UM0542
List of tables
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List of tables
Table 1.
Mechanical data (LGA8 package) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Table 2.
Mechanical data (LGA14 package) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Table 3.
Mechanical data (LGA16 (D) package) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Table 4.
Mechanical data (LAG16 (A) package). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Table 5.
Mechanical data (QFN28 package) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Table 6.
Voltage regulator for analog MEMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Table 7.
Voltage regulator for digital MEMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Table 8.
Voltage regulator for memory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Table 9.
Analog MEMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Table 10.
Digital MEMS, . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Table 11.
Memory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Table 12.
Operational amplifier X-axe for analog MEMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Table 13.
Operational amplifier Y-axe for analog MEMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Table 14.
Operational amplifier Z-axe for analog MEMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Table 15.
Operational amplifier XYZ-axes for analog MEMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Table 16.
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