background image

A-20

Installation and Operation Manual

X-PR-PC100-Series-PC-eng

Part Number: 541B207AAG

May, 2017

PC100 Series

Swedish

Väsentliga anvisningar. 

Läs  detta innan du  fortsätter!

Brooks Instrument konstruerar, tillverkar och testar sina produkter med syfte att uppfylla alla nationella och internationella standarder. Dessa 
produkter måste installeras på rätt sätt,  handhas  och underhållas för att de skall fungera kontinuerligt  enligt deras normala specifikation. De följande 
anvisningarna bör följas och integreras till Ert säkerhetsprogram varje gång när Brooks Instruments produkter installeras, handhas och underhålls. 

x

 

För att garantera angiven funktion, använd kvalificerad personal till att installera, handha, uppgradera, programmera och serva  produkten. 

x

 

Läs alla instruktioner innan produkten installeras, startas upp och underhålls. Om du finner att denna instruktionshandbok inte är den rätta 

instruktionsboken, titta på i slutet av pärmen för information om hur man kan kontakta lokala representanter. Spara denna instruktions manual för 
senare behov.  

 VARNING: Kör inte detta  instrument utanför dess specifikationer  som är angiven i  Instruktionsboken. Undvikande att ta denna varning 

kan leda till allvarliga personliga skador och / eller skada utrustningen. 

x

 

Om du inte förstår någon av dessa instruktioner, kontakta din representant för Brooks Instrument för klarläggande. 

x

 

Följ alla varningar och instruktioner som följer med  leveransen  av denna  produkt. 

VARNING:  Säkerställ före installation att detta instrument har alla nödvändiga godkännanden för att uppfylla lokala och nationella regler. 

Underlåtenhet att följa denna varning kan leda till personskador och/eller skador på utrustningen. 

x

 

Installera din utrustning på sättet som anges i den gällande  handbokens installationsanvisningar och enligt   tillämpliga lokala och nationella 

föreskrifter. Koppla varje produkt till  föreskriven ström- och tryckkällan. 

x

 

Igångsättning: (1) Koppla långsamt på flöde i systemet. Öppna processventiler sakta för att undvika för höga flöden. (2) Kontrollera  läckor vid 

mätarens anslutningar för in- och utlopp. Om inget läckage förekommer, kör systemet upp till drifttrycket. 

x

 

Kontrollera  att processledningens tryck är bortkopplat  före service. I fall det  behöves kompletteras med nya delar, se till att  komponenter 

föreskrivna av Brooks Instrument används. Samt att kvalificerad personal utför arbetet.  Ej rekommenderade komponenter och åtgärder kan 
påverka produktens prestanda och sätta din driftsäkerhet på spel. ”Felaktiga” ersättningar kan orsaka eld, elektriska skador  samt   felaktig
funktion.

x

 

Se till att anordningens kåpor och skyddslock  ligger på sin plats med syfte att förebygga elektriska kontakt och personliga skador; det enda 

undantag gäller när underhållsarbete utförs av kvalificerad personal. 

 VARNING: I fall av - flödesmätare  /  regulatorer för vätskor:  Ifall   ventiler före och efter  skall stängas av,  måste  alla  ledningar  

tömmas på all vätska. Att ej  tömma ledningar alt koppla  bort trycket kan göra så  att vätskans  värmeutvidgning kan spräcka / skada
utrustningen och  orsaka personliga skador.

European Pressure Equipment Directive (PED) - (Rådets Direktiv 99/36/EG av den 29 april 

1999[1] om transportabla tryckbärande anordningar)

Alla utrustning för tryck med ett tryck över 0.5 Bar(g)  bar och större demensioner än 25 mm eller 1" (inch) faller under Tryck direktiv 99/36/EG av den 
29 april 1999[1] om transportabla tryckbärande anordningar - PED. 

x

 

Den här Instruktionsbokens Sektion ” Specifikation” innehåller anvisningar gällande PED Direktivet. 

x

 

Mätare som beskrivs i denna Instruktionsbok är i överensstämmelse med EN Direktivet 2014/34/EU. 

x

 

Brooks Instruments alla flödesmätare faller under flödesgrupp nr. I. 

x

 

Mätare som är större än 25 mm eller 1" (inch) överensstämmer med PED kategorier I, II eller III. 

x

Mätare på 25mm eller 1" (inch) eller mindre faller under  Sound Engineering Practice (SEP) (God Teknisk Praxis).

