Varian 969-8871, Instruction Manual

Page: 60 / 103

P Ř ÍRU Č KA K POUŽITÍ
55 87-900-968-01(C)
INSTALACE

VÝSTRAHA!
Kv ů li své hmotnosti je t ř eba p ř i manipulaci s výv ě vou používat
odpovídající nástroje a ná ř adí.
Používejte p ř íslušné šrouby s okem našroubované do otvor ů
v t ě lese výv ě vy.
!
VAROVÁNÍ
P ř ed p ř ipojením turbomolekulární výv ě vy do systému
nesundávejte šroubovací víko.
Výv
ě vu neinstalujte v prost ř edí, které je vystaveno
atmosférickým vliv ů m (déš ť , sníh, led), prachu, agresivním
plyn ů m, ve výbušném prost ř edí nebo v prost ř edí s vysokým
nebezpe č ím požáru. Za provozu je t ř eba dodržovat následující
podmínky dané prost ř edím:
−
maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
−
teplota vzduchu: od +5 °C do +40 °C
−
relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
V p
ř ítomnosti magnetických polí se výv ě va musí chránit
feromagnetickým stín ě ním. Viz podrobné informace v p ř íloze
"Technické informace".
Výv
ě va Turbo-V 2K-G se musí p ř ipojit k primárnímu č erpadlu
(viz "Technické informace").
Výv
ě vu Turbo-V 2K-G lze instalovat v libovolné poloze. Výv ě vu
Turbo-V 2K-G upevn ě te v n ě jaké stabilní poloze a p ř ívodní
p ř írubu turbovýv ě vy p ř ipojte k pevné protip ř írub ě , která snese
torzní moment 10600 Nm kolem své osy.
Turbomolekulární výv
ě va se vstupní p ř írubou ISO se musí
p ř ipevnit k vakuové komo ř e šrouby. Následující tabulka uvádí
nezbytný po č et šroub ů a p ř íslušný utahovací moment, který
doporu č uje firma Varian..
P Ř ÍRUBA
P Ř ÍCHYTNÉ
ZA Ř ÍZENÍ
PO Č ET
UTAHOVACÍ
MOMENT
ISO 250 F šrouby M10 12 22 Nm
POZNÁMKA
Výv ě vu Turbo-V 2K-G nelze p ř ipevnit pomocí její podstavy.
Toto za ř ízení lze p ř ipevnit pouze pomocí jeho p ř íruby ISO 250F
. Upevn ě ní musí být provedeno podle normy ISO 1609.
Musí se použít ocelové šrouby o pevnosti nejmén ě 500 N/mm
2
.
!
VAROVÁNÍ
Podle sm ě rnice EN 61010-1 pat ř í výv ě va Turbo-V 2K-G do
druhé elektroinstala č ní (nebo p ř ep ěť ové) t ř ídy. Za ř ízení p ř ipojte
do napájecí sít ě , která spl ň uje uvedenou t ř ídu.
Výv ě va Turbo-V 2K-G je vybavena vstupními a výstupními
konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí
p
ř ipojit k externím obvod ů m tak, aby žádná elektrická sou č ást
nebyla p ř ístupná.
Pro zachování ochranného krytí IP-54 použijte odpovídající
dodané konektory.
Zajist
ě te, aby izolace za ř ízení p ř ipojeného k výv ě v ě Turbo-V
2K-G byla p ř im ěř ená i v p ř ípad ě jediné poruchy podle
sm ě rnice EN 61010-1.
Chcete-li informace o dopl
ň kovém p ř íslušenství, viz "Technické
informace".
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postup
ů .
P ř ed použitím systému prove ď te všechna elektrická a
pneumatická p ř ipojení.
P ř i zah ř ívání vakuové komory teplota p ř ívodní p ř íruby nesmí
p ř ekro č it 80 °C.
Za chodu výv ě vy nesmí teplota rotoru nikdy p ř esáhnout 120 °C.
Uživatel musí zadat podle od č erpávaného plynu p ř íslušný
plynový režim: 1 pro N
2
a leh č í plyny, 0 pro argon (výchozí
nastavení). Viz podrobné informace v p ř íloze "Technické
informace".

VÝSTRAHA!
Turbovýv ě vu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní p ř íruba
p ř ipojená k vakuové komo ř e.
B ě hem zah ř ívání se turbovýv ě vy ani jejího p ř íslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota m ů že zp ů sobit popáleniny.
!
VAROVÁNÍ
B ě hem chodu chra ň te výv ě vu p ř ed nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplyn
ě ní výv ě vy používejte vzduch nebo inertní plyn, který
je zbaven prachu a smítek. Tlak p ř i odv ě trávacím otvoru musí
být menší než 1 bary (nad atmosférickým tlakem).
Pro
č erpání agresivních plyn ů jsou tyto výv ě vy vybaveny
speciálním otvorem, který umož ň uje plynulý p ř ítok inertního
plynu (nap ř . N
2
, Ar) pro ochranu ložisek výv ě vy (viz p ř ílohu
"Technické informace").

VÝSTRAHA!
Pokud používáte výv ě vu pro č erpání toxických, ho ř lavých nebo
radioaktivních plyn ů , dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Výv
ě vu nepoužívejte v p ř ítomnosti výbušných plyn ů . Výv ě va je
ur č ena pro vysoce výkonné od č erpávání N
2
, Ar a leh č ího plynu.
Pokud byste pot ř ebovali od č erpávat plyny t ě žší než Ar,
kontaktujte technickou podporu firmy Varian a žádejte
informace.