Varian TPS-compac Instruction Manual Download Page 21

INSTRUÇÕES PARA O USO

 

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87-901-010-01

 

INFORMAÇÕES GERAIS 

Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve 
ler atentamente o presente manual de instruções e todas as 
informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a 
aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância 
total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de 
pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo 
uso contrário às normas nacionais específicas. 
O TPS-compact é um sistema integrado, constituído por uma 
bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto 
vácuo, equipado com os respectivos controller e bomba 
primária. O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de gás 
ou de composto gasoso, mas não é apropriado para bombear 
líquidos ou partículas sólidas. 
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de 
alta velocidade movida por um motor eléctrico trifásico de alto 
rendimento. O TPS-compact é totalmente isento de agentes 
contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que 
requerem um vácuo "limpo". 
Além disso, o TPS-compact tem conectores auxiliares através 
dos quais é possível alimentar uma válvula de vent, accioná-lo 
por um controlo remoto através de um computer host 
conectado por meio de linha serial. Nos seguintes parágrafos 
estão descritas todas as informações necessárias para garantir 
a segurança do operador durante o uso da aparelhagem. 
Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical 
Information". 

Este manual utiliza as seguintes convenções: 

 

 

PERIGO!

 

As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para 
um procedimento ou uma prática específica que, se não 
efectuada correctamente, pode provocar graves lesões 
pessoais. 

 

 

ATENÇÃO!

 

As mensagens de atenção são visualizadas antes de 
procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem 
causar danos à aparelhagem. 

NOTA 

As notas contêm informações importantes destacadas do texto. 

 

ARMAZENAGEM 

Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade 
dos sistemas de bombagem Varian, devem ser observadas as 
seguintes prescrições: 

  durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem 

das bombas as condições ambientais devem ser as 
seguintes: 

 

temperatura: de –20 °C a +70 °C 

 

umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante) 

 

ao accionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, 
o cliente deve activá-las sempre em modalidade Soft-Start  

  o tempo máximo de armazenagem de uma bomba 

turbomolecular é de 10 meses a contar da data da 
expedição. 

 

ATENÇÃO!

 

Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for 
superior, será necessário enviar o sistema de bombeamento 
para o fabricante. Para mais informações, contactar o 
representante local da Varian. 
 

PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO 

O TPS-compact é fornecido numa embalagem protectora 
especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter 
ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o 
escritório de vendas local. 
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para 
não deixar cair o TPS-compact e para não submetê-lo a 
choques ou vibrações. 

Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é 
completamente reciclável e em conformidade com a norma 
CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. 

 

ATENÇÃO!

 

Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as 
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. 
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. 

 

NOTA

 

TPS-compact não pode ser danificado permanecendo 
simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, 
manter a bomba fechada até o momento da instalação no 
sistema para evitar eventuais acumulações de pó. 

 

INSTALAÇÃO 

 

 

ATENÇÃO!

 

Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção 
somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema. 
 
Não instalar e/ou usar o sistema de bombeamento em 
ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, 
neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com 
possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. 
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas 
as seguintes condições ambientais: 

pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica 

temperatura: de + 5ºC a + 35ºC 

humidade relativa: 0 - 95% (não condensante). 

Na presença de campos electromagnéticos, o sistema de 
bombeamento deve ser protegida através de  blindagens 
adequadas. 
TPS-compact pode ser instalado em qualquer posição. Fixar a 
aparelhagem em posição estável ligando o flange de entrada 
da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um 
torque de 50 Nm ao redor do próprio eixo. 
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à 
câmara de vácuo através de grampos duplos ou simples. A 
tabela a seguir indica, para todos os tipos de grampos, o 
número de grampos e o torque de aperto necessários. 

Summary of Contents for TPS-compac

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Page 53: ...hkosti 0 a 95 bez kondenz cie z kazn k mus pri prvom spusten turbomolekul rnej v vevy v dy postupova pomaly a postupne skladovate nos turbomolekul rnej v vevy je 10 mesiacov odo d a dodania UPOZORNENI...

Page 54: ...n jdete v odstavci Popis sign lu v kapitole Technical Information Modr LED STATUS umiestnen na zadnom paneli zariadenia TPS compact signalizuje frekvenciou blikania operat vne podmienky v ktor ch sa n...

Page 55: ...no kineti ne energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifi nimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanje sistema na primer pri dotiku rotorja statorja ali po kodbe rotorja se lahko spro...

