Inficon Gemini MAG500, Руководство по эксплуатации

Страница: 54 / 64

54
tina83e1-d (2018-12)
C
or
rec
ti
on
T
ur
n o
n pow
e
r s
uppl
y
.
R
epl
ac
e i
oni
z
at
ion c
ham
-
ber
or
m
eas
u
ri
ng c
h
am
-
ber
c
pl
(
→

44
,
50
).
W
ai
t,
unt
il t
he g
as
di
s
-
c
har
ge h
as
i
gni
ted
(
≈
5
m
inut
es
a
t a pr
es
s
ur
e
of
10
-9
m
bar
).
P
e
rf
o
rm a
HV
adj
us
tm
e
nt
v
ia but
ton
(
→

41
).
R
epl
ac
e
the m
eas
u
ri
ng
c
ham
ber
c
pl
.
(
→

50
).
S
w
it
c
h t
he gauge
of
f an
d
on agai
n a
ft
er
5
s.
R
epl
ac
e t
he g
auge.
R
epl
ac
e
the m
eas
u
ri
ng
c
ham
ber
c
pl
.
(
→

50
).
P
os
s
ibl
e c
a
us
e
N
o s
uppl
y
v
ol
tag
e.
G
auge c
ont
am
inat
ed.
G
as
di
s
c
har
g
e has
n
ot
igni
ted.
P
ir
a
n
i
z
er
o poi
nt
s
hi
ft
.
P
ir
ani
def
e
c
tiv
e
.
EEPR
O
M
er
ror
.
M
eas
ur
in
g c
ham
ber
s
ev
er
el
y
c
ont
am
inat
ed.
S
tat
us
s
ignal
0 0 0 0 0 0
14.
5
…
30
V
LE
D
<HV
-S
T
>
o
ff
lid
s
o
lid
gr
een
b
lin
k
in
g
gr
ee
n
o
ff
o
ff
o
ff
lid
s
o
lid
gr
een
LE
D
<
S
T
>
o
ff
lid
s
o
lid
gr
een
lid
s
o
lid
gr
een
lid
s
o
lid
gr
een
lid
s
o
lid
re
d
b
lin
k
in
g
red
lid
s
o
lid
gr
een
P
robl
em
N
o v
ol
tage at
s
ignal
out
put
.
M
eas
ur
in
g s
ignal
uns
tabl
e.
V
ol
tage at
s
ignal
out
put
does
not
dr
o
p unde
r
<
4.
82
V.
V
ol
tage at
s
ignal
out
put
c
on
-
tin
u
a
lly
>
5
.6
V.
V
ol
tage at
s
ignal
out
put
c
o
n
-
tin
u
a
lly
>
9
.5
V.
S
ignal
c
ont
inual
ly
at
appr
ox
.
5
×1
0
-4
m
bar
.