 Rundsteckverbinder A codiert 5polig weibl verschraubbar EtherCAT Schnittstelle Anschluss M12 Rundsteckverbinder D codiert 4polig weibl verschraubbar Vakuumanschluss VSP63 Kleinflansch DN16 ISO KF VSP64 Conflat Flansch DN16 CF Abmessungen 109 x 69 x 48 mm VSP63 Schutzart IP 54 Gewicht 190 g VSP63 ...

Page 22: ...22 VSPE de 171117 Konformitätserklärung ...

Page 23: ...General 30 4 2 Status LED 31 4 3 Bake Out 31 5 Communication 32 5 1 The Serial RS485 Interface Of The Transducer 32 5 2 The EtherCAT Interface Of The Transducer 33 5 3 Survey Of Parameters 34 5 4 Device Parameters And Information 35 5 5 Measurement Query 36 5 6 Readjustment 36 5 7 Sensor Parameters 37 6 Maintenance and Service 38 7 Technical Data 40 Declaration of Conformity 42 Manufacturer Thyrac...

Page 24: ...o cess media used Consider possible reactions between materials and process media Consider possible reactions of the process media due to the heat generated by the product Do not carry out any unauthorized conversions or modifications on the unit Before you start working find out whether any of the vacuum components are con taminated Adhere to the relevant regulations and take the necessary precau...

Page 25: ...N16KF with metal baffle ZZCH016 2 3 Product Description The VSP vacuum transducer is measuring total gas pressure in the range of 1000 1x10 4 mbar Transducer type VCP with Pt Rh filament is suitable for many applications with corrosive gases in the range 1000 5x10 4 mbar The transducer can be connected to Thyracont display and control units or to customer related power supply and evaluation units ...

Page 26: ... allowed for in their operating instructions the connection to components containing touchable voltage carrying parts No liability or warranty will be accepted for claims arising from improper use The user bears the responsibility with respect to the used process media VSP The device is not designed for use in corrosive gas at mosphere Aggressive media such as halogenides carbon or oxygen plasma c...

Page 27: ...compo nents Remove the protective cover is required again during maintenance work Make vacuum connection via small flange DN16 ISO KF VSP63 or conflat flange DN16CF VSP64 Use clamps that can be opened and closed with appropriate tools only e g strap retainer tension ring use sealing rings with a centering ring Make sure that the sensor flange is connected to ground e g by having elec trical contac...

Page 28: ...4 bar KF flange connections with elastomer sealings cannot withstand such pressures Process media thus can leak and possibly dam age your health 3 3 Electrical Connection 3 3 1 Voltage Supply RS485 Interface The electrical connection is to be made by means of suitable cables considering EMI demands and according to the pin description shown below Connector Pin 1 Pin 2 Pin 3 Pin 4 Pin 5 M12 A coded...

Page 29: ...s of suitable cables considering EMI demands and according to the pin description shown below Connector Pin 1 Pin 2 Pin 3 Pin 4 2x M12 D coded 4pin female Tx Transmit Data Rx Receive Data Tx Transmit Data Rx Receive Data Incorrect connection or inadmissible supply voltage can damage the transducer ...

Page 30: ...er s signal output is available approx 2 s after the unit is switched on To take advantage of the maximum accuracy of the unit it is appropriate to allow for stabilization time of 2 minutes especially when extreme pressure changes have occurred Accuracy The unit is adjusted ex works in upright position and at 24V voltage supply Through contamination ageing extreme climatic conditions or different ...

Page 31: ... on Error red LED continuously on 4 3 Bake Out When a bake out of the vacuum chamber is performed with the VSP VCP being mounted to the chamber the temperature at the sensor flange must not exceed 150 C The transducer s voltage supply must be switched off while the chamber is heated Otherwise a damage of the electronics can be the result ...