Page 56: ...95 brez kondenza Turbomolekularne rpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko ivljenjska doba turbomolekularne rpalke je 10 mesecev od datum po iljanja POZOR e zaradi kakr nega koli razloga...

Page 57: ...oft Start glej odstavek Opis signalov v poglavju Technical Information Plava lu ka STATUS ki se nahaja na zadnji plo i TPS compact ka e preko frekvence lastnega utripa operativne pogoje sistema Brez u...

Page 58: ...rgy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact or even a rotor crash the rotational...

Page 59: ...he turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated for the first time by the customer the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date CAUTION If...

Page 60: ...flashing frequency the system operating conditions with no flashing the pump is normally rotating slowly flashing period of about 400 ms the system is in ramp or in braking or in Stop or in Waiting fo...

Page 61: ...ic blades of the stator are fabricated in stainless steel These are supported and accu rately positioned by spacer rings The Macrotorr stators are in the form of self positioning machined discs with p...

Page 62: ...A at 1 meter Lubricant permanent lubrication Power supply Line type Input voltage Input frequency Max input power 115 or 200 240 Vac 50 or 50 60 Hz 310 VA 115 or 200 240 Vac 50 or 50 60 Hz 260 VA Pro...

Page 63: ...owing figure shows the TPS compact outline Dimensions are in mm PRESSURE x10 Pa mBar Torr Pa mBar Torr PRESSURE x10 TPS compact equipped with TV301 0 50 100 150 200 250 0 0001 0 001 0 01 0 1 Inlet Pre...

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Page 65: ...let screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on each pump The screen can be removed as shown in the fol lowing figure The following figure shows...

Page 66: ...ections we recommend using Varian hardware To facilitate assembly and dismantling apply Fel pro C 100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts an...

Page 67: ...owing figure show the input power connec tor Bipolar switch IEC320 connector Fuses Line GND Line P3 Vent Vent Connector This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve availabl...

Page 68: ...Inverted Magnetron plus Pi rani Gauge FRG 700 measure from 5x10 9 mbar to atmos phere 3 8x10 9 Torr to atmosphere and its tem perature range goes from 5 C to 55 C 41 131 F Pressure data is available...

Page 69: ...SIGNAL OUT 15 GROUND PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL OUT Signal description START STOP input signal to start or stop the pump Without the supplied cover connector the turbomolecular pump automatically star...

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Page 71: ...optional allows the op erator to set all the programmable feature How to connect the open collector input of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of...

Page 72: ...D 6 A RS485 7 Not used 8 B RS485 9 Not used A serial communication kit with a serial cable and the Navigation Software is available optional RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION Both the RS 232 and...

Page 73: ...R CRC to the host The MESSAGE is a string with the following format STX ADDR WIN COM DATA ETX CRC where NOTE When a data is indicated between two quotes it means that the indicated data is the corresp...

Page 74: ...ion Controller 02 80 30 30 30 31 31 03 42 33 STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Command STOP Source PC Destination Controller 02 80 3...

Page 75: ...400 2 4800 3 9600 4 default 4 109 W L Pump life cycle time cycle number reset To reset write 1 110 R W L Interlock type default 1 Impulse 0 Continuous 1 N Read Write Data Type Description Admitted Val...

Page 76: ...at when the controller stops the vent valve is opened with a delay defined by window n 126 when the controller starts the vent valve is immediately closed 2 On command means that the vent valve is ope...

Page 77: ...If seal debris is attached to the sides use a razor or Exacto knife to scrape the debris off To install the new seals and O rings 1 Unpack the Tip Seals Two tip seals are provided in the kit one fits...

Page 78: ...N Vacuum system leak Locate and repair leak Excessive voltage drop Check size and length of cable System will not start Fuses burnt out Check fuses and if necessary replace Vacuum system leak Locate a...

Page 79: ...7 969 9397 969 9397 969 9397 969 9397 969 9397 969 9397 969 9397 EU Power cord 2 m 969 9396 969 9396 969 9396 969 9396 969 9396 969 9396 969 9396 969 9396 UK Power cord 2 m 969 9398 969 9398 969 9398...

Page 80: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Page 81: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Page 82: ...1263 Toll Free 0120 655 040 Korea Varian Technologies Korea Ltd Shinsa 2nd Bldg 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Korea 135 280 Tel 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Toll Free 080 222 2452 Mexico...

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