2
Inhalt
Inhalt
Hinweis!
Aktuelle Betriebsanleitungen sind auch über
das Internet unter www.pfeiffer-vacuum.net verfügbar.
1.
Safety Precautions
3
1.1
Pictogram Definitions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2
For Your Orientation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
2.
Product Description
4
2.1
Delivery . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
2.2
Proper Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
2.3
Improper Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
3.
Installation 6
3.1
Preparations For Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3.2
Profibus Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
4.
Operation 8
5.
Modules 9
5.1
Module 1: "standard" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
5.2
Module 2: "power" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
5.3
Module 3: "ophrs_pump" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
5.4
Module 4: "ophrs_drv" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
5.5
Module 5: "tms" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5.6
Module 6: "venting" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5.7
Module 7: "fixed_value_out" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5.8
Module 8: "fixed_value_in". . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.9
Module 13: "fail_safe" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.10 Module 14: "acyclic access". . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
6.
Extended Diagnosis Data
15
7.
What To Do In Case Of Breakdowns?
15
8.
Maintenance And Service
16
9.
Technical Data
16
10.
Accessories 16
11.
Valid Parameters
17
11.1 Caption for List of Valid Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18