List of figures
UM0542
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List of figures
Figure 1.
STR9 MEMS demonstration board . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
Figure 2.
STR9 MEMS demonstration board block diagram . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Figure 3.
Schematics - analog and digital MEMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Figure 4.
Schematics - I
2
C/SPI Flash/EEPROM device, amplifier, stabilizators . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Figure 5.
MEMS footprint (LGA8 package) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Figure 6.
MEMS footprint (LGA14 package) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Figure 7.
MEMS footprint (LGA16 (D) package) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Figure 8.
MEMS footprint (LAG16 (A) package) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Figure 9.
MEMS footprint (QFN28 package) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Figure 10.
Top view . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Figure 11.
Bottom view . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
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