Page 32: ...ication telegrams are transmitted as ASCII text according to the Thy racont protocol version V2 Detailed information is provided in the separate de scription Thyracont Communication Protocol Download link www thyracont vacuum com download center Interface Parameter 9 6 14 4 19 2 38 4 57 6 115 2 kBd 8 data bits 1 Stopbit no parity When powered on the transducer starts with 9 6 kBd If a tele gram wi...

Page 33: ...he incoming EtherCAT line on linked Physical connection to the pre vi ous EtherCAT slave available flashing aktiv Communication with the previous EtherCAT partner L A OUT green off No connection on the outgoing EtherCAT line on linked Physical connection to the next EtherCAT slave available flashing aktiv Communication with the next EtherCAT partner RUN green off init Transmitter is in initializin...

Page 34: ...Version Bootloader VB Baud Rate BR Response Delay RD Device Restart DR Measurement Range MR Measurement Value MV x Adjust High Atmosphere Pressure AH x Adjust Low Zero Pressure AL x Gas Correction Factor 1 Pirani C1 x The previous communication protocol version V1 will further more be supported by all Smartline devices Therefore all tele grams built according to protocol version 1 can further be u...

Page 35: ...D Query of the device s hardware version Version Firmware VF Query of the device s firmware version Version Bootloader VB Query of the device s bootloader version Baud Rate BR Set the baud rate for RS485 data transmission Value range 9600 14400 19200 28800 38400 57600 115200 Bd Response Delay RD Query and set the time delay between receiving a telegram and sending the an swer Value range 1 99999 µ...

Page 36: ...of the sensor Adjust High AH Adjustment of the Pirani sensor at atmosphere pressure Adjust Low AL Adjustment of the Pirani sensor at zero pressure For this purpose actual pres sure must be less than 5 0x10 5 mbar Adjust Low AL p It is also possible to adjust the Pirani sensor at a certain reference pressure in the range 1x10 4 1x10 1 mbar Command AL then has to be transmitted to gether with the pr...

Page 37: ...ure display can be corrected below 0 1 mbar by setting correction factors for the Pirani sensor via RS485 The measurement result of the Pirani sensor is then individually multiplied with the corresponding correction factor by the units microcontroller The VSP can thereby provide a corrected pressure signal output Value range 0 20 8 0 Correction factor C1 Pirani Ar 1 6 CO2 0 89 He 1 0 Ne 1 4 CO 1 0...

Page 38: ...xchanged on site by calibrated replacement sensors spare parts B_VSP63D B_VSP64D B_VCP63D Malfunction of the unit which is caused by contamination or wear and tear is not covered by warranty Error messages and malfunction Problem Possible Cause Correction high measurement error contamination ageing extreme temperature maladjustment readjustment replace sensor or send unit for repair Pirani zero ad...

Page 39: ...39 VSPE de 171117 ...

Page 40: ...acy VSP 1000 20 mbar approx 30 f reading 20 0 002 mbar 10 f reading VCP 1000 10 mbar approx 30 f reading 10 0 01 mbar 10 f reading Repeatability VSP 20 0 002 mbar 2 f reading VCP 10 0 01 mbar 5 f reading Materials with vacuum contact VSP stainl steel 1 4307 tungsten nickel glass VCP stainl steel 1 4307 platin rhodium nickel glass Reaction Time 40 ms Operating Temperature 5 60 C Storage Temperature...

Page 41: ... 8 W for EtherCAT Serial Interface 9 6 115 kBd 8 databit 1 stopbit no parity Connector M12 round type A coded 5pole female lockable EtherCAT Interface Connector M12 round type D coded 4pole female lockable Vacuum Connection VSP63 small flange DN16 ISO KF VSP64 conflat flange DN16 CF Dimensions 109 x 69 x 48 mm VSP63 Protection Class IP 54 Weight 190 g VSP63 ...

Page 42: ...42 VSPE de 171117 Declaration of Conformity ...

Page 43: ...43 VSPE de 171117 ...

Page 44: ...VSPE de 171117 ...

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