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ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
Ｈｅ ＰＲＥＳＳＵＲＥＭＥＴＥＲ
電気回路部
液化窒素デュワー
圧力計
コールドヘッド
Ｓ０５０
コンプレッサー
ＳＡ１１５
ＯＰＥＲＡＴＩＯＮスイッチ
ＲＵＮＮＩＮＧ ＴＩＭＥ
Ｈｅ ＧＡＳ ＣＨＡＲＧＥ
Figure 2-3
Inside of EMP-14A front door and lower panel
自動供給配管継手
レベル計変換器
ヒューズ
電源ブレーカー
シーケンサー
端子台
Figure 2-4 Electrical circuit
Figure 2-5
Top of EMP-14A
Level sensor converter
Fuse
Circuit breaker
PLC
Terminal
block
Automatic transfer port
Pressure gauge
Liquid nitrogen dewar
Cold head
S050
Electrical circuit
Compressor
SA115-C
Operation ON/OFF switch
