Varian TPS-compac, Instruction Manual

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ISTRUZIONI PER L'USO
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INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene
sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza
totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di
personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso
contrario alle normative nazionali specifiche.
Il TPS-compact è un sistema integrato costituito da una pompa
turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto
integrata dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il
sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di
composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di liquidi
o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità mossa da un motore elettrico trifase ad alto
rendimento. Il TPS-compact è totalmente privo di agenti
contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono
un vuoto "pulito".
Il TPS-compact ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali
è possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto
tramite un computer host collegato tramite linea seriale.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante
l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono
fornite nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-
chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità dei
sistemi di pompaggio Varian, devono essere osservate le
seguenti prescrizioni:
•
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento
delle pompe non devono essere superate le seguenti
condizioni ambientali:
•
temperatura: da –20 °C a +70 °C
•
umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)
•
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel
modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la
prima volta
•
il tempo di immagazzinamento di una pompa
turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è
superiore, occorre reinviare il sistema di pompaggio in fabbrica.
Per ogni informazione, si prega di contattare il locale
rappresentante della Varian.
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
Il TPS-compact viene fornito in un imballo protettivo speciale;
se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi
verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere il TPS-compact e a non
sottoporlo ad urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399
per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
Il TPS-compact non può essere danneggiato rimanendo
semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione
sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al
momento del collegamento della turbopompa al sistema.
Non installare e/o utilizzare il sistema di pompaggio in ambienti
esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas
aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di
incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
−
pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
−
temperatura: da + 5 °C a +35 °C
−
umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici il sistema di pompaggio
deve essere protetto tramite opportuni schermi.
Il TPS-compact può essere installato in qualsiasi posizione.
Fissare il TPS-compact in posizione stabile collegando la
flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa
capace di resistere ad una coppia di 50 Nm attorno al proprio
asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive, per ogni tipo di morsetto,