Magnescale Laserscale SET-HD100, Инструкция по эксплуатации

Страница: 29 / 70

(J)
19
SET-HD100
8. 仕様
8-1. システム仕様
項目 仕様 注記
検出半径 41.723 mm
最大応答回転速度 10 min
-1
10 min
-1
= 10 rpm
源信号数 2
20
(1,048,576) / 回転
源信号分解能 1.236 秒角
精度 0.2 秒角 「8-2. 取付け誤差範囲と環境および回転
精度の条件」に記載する条件範囲内で、
「4. 操作」に記載する操作を行なった場
合のみの保証となります。
原点位置 1 点
原点検出方向 1 方向 (CW)
（CCW 方向に回転させた場合は原点を
検出しません。)
CW 方向は「9. 外形寸法図」を確認し
てください。
CCW 方向は CW 方向とは逆の方向と
なります。
原点精度 20 秒角 (20℃にて ) 原点再投入時の再現性を含みます。
出力形式 USB 出力
内挿数 2
10
(1024) / 回転
出力分割数 2
30
(1,073,741,824) / 回転
出力分解能 0.0012 秒角
8-2. 取付け誤差範囲と環境および回転精度の条件
項目 仕様 注記
ス ケ ー ル
と 回 転 軸
と の 同 軸
度 スケールユニット内径部
のメカ基準の場合 0 0.005 mm スケールユニットの内径部の基準面を
基 準 と し た 取 付 け、 も し く は 顕 微 鏡 を
用いてスケール面上に記録された線を
基準として取付けを行なってください。
スケール面上に記録された線の詳細につ
いては、「3-1-3. 取付け手順例」を参照し
てください。
顕微鏡を用いてスケール
面上に記録された線基準
の場合 0 0.010 mm
スケール取付け面と回転軸との平行度 0 1 分 取付け時の公差、回転運動時の変動を含
みます。
スケールユニットとヘッドユニットの
平行度 0 0.050 mm 取付け時の公差、回転運動時の変動を含
みます。詳細は「9. 外形寸法図」を参照
してください。
ス ケ ー ル
ユ ニ ッ ト
と ヘ ッ ド
ユ ニ ッ ト
の同軸度 ヘッドユニット内径基準 0 0.020 mm 付属の心出し治具による取付けを行なう
ことが可能です。基準面等の詳細は「9.
外形寸法図」を参照してください。
ヘッドユニット外径基準 0 0.010 mm 外形基準による取付けを行なうことが可
能です。基準面等の詳細は「9. 外形寸法
図」を参照してください。
スケールとヘッドの基準面間距離 1.503 0.020 mm 取付け時の公差、回転運動時の変動を含
みます。
ステージの軸ブレ 0.010 mm 未満
精度保証温度範囲 20 0.5℃ ヘッドユニット / スケールユニットのみ
自己校正時の回転精度 1 〜 10 min -1 自己校正時の回転精度が悪い場合は校正
できないことがあります。
取 付 け 時
の 締 め 付
けトルク ヘッドユニット (M6) 1.0 0.1 N·m トルクレンチを用いて管理してください。
締付けトルクの不均一や、強すぎは精度
悪化や破損の原因となります。
スケールユニット (M4) 0.6 0.06 N·m