European Electromagnetic Compatibility (EMC) - Elektromagnetisk kompatibilitet

Brooks Instrument (elektriska/elektroniska) CE-märkta anordningar har redan genomgått ett framgångsrikt prov enligt regleringar under 
Electromagnetic Compatibility (EMC directive 2014/30/EU). Man måstre dock ägna särskild uppmärksamhet till valet av signalkabeln som skall 
används för CE-märkta anordningar. 

Signalkablars, packboxars och kontakdons kvalitet: 

Brooks Instrument levererar högkvalitativa kablar som överensstämmer med specifikation för CE-intygade produkter. 
Om man använder sin egen signalkabel, då bör man använda en kabel som är fullständigt skärmad med en 100% avskärmning. 
“D” eller “Cirkelformiga” kontakdon skall vara skärmade med metalliska avskärmningar. Om det är användbart, bör metallpackboxar som ger en bra 
fastspänning för kabelskärmar användas. 
Kabelavsärmningen måste kopplas till den metalliska skärmande anordningen eller packboxen och skärmas vid båda ändar runt omkring.
Avskärmningens avspänning måste jordas. 
  Card Edge Kontaktdon är icke metalliska. För att överensstämma med krav på CE-intyg, skall de kablarna som används vara skärmade med 100%  
skärmning.
Skärmningen måste jordas. 
Vad gäller stiftkonfigurationen: Se  den bifogade Instruktionshandboken.

ESD (Elektrostatiska urladdningar)

OBS: Denna utrustning  innehåller elektroniska komponenter som är lättpåverkade av skada orsakad av statisk elektricitet. Lämplig  

hanteringsprocedur  måste följas när man tar bort, installerar eller på något annat sätt hanterar  inre kretskort eller andra anordningar. 

1. 

Ström till enheten måste kopplas från. 

2. 

Personalen måste jordas med hjälp av ett armband eller något annat säkert medel innan något kretskort eller andra inre anordningar installerras, 

tas bort eller justeras. 

3. 

Kretskort måste transporteras i en speciell  förpackning  för elektronik. Kort skall ej tas bort från deras skydsskåpa innan man skall installera dem. 

De borttagna korten bör omedelbart läggas i speciell förpackning för transport, lagring eller återlämnande till fabriken. 

Anmärkningar: 

Dessa instrument är ej unika vad gäller dess ESD

 (

Elektrostatiska urladdningar) - känsliga komponenter. De flesta samtida konstruktioner innehåller 

komponenter som utnyttjar metalloxid teknologi (NMOS, SMOS, o.s.v.). Erfarenhet har visat att även små mängder av statisk elektricitet kan skada 
eller förstöra dess komponenter. Skadade komponenter - även om de annars verkar fungera ordentligt – har ofta  en kortare livslängd.

Содержание PC125

Страница 1: ...tion and Operation Manual X PR PC100 Series PC eng Part Number 541B207AAG May 2017 PC100 Series Ultra High Purity Digital Pressure Control Devices PC115 Pressure Controller Model PC125 Pressure Contro...

Страница 2: ...nd national codes Connect all products to the proper electrical and pressure sources Operation 1 Slowly initiate flow into the system Open process valves slowly to avoid flow surges 2 Check for leaks...

Страница 3: ...earch and chemicals to medical devices analytical instrumentation semiconductor manufacturing and more The Brooks product you have just received is of the highest quality available offering superior p...

Страница 4: ...Installation and Operation Manual X PR PC100 Series PC eng Part Number 541B207AAG May 2017 PC100 Series THIS PAGE WAS INTENTIONALLY LEFT BLANK...

