18
(J)
BS78
4. 仕様
項目
性能・機能
有効長
10 (N, NSのみ), 40, 70, 120, 170, 220, 270, 320, 370, 420 mm
全長
58 mm (有効長10 mm : 片持ちタイプ)
有効長
+
26 mm (有効長40〜420 mm)
最大可動長
有効長
+
2 mm (有効長10 mm : 片持ちタイプ)
有効長
+
10 mm (有効長40〜420 mm)
精度 (20
°
Cにて)
NS/RS
有効長 10 mm
±
0.03
µ
m以下
40 mm
±
0.04
µ
m以下
70/120 mm
±
0.10
µ
m以下
170/220 mm
±
0.18
µ
m以下
270 mm
±
0.25
µ
m以下
320 mm
±
0.34
µ
m以下
370 mm
±
0.39
µ
m以下
420 mm
±
0.44
µ
m以下
N/R
有効長 10 mm
±
0.06
µ
m以下
40 mm
±
0.08
µ
m以下
70/120 mm
±
0.20
µ
m以下
170/220 mm
±
0.35
µ
m以下
270/320/370 mm
±
0.50
µ
m以下
420 mm
±
0.65
µ
m以下
原点精度
±
0.1
µ
m (R/RS)
もどり誤差
原理的にありません。ご使用デテクタの2分解能以下とお考えください。
繰返し精度
原理的にありません。ご使用デテクタの1分解能以下とお考えください。
温度係数
−
0.7
×
10
−
6
/
°
C
光源
半導体レーザ 790 nm
検出方式
回析格子走査型格子干渉計
使用温度範囲
+
10〜
+
30
°
C (結露不可)
保存温度範囲
−
10〜
+
50
°
C (湿度60 %以下)
付属品
スケール有効長
10
40
70
120
170
220
270
320
370
420
取扱説明書
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
六角穴付ボルト (M3
×
8)
2
−
−
−
−
−
−
−
−
−
六角穴付ボルト (M3
×
30)
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
六角穴付ボルト (M4
×
8)
−
4
6
8
8
8
10
10
12
12
ワッシャ (呼び3)
4
2
2
2
2
2
2
2
2
2
ワッシャ (呼び4)
−
4
6
8
8
8
10
10
12
12
基準プレート
−
1
1
1
1
1
1
1
1
1
スペーサ
−
−
−
2
2
2
2
2
4
4
スケールクランプ
−
1
2
3
3
3
4
4
5
5
ケーブルクランプ
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
小ねじ (M4
×
8)
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
精度表
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
原点マスクラベル (R/RS)
−
5
5
5
5
5
10
10
10
10
梱包内容
検出ヘッド
1
スケール
1
付属品一式
1
