MKS 946 Series, Operation And Maintenance Manual, Page: 89 / 130

946 Controller Instruction Manual pg. 89
Range Equation
Nitrogen
0.56<V<8.3 V
1

10
-4
<p <40
Torr
01 . 1
2
1
3156 . 0
327 . 74
35 . 3













V
p
8.3 V< V <8.8 V
40
<p< 300 Torr
   
3
2
10 372 . 5 503 . 8 503 . 8 5 . 399

     
V V p
p>300 Torr





 

9177 . 0
512 . 3
exp
V
p
Argon
0.56<V<7.00 V
1

10
-4
<p <60
Torr
002 . 1
2
1
3205 . 0
083 . 51
6 . 3













V
p
7.00 V< V <7.4 V
60
<p< 300 Torr
   
3
2
10 789 . 3 042 . 7 042 . 7 2 . 411
      
V V p
P>300 Torr





 

7436 . 0
063 . 3
exp
V
p
Helium
0.63<V<10 V
1

10
-4
<4 Torr
017 . 1
2
1
3177 . 0
3 . 456
93 . 26













V
p
Table 8-9 Equations for the 317 CP and 275 Convectron Sensors