Страница 5: ...ions 2 2 2 8 In Line Filter 2 2 2 9 Mechanical Installation 2 3 2 10 Flow Controller Installation Arrangement 2 3 2 11 Purge the Gas Supply Line Before PC100 Series Installation 2 4 2 12 Position and...

Страница 6: ...pplications 2 5 2 3 PC100 Series Mounting Attitude Positions for DOWNSTREAM Applications 2 5 2 4 Display with PSI Reading 2 7 2 5 Display Reading Zero PSI 2 7 2 6 Display Set to FS 2 8 2 7 Flow Displa...

Страница 7: ...ng includes N2 and H2 gases with full scale 1000 Torr pressure operation An independent diagnostic service port to to tune the pressure controller without removing the unit Long term stability due to...

Страница 8: ...dicates a potentially hazardous situation which if not avoided COULD result in death or serious injury A CAUTION statement indicates a potentially hazardous situation which if not avoided MAY result i...

Страница 9: ...t method for determining reliabilty of MFCs SEMI E68 Test method for determining warm up time of MFCs SEMI E69 Test method for reproducibilty and zero drift for thermal MFCs SEMI E80 Test method for d...

Страница 10: ...PI Epitaxy EPI A process technology where a pure silicon crystalline structure is deposited or grown on a bare wafer enabling a high purity starting point for building the semiconductor device F S Ful...

Страница 11: ...eliminates thermal siphoning effects This unique sensor configuration includes an optimized temperature profile for gases prone to thermal decomposition This design results in Enhanced signal to noise...

Страница 12: ...his combination of features results in limited service interruption and reduced downtime Communication Interfaces The PC100 Series supports DeviceNet communication protocol DeviceNet is a multi drop c...

Страница 13: ...curacy N A 1 of reading 35 F S 0 35 of F S 2 to 35 F S Repeatability N A 0 2 of F S Resolution N A 0 1 of F S Zero Temp Coefficient N A 0 05 of F S C Span Temp Coefficient N A 0 08 of reading C Zero S...

Страница 14: ...8 PC100 Series Installation and Operation Manual X PR PC100 Series PC eng Part Number 541B207AAG May 2017 Section 1 General Information Figure 1 3 Dimensions PC100 Series PC100 Series VCR Configuratio...

Страница 15: ...ing materials Inspect for damaged or missing parts This device has been assembled calibrated and double vacuum bagged in a Class 100 clean room In your semi clean area remove the outer bag only Pass t...

Страница 16: ...ded refer to 2 3 Recommended Storage Practice on p 2 1 it should be subjected to a pneumatic pressure test in accordance with applicable vessel codes To maintain a devices ultraclean integrity this se...

Страница 17: ...nes are as follows The device should be located in a clean dry atmosphere relatively free from shock and vibration Leave sufficient room for access to the user interface display and MAC ID and baud ra...

Страница 18: ...Tag the valve at this point to prevent accidental re exposure of the process gas to the gas line 2 Cycle purge the gas line with dry nitrogen or argon to fully flush out the process gas Cycle purging...

Страница 19: ...pointed in the direction of the flow arrow on the PC100 Series rear S N label The various mounting positions for UPSTREAM applications are described in Figure 2 2 and the mounting positions for DOWNS...

Страница 20: ...grammed to turn on before the PC100 Series is turned on and turned off after the PC100 Series is turned off The following steps are required before the PC100 Series is zeroed 1 Make sure that the PC10...

Страница 21: ...Torr until the LCD displays the labels PSI kPa or Torr The PC100 Series will display pressure in units of PSIA kPa or Torr Press and hold down the Zero button a minimum of 5 seconds or until the disp...

Страница 22: ...Place the PC125 Series under normal inlet operating pressure Close the down stream valve to prevent any flow 2 Looking at the top of the PC125 Series press the Display button until the LCD display lab...

Страница 23: ...cks This section describes how to zero and sequence the PC100 Series devices for proper operation The PC100 Series must be warmed up for at least 30 minutes The active gas page must be correct The PC1...

