BS78
(J)
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1. 概要
はじめに
BS78は高分解能のホログラムスケールを半導体レーザを用いた光学ヘッドで読み出す高精度、高
分解能スケールです。
1-1. 特長
·
光波干渉計を超える信号波長0.1379
µ
mの高分解能スケール。
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湿度・気圧・空気の乱れに影響を受けない高安定性。
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±
0.18
µ
m/220 mmの高精度。
·
完全非接触なので、原理的に戻り誤差が発生しません。
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弊社デテクタと組み合わせることで、サブナノメートル (0.14 nm) の計測や位置決めができま
す。
·
通常の光学スケールに比べ広い取付け許容値を持つため、取付けが大変簡単です。
1-2. 型名について
型名で有効長とスケールタイプを示します。
[例]
BS78-220 N
有効長
N 原点なしノーマルタイプ
NS 原点なし高精度タイプ
R
原点付ノーマルタイプ
RS 原点付高精度タイプ
