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Range Setup
각 Channel에 연결된 MFC에 대한 Full Scale을 맞추는 기능이다.
MFC를 보면 사용 Gas 및 용량(Range)이 표시되어 있는데 그 중에서도 용량을
각 Channel 별로 맞추어 주어야 한다.
1. "Range Setup" Sub Menu로 들어가면 아래와 같이 나타난다.
2. 위의 Display 상태에서 [ENT] key를 누르면, "Channel 1"에 연결된
MFC의 Range 및 Unit를 설정 할 수 있다.
Note : Range의 설정에서 기본값으로 "1000"이 설정되어 있다.
3. 연결된 MFC의 용량을 확인한 후 [숫자] 키를 이용하여 값을 입력한다.
[Range & Unit]
CH1:MFC 1000 SCCM
CH2:MFC 1000 SCCM
CH3:MFC 1000 SCCM
CH4:MFC 1000 SCCM
Next Channels
Exit
[Channel 1 Setup]
Device : [MFC]
Range : [1000]
Unit : [SCCM]
Exit
ESC:Cancel ENT: Save
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->
Summary of Contents for IMC1300
Page 2: ...2 WARRANTY Flow Pressure Controller IMC1300 1 Interface Demo Program Internet Home Page...
Page 5: ...5 CUSTMMER SUPPORT IMC1300 Flow Pressure Controller...
Page 12: ...12 Control Applications Figure 3 Upstream Pressure Control...
Page 28: ...28 6 LCD Brightness 1 key 2 LCD Brightness DN KEY1 UP KEY2 ESC Cancel ENT Save...
Page 31: ...31 2 key 1 0000 0000 cc 2 0000 0000 cc 3 0000 0000 cc 4 0000 0000 cc...