Страница 24: ...e D dering Code D dering Code D dering Code D dering Code DX X X X X Description Industry standard ODVA compliant DeviceNet interface M12 Pin No Signals 1 Drain 2 V 11 25 Vdc 3 V 4 CAN H 5 CAN L Figur...

Страница 25: ...cer When the system pressure changes the PC100 Series will manipulate the flow to achieve and maintain pressure setpoint Unlike traditional pressure control devices the PC125 Pressure Controller lever...

Страница 26: ...3 2 PC100 Series Installation and Operation Manual X PR PC100 Series PC eng Part Number 541B207AAG May 2017 Section 3 Operation THIS PAGE WAS INTENTIONALLY LEFT BLANK...

Страница 27: ...d that you send the device to a Brooks Service Center for cleaning and recalibration Please follow the instructions for removal product packaging and product return instructions found in Section 2 Ins...

Страница 28: ...4 2 PC100 Series Installation and Operation Manual X PR PC100 Series PC eng Part Number 541B207AAG May 2017 Section 4 Maintenance Troubleshooting...

Страница 29: ...and isolating malfunctions in the system a difficult one An incorrectly diagnosed problem can cause hours of unnecessary down time When possible follow the troubleshooting checks before removing a su...

Страница 30: ...tool software to verify tool system at 0 00 Has the PC100 been commanded Use the tool software to verify off by an active valve closed input 2 Pressure controller cannot achieve setpoint Is the gas i...

Страница 31: ...0 Series if leakage is detected 6 PC100 Series pressure reading oscillates Is there too much gas pressure Verify that the pressure is correct for across the PC100 Series this gas and range If required...

Страница 32: ...ct MFC zero Is the PC100 Series mounted in the proper attitude Is the flow output signal of the PC100 Series really zero 9 Zero Drift Improper zero of the PC100 Series PC100 Series aging or sensor sta...

Страница 33: ...e Setting Setting Setting Producer Consumer Transition Rate D0 D0 D0 D0 D0 Idle Count Integer 6000h 2 7 Executing 500KB D1 D1 D1 D1 D1 Idle Count Integer 6000h 21 7 Executing 500KB D2 D2 D2 D2 D2 Idle...

Страница 34: ...5 2 PC100 Series Installation and Operation Manual X PR PC100 Series PC eng Part Number 541B207AAG May 2017 Section 5 Product Description Code THIS PAGE WAS INTENTIONALLY LEFT BLANK...

Страница 35: ...Instrument Brooks Instrument x x x Brooks Instrument x x x 1 2 x Brooks Instrument x PED 0 5 bar g 25 mm 1 inch PED x PED x 2014 34 EU x Brooks Instrument 1 x 25 mm 1 inch I II III PED x 25 mm 1 inch...

Страница 36: ...Pokud tak neu in te m e z d vodu teplotn rozta nosti zbytk m dia v za zen doj t k jeho po kozen nebo k ohro en zdrav osob Evropsk sm rnice pro tlakov za zen PED Na ve ker tlakov za zen s vnit n m tlak...

Страница 37: ...tid i forbindelse med aftapning S fremt dette ikke overholdes er der risiko for at v sken p grund af varmeudvikling ekspanderer og dette kan for rsage skade p udstyr og personer Det Europ iske direkt...

Страница 38: ...kan dit leiden tot thermische expansie van de vloeistof waardoor het apparaat kan barsten en lichamelijk letsel kan veroorzaken PED Pressure Equipment Directive Alle drukapparatuur met een interne dr...

Страница 39: ...ojuse m jul paisuda niiv rd et seade puruneb See v ib p hjustada raskeid kehavigastusi Euroopa surveseadmete direktiiv PED Euroopa surveseadmete direktiiv kohaldub k ikidele surveseadmetele mille sise...

Страница 40: ...ista joka saattaa johtaa laitteen rikkoutumiseen ja henkil vahingon vaaraan Eurooppalainen painelaitedirektiivi PED Painelaitteet joiden paine on suurempi kuin 0 5 bar g ja joiden koko on suurempi kui...

