Contents－01
Contents
0．Introduction
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0.1 Before using the vacuum pump
・・・・・・・・・・01
0.2 Safety symbols
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1．For safe operation
・・・・・・・・・・ 1
1.1 Hazards peculiar to the pump and safety measures
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1.1.1 Leakage of dangerous gas and material
・・・・・・・・・・ 1
1.1.2
Electric shock
・・・・・・・・・・ 1
1.1.3
Explosion
・・・・・・・・・・ 2
1.1.4
High temperature
・・・・・・・・・・ 3
1.2 Safety Data Sheet (SDS)
・・・・・・・・・・ 4
2．Outline of the Pump
・・・・・・・・・・ 5
2.1 Specification
・・・・・・・・・・ 5
2.2 Dimensional drawing
・・・・・・・・・・ 6
3．Measures before it starts
・・・・・・・・・・ 7
3.1 Securing of exhaust vent
・・・・・・・・・・ 7
3.2 Installation
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3.3 Vacuum piping
・・・・・・・・・・10
3.4 Electric wiring
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a) Power cable selection standards
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b) Precautions
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b-1) Unplug-preventive hardware(Option)
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b-2) How to install unplug-preventive hardware
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3.5 Fluctuation in the power voltage and frequency
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Danger
Warning
Warning
Caution
