Agilent Technologies 8698961R002, User Manual

Page: 142 / 304

9 Instruksjon Manual
Bruk
142/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Bruk
Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk.
Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 80 °C.
ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret,
eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De
høye temperaturene kan føre til brannskader.
FORSIKTIG!
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i
funksjon. Lagrene kan skades.
Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av pumpen. Trykket
ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk).
Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell
åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive gasser (argon eller kvelstoff)
koples for å beskytte lagrene (se “Technical Information).
ADVARSEL!
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser
skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.