Страница 41: ...t une ventuelle dilatation thermique du fluide peut casser l appareil et provoquer des blessures Directive europ enne quipements sous pression PED Tous les quipements sous pression dont la pression in...

Страница 42: ...nderenfalls kann es zu einer thermischen Ausdehnung der Fl ssigkeit und damit zum Bruch des Ger tes kommen Personensch den k nnen die Folge sein Europ ische Druckger terichtlinie PED Alle Druckger te...

Страница 43: ...ries Greek Brooks Instrument Brooks Instrument x x x Brooks Instrument x x x 1 2 x Brooks Instrument x PED 0 5 bar g 25 mm 1 PED x PED x 2014 34 EU x Brooks Instrument 1 x 25 mm 1 PED x 25 mm 1 SEP EM...

Страница 44: ...st teljesen le kell r teni Ennek elmulaszt sa a folyad k h t gul s t okozhatja ami k ros thatja a berendez st s szem lyi s r l shez vezethet Nyom start berendez sekre vonatkoz eur pai ir nyelv PED Min...

Страница 45: ...l apparecchiatura L inosservanza pu causare la dilatazione termica del liquido che pu danneggiare l apparecchiatura e provocare lesioni alle persone Direttiva europea relativa alle apparecchiature a...

Страница 46: ...l des un izpl des v rstus k da iemesla d ir j aizver no ier c m ir j izlai viss idrums Pret j gad jum idrums var termiski izplesties p rraut ier ci un rad t traumas Eiropas spiedieniek rtu direkt va P...

Страница 47: ...leisti vis skyst To nepadarius galimas iluminis skys io pl timasis galintis sugadinti rengin ir su eisti mon s Europos sl gin s rangos direktyva PED Visa sl gin ranga kurios vidinis sl gis didesnis ne...

Страница 48: ...zawory wej ciowe i wyj ciowe maj by z jakiego powodu zamkni te to urz dzenie musi zosta ca kowicie opr nione z ciek ego medium Niedope nienie tego zalecenia mo e doprowadzi do termicznego zwi kszenia...

Страница 49: ...jusante do equipamento tenha em aten o que o mesmo dever ser previamente esvaziado do flu do que o atravessa Esta obriga o surge do facto de existir a possibilidade de ocorrer dilata o t rmica do l q...

Страница 50: ...limitrofe instala iei instala ia trebuie complet golit Neglijarea acestui lucru poate avea ca efect dilatarea termic a fluidului care poate defecta instala ia i poate produce r niri de persoane Direc...

Страница 51: ...tupn a v stupn ventily zariadenie je potrebn plne vypr zdni Zanedbanie vyp ania m za n sledok po kodenie zariadenia s mo nos ou zranenia obsluhy z d vodu tepelnej roz a nosti n plne Eur pska smernica...

Страница 52: ...dite lahko pride do toplotnega raztezanja teko ine zaradi katerega se lahko naprava prelomi in povrzo i telesne po kodbe Evropska direktiva o tla ni opreni PED Vsa tla na oprema z notranjim tlakom ki...

Страница 53: ...es deber n ser completamente vaciadas La omisi n de esto ltimo puede provocar la dilataci n t rmica del l quido lo que puede da ar al equipo y conducir a da os personales Directriz Europea de los Equi...

Страница 54: ...nliga skador European Pressure Equipment Directive PED R dets Direktiv 99 36 EG av den 29 april 1999 1 om transportabla tryckb rande anordningar Alla utrustning f r tryck med ett tryck ver 0 5 Bar g b...

Страница 55: ...Installation and Operation Manual X PR PC100 Series PC eng Part Number 541B207AAG May 2017 PC100 Series THIS PAGE WAS INTENTIONALLY LEFT BLANK...

Страница 56: ...ument com to locate the service location nearest to you START UP SERVICE AND IN SITU CALIBRATION Brooks Instrument can provide start up service prior to operation when required For some process applic...

Отзывы: