ISVT IMC1300, Instruction Manual, Page: 41 / 54

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5. "Range" 맞추기와 "Unit"
Cursor를 "Range" 에다 맞추고, 아래의 도표대로 [숫자] key를 이용해서
입력하면 된다.
기본적으로 입력되어 있는 Range 값들이 변하는데 그 값들을 보면
다음과 같다.
[ 0.01 ], [ 0.02 ], [ 0.05 ],
[ 0.1 ], [ 0.2 ], [ 0.5 ],
[ 1 ], [ 2 ], [ 5 ],
[ 10 ], [ 20 ], [ 50 ],
[ 100 ], [ 200 ], [ 500 ],
[ 1000 ], [ 2000 ], [ 5000 ],
[ 10000 ], [ 20000 ], [ 25000 ],
Capacitance Manometer의 Range가 100 mtorr 인 것을 예로 들면,
Range를 [ 0.1 ]에다 맞추어야 한다.
그러면 Display상에는 자동으로 100.00 mtorr로 맞추어 진다.
6. "Zeroing"
Capacitance Manometer의 Zeroing도 MFC와 마찬가지로 Shift되기 쉬우
므로 틀어졌을 경우에 맞추어 주어야 하는데, Capacitance Manometer의
Display Resolution이 5 Digit 이므로 Range별로 Zeroing 하는 진공도를
보면 다음과 같다.
100 mtorr 10
-6
1 torr 10
-5
10 torr 10
-4
100 torr 10
-3
1000 torr 10
-2