ISVT IMC1300, Instruction Manual, Page: 39 / 54

39
Pressure Control
IMC1300 Flow & Pressure Controller에는 Upstream Pressure Control 기능이
Option으로 제공되는데, Capacitance Manometer를 연결하고 이것으로부터 측정
된 압력 값을 받아들여 Display 하고, 기존의 MFC를 이용하여 Flow 양을 조절함
으로써 Pressure Control을 하는 기능으로, 이 Option 사항은 IMC1300의 Main
전원을 켰을 때 자동으로 Check한다. Pressure Control Card가 있으면 이 기능
의 Sub Menu로 들어갈 수 있고, 없으면 들어갈 수 없다.
Pressure Control Setup
Main Menu에서 "Pressure Control" 항목의 Sub Menu로 들어가면 Automatic
Upstream Pressure Control을 하기 위한 기본적인 Setup 작업을 할 수 있다.
1. "Gain" 값 조절하기
위의 상태에서[숫자] key를 이용하여 "Gain" 값을 조절할 수 있다.
조절할 수 있는 범위는 "1(4%) ~ 200(800%)" 까지 이며, 안정되게
Pressure Control이 되는 범위 내에서 값을 최대한 높일수록(어느 정도의
Overshoot를 허용 하는 조건이라면) 원하는 압력으로 빠르게 찾아 갈 것이다
2. "Phase Lead" 값 조절하기
Cursor를 아래로 한 칸 내려서 "P.Lead"에다 맞추고, [숫자] key를
이용하여 "Phase Lead" 값을 조절할 수 있다.
조절할 수 있는 범위는 "0.05sec ~ 5.00sec" 까지 이며, 값이 너무 낮으면
Overshoot의 원인이 된다.
[Pressure Control]
->
Gain : [ 100% ]
P.Lead : [ 0.05Sec ]
C.CHs : [ None ]
Mode : [Off]
Range : [ 1 T]
Unit : [ Torr]
Zeroing : [ Ent ]
Save Parameter