Thyracont VSH87E, Руководство по эксплуатации

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Contents
1 Safety Instructions 26
2 Vacuum Transducer VSH 27
2.1 For Orientation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
2.2 Delivery Content . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
2.3 Product Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
3 Installation 29
3.1 Notes for Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
3.2 Vacuum Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
3.3 Electrical Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
3.3.1 Voltage Supply / RS485 Interface . . . . . . . . . . . . . . . 30
3.3.2 EtherCAT ECAT Out / ECAT In . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
4 Operation 32
4.1 General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
4.2 Status LED . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
4.3 Bake-Out . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
5 Communication 34
5.1 The Serial Interface of the VSH . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
5.2 The EtherCAT Interface of the VSH . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
5.3 Survey of Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
5.4 Device Parameters and Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
5.5 Measurement Query . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
5.6 Readjustment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
5.7 Sensor Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
6 Maintenance and Service 42
7 Technical Data 44
8 Declaration of Conformity 46
Manufacturer:
Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Max-Emanuel-Straße 10
D-94036 Passau
Tel.: ++49/851/95986-0
email: info@thyracont-vacuum.com
Internet: https://www.thyracont-vacuum.com
VSH-EtherCAT-200116