Table of Contents
iii
Table of Contents
Mass Flow Controller Safety Information............................................................................... 1
Symbols Used in This Instruction Manual.................................................................. 1
Symbols Found on the Unit ....................................................................................... 2
Safety Procedures and Precautions ............................................................................. 3
Sicherheitshinweise für den Massenflußregler ........................................................................ 5
In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole ................................................... 5
Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole .......................................................... 6
Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen...................................................... 7
Informations relatives à la sécurité pour le contrôleur de débit de masse ................................. 9
Symboles utilisés dans ce manuel d'utilisation ........................................................... 9
Symboles apparaissant sur l'unité ............................................................................... 10
Mesures de sécurité et précautions ............................................................................. 11
Medidas de seguridad del controlador de flujo de masa .......................................................... 13
Símbolos usados en este manual de instrucciones....................................................... 13
Símbolos hallados en la unidad .................................................................................. 14
Procedimientos y precauciones de seguridad .............................................................. 15
Chapter One: General Information......................................................................................... 17
Introduction ............................................................................................................... 17
Design Features............................................................................................. 17
Reliability ..................................................................................................... 18
Cleanliness Features ...................................................................................... 18
How This Manual is Organized.................................................................................. 19
Customer Support ...................................................................................................... 20
Chapter Two: Installation ...................................................................................................... 21
How To Unpack the Type 1179 Series Unit ............................................................... 21
Opening the Package ..................................................................................... 21
Unpacking Checklist.................................................................................................. 22
Environmental Requirements ..................................................................................... 23
