Ulvac UMP-40W, Инструкция по эксплуатации

Страница: 16 / 52

10 ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
Flow Diagram
C
o
o
l
i
n
g
w
a
t
e
r
h
o
s
e
N
i
t
r
o
g
e
n
g
a
s
t
u
b
e
T
o
p
F
l
a
n
g
e
G
a
s
r
e
l
e
a
s
e
t
u
b
e
D
e
w
e
r
t
a
n
k
L
i
q
u
i
d
l
e
v
e
l
i
n
d
i
c
a
t
o
r
H
e
l
i
u
m
g
a
s
t
u
b
e
P
G
N
-
3
0
i
R
M
S
1
5
0
T
N
i
t
r
o
g
e
n
g
a
s
g
e
n
e
r
a
t
o
r
C
o
n
t
r
o
l
c
i
r
c
u
i
t
F
l
o
w
m
e
t
e
r
P
o
w
e
r
c
a
b
l
e
A
C
2
0
0
/
2
2
0
V
(
5
0
/
6
0
H
z
)
Re mo te ca bl e
F
l
o
w
m
e
t
e
r
P
r
e
s
s
u
r
e
r
e
l
i
e
f
v
a
l
v
e
P
r
e
s
s
u
r
e
g
a
u
g
e
C
r
y
o
g
e
n
i
c
s
o
l
e
n
o
i
d
L
N
2
s
u
p
p
l
y
f
l
e
x
i
b
l
e
h
o
s
e
A
m
b
i
e
n
t
t
e
m
p
e
r
a
t
u
r
e
s
o
l
e
n
o
i
d
v
a
l
v
e
C
3
0
P
M
V
R
T
H
e
l
i
u
m
g
a
s
c
o
m
p
r
e
s
s
o
r
Co mp re ss or po we r ca bl e
C
o
l
d
h
e
a
d
c
a
b
l
e
v
a
l
v
e
T
o
u
c
h
s
c
r
e
e
n
M
a
n
u
a
l
d
i
s
p
e
n
s
e
t
u
b
e
P
r
e
s
s
u
r
e
r
e
g
u
l
r
a
t
o
r
Figure 5-1 UMP-40W Flow Diagram