SevenStar CS200-F MFC, Руководство пользователя

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第四部分 维护
4.1
概述
不需要对质量流量控制器或质量流量计进行日常保养，只需进行偶尔的清洗及再标定。如果
通入控制器的是超洁净以及无腐蚀性气体，在 3 年或 4 年后进行清洗及再标定。如果通入控制器
的是低洁净度气体或一种腐蚀性气体，在 1 年或 2 年后进行清洗及再标定。
更多细节请联系“七星电子”代理商。
4.2 注意事项
4.2.1 介质使用要求
使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时，须在气路中加装过滤器等。如果流量
控制器/流量计出口接有液体源瓶, 应在流量控制器/流量计出口加装单向阀, 防止液体回流损
坏产品。
警告 :
对于使用腐蚀性或有毒、易燃气体的产品，通气使用前应严格保证并检验安装和联接的气密
性；如需从系统上卸下，应在断开气路前，使用干燥的对人体无害的常规气体（如氮气、空气）
或惰性气体对产品进行彻底的清洗。如没有清洗，可能会引起火灾、爆炸、中毒等意外事故，将
导致人员伤亡。
4.2.2
阀口密封问题
MFC 的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用。MFC 的阀口内部漏气率在 1%F.S.
以内, 属于正常情况。
第五部分 故障诊断
5.1 初步检查
5.1.1
检查气源及通入质量流量控制器/流量计的气路被打开。
5.1.2 确保电源和控制信号正确的输送到电路板上的 D 型接头。
5.1.3
检查通讯线是否正确连接。