MKS Granville-Phillips 358 series, Instruction Manual

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Series 358 Micro-Ion Controller Instruction Manual - 358013 - Rev. B
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Table of Contents
Chapter 1 Before You Begin . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.1 Caution and Warning Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.2 Reading and Following Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.3 Damage Requiring Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
1.4 Pressure Relief Devices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.5 Certification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.6 Warranty Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.7 Service Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.8 FCC Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Chapter 2 System Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.1 Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
2.2 RS-232 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
2.3 RS-485 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
2.4 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
2.5 Dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
2.6 Mounting Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Chapter 3 Initial Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
3.1 Controller Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
3.2 Top Cover Removal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
3.3 Pressure Units Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
3.4 Changing Units of Measure for Electrometer Module . . . . . 28
3.5 Overpressure Shutdown Adjustment . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
3.6 Changing Display Update Rate on Electrometer Module . . . 30
3.7 Changing Units of Measure for Convectron Gauge . . . . . . . 30
3.8 Display Update Rate Switch on Convectron Module . . . . . . 31
3.9 Changing Units of Measure for a Capacitance Manometer . 31
3.10 Process Control Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
3.11 Relay Polarity Setting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
3.12 RS-232 Computer Interface Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
3.13 RS-485 Computer Interface Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
3.14 Replacing the Controller Cover . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47