Varian TPS-compac, Instruction Manual

Page: 43 / 82

HASZNÁLATI UTASÍTÁS
38/74 87-901-010-01
ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték.
A felhasználónak a berendezés m
ű
ködtetése el
ő
tt el kell
olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely
információt. A Varian nem vonható felel
ő
sségre olyan
eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár
részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem
megfelel
ő
használat, a berendezésbe való jogosulatlan
beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes
bármely m
ű
velet miatt történtek.
A TPS-compact egy integrált rendszer turbómolekuláris
szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a
megfelel
ő
vezérl
ő
jével. A rendszer bármely típusú gázt vagy
gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok
vagy szilárd részecskék szivattyúzására. A szivattyúzási
m
ű
veletet egy nagyteljesítmény
ű
3 fázisú elektromos motorral
hajtott nagysebesség
ű
turbina biztosítja. A TPS-compact
szennyez
ő
anyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta”
vákuumot igényl
ő
alkalmazásokra.
A TPS-compact fel van szerelve segédcsatlakozókkal a
ventillátor szelepének vezérléséhez, amit távoli helyr
ő
l kell
vezérelni soros vonalon csatlakoztatott gazdagépen keresztül.
A következ
ő
bekezdések a berendezést használó kezel
ő
biztonságának garantálásához szükséges összes információt
tartalmazzák. Részletes információt talál a „Technical
Information” függelékben.
Ez a kézikönyv a következ
ő
szabványos protokollt
használja:

VIGYÁZAT!
A figyelmeztet
ő
üzenetek felhívják a kezel
ő
figyelmét egy
konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek
megfelel
ő
en, súlyos sérüléshez vezethet.
FIGYELEM
A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások el
ő
tt jelennek meg,
amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását
okozhatják.
MEGJEGYZÉS
A megjegyzések a szövegb
ő
l vett fontos információt
tartalmaznak.
TÁROLÁS
A Varian szivattyú-rendszerek maximális m
ű
ködési szintjének
és megbízhatóságának biztosításához tartsa be a következ
ő
el
ő
írásokat:
•
szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a
következ
ő
környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
•
h
ő
mérséklettartomány: -20 °C - +70 °C
•
relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
•
A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi és el
ő
ször üzemelteti.
•
Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap
a szállítás dátumától.
FIGYELEM
Ha valamilyen okból a raktározhatási id
ő
t túllépik, a szivattyúzó
rendszert vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért
forduljon a helyi Varian vákuumkereskedelmi és szolgáltatási
képviselethez.
EL
Ő
KÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE
A TPS-compact-ot különleges véd
ő
csomagolásban szállítják.
Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet,
forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,
és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett
módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az
EEC 85/399-es direktívának.
FIGYELEM
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta
kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig
használjon keszty
ű
t vagy más alkalmas védelmet.
MEGJEGYZÉS
A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a
TPS-compact-ot. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe
való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyez
ő
dés
bármely formáját.
TELEPÍTÉS
FIGYELEM
Ne távolítsa el az öntapadó és véd
ő
kupakot a
turbószivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatása el
ő
tt.
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyúzó rendszert
atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (es
ő
, hó, jég),
porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy t
ű
zveszélyes
környezetben. Üzemeltetés közben a következ
ő
környezeti
feltételeket kell biztosítani:
−
maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
−
h
ő
mérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig
−
relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
Mágneses mez
ő
k jelenlétében a szivattyúzó rendszert védeni
kell ferromágneses pajzs segítségével.
A TPS-compact-ot bármely helyzetben lehet telepíteni.
Rögzítse a TPS-compact-ot stabil helyzetben, a turbószivattyú
bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva,
amely képes ellenállni 50 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút kapcsokkal vagy
peckekkel kell rögzíteni a vákuumkamrához. A következ
ő
táblázat mindegyik rögzít
ő
eszközhöz megmutatja a kapcsok
vagy peckek szükséges számát és a hozzátartozó rögzít
ő
nyomatékot.