[
データ表示設定
]
画面が表示されます。
3.
設定を変更します。
[
データ表示設定
]
画面には、チェックボックス、ラジオボタン、ドロップダ
ウンメニューなどの各種フィールドがあります。詳細はヘルプ画面を参照してください。
表示設定に従ってサンプルスクリーンの表示が変更されます。設定を変えると、フォントサイズ
などの属性が変わります。
装置の動作の確認
電子ノイズやセンサの漏れなどの干渉があると、正しいデータが計測されない場合があります。装置
が正しく動作していることを確認するために、次の手順に従います。
1.
ゼロカウントフィルターを取り付けます。
2.
[
データ表示設定
]
画面で、
0.3 µm (
最小粒径
)
チャネルを選択し、
[
濃度モード
]
を
[
カウント
]
に設
定します。
3.
[
サンプル設定
]
画面で、測定時間は
5
分、ホールド時間は
00:00:00
、遅延時間は
00:00:03
、モー
ドは
[
自動
]
、
[
繰返回数
]
は
2
に設定します。
4.
製品のサンプリングを開始し、
5
分間の測定が
2
回繰り返されるのを待ちます。
5.
最後の測定のパーティクルカウントを検証します。作動確認している設定に合致した結果である
ことを確認します
(5
分間のサンプリングで
0.3 µm
以上の粒子が
1
個以下
)
。
本器のパージ
クリーンルームやクリーンな製造環境で装置を使用する前に、不要な物質を除去します。また、サン
プリングで高いカウント値が出た後も、同じ手順を実施して、内部のセンサをクリーンに保ちます。
1.
ゼロカウントフィルターの取り付け
.
2.
継続的にサンプリングするように装置を設定します。カウントモードを
[Rate (
レート
)]
に設定し
ます。
3.
カウントプロセスを開始します。新たなカウント数が出なくなるまで、カウントプロセスを続け
ます。
4.
ゼロカウントフィルターを外し、通常の使用を始めます。
サンプル設定
詳細はヘルプ画面を参照してください。
[
サンプル設定
]
メニューで、サンプリングプロセスの設定を変更できます。サブメニューには、ロケ
ーション、アラーム、データ表示の設定オプションがあります。サンプル設定を更新または変更する
には、次の手順に従います。
1.
メニューボタンを押します。
2.
[
サンプル設定
]
アイコンに移動して、選択ボタンを押します。
3.
各オプションの設定を変更します。括弧内はデフォルト値です。
オプシ
ョン
説明
メソッ
ド
(
時間
): [
時間
]
フィールドに指定された時間の長さのサンプリングが行われます。
体積
: [
体積
]
フィールドに指定された量のサンプリングが行われます。
時間
このフィールドに入力された時間の長さのサンプリングが行われます。範囲
: 00:00:01
～
23:59:59 (00:01:00)
。時間を指定した計測の場合、このフィールドの値とホールド時間で
1
サイク
ルとなります。
体積
このフィールドに入力された量のサンプリングが行われます。体積を指定した計測の場合、このフ
ィールドの値とホールド時間で
1
サイクルとなり、計測の残り時間は推定値になります。
ホール
ド
サンプリングとサンプリングの間の時間。範囲
: (00:00:00)
～
23:59:59
。
100
日本語
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