Thyracont VSH87E, Руководство по эксплуатации

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5.5 Messwertabfrage
Measurement Range (MR):
∗
Abfragen des Messbereichs
Measurement Value MV:
Abfragen des aktuell gemessenen Druckwertes
Measurement Value M1:
∗
Abfragen des aktuell vom Pirani-Sensor gemessenen Druckwertes
Measurement Value M3:
∗
Abfragen des aktuell vom Heißkathodensensor gemessenen Druckwertes. Bei
ausgeschalteter Heißkathode wird der Fehlercode »_ SEDIS« zurückgegeben.
∗
) Nicht über EtherCAT ansprechbar
5.6 Nachjustieren
Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24 V stehend, d.h. mit dem
Flansch nach unten, abgeglichen.
Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, extreme
Temperaturschwankungen, Alterung oder Verschmutzung können ein Nachjustie-
ren des Pirani-Sensors erforderlich machen.
Adjust High (AH)
Nachjustieren des Pirani-Sensors bei Atmosphärendruck.
Adjust Low (AL)
Nachjustieren des Pirani-Sensors bei Nulldruck. Hierzu sollte der Ist-Druck kleiner
5,0x10
-5
mbar sein.
Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen, empfeh-
len wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von mindestens
10 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beachten.
5.7 Sensor Parameter
Degas (DG)
Ablagerungen und adsorbierte Gasmoleküle auf den Elektroden des Heißkatho-
densensors können zu erhöhtem Ausgasen im Ultrahochvakuum führen sowie an-
dererseits Instabilitäten im Mess-Signal verursachen.
VSH-EtherCAT-200116