(J)
13
MJ620
最大応答周波数 (kHz)
分割数
分解能 (
u
m)
100 ns
400 ns
2.5
u
s
25
u
s
800
1
8
2
0.0625
0.00625
400
2
20
5
0.625
0.05
160
5
46
11.5
2.125
0.2
80
10
70
27.5
4.75
0.45
40
20
70
55
8.75
0.875
32
25
70
70
11.25
1.125
注意
ヘッドPL101シリーズにおける規定範囲内で取付けを行なわなかった場合、入力信
号レベルやオフセットの変動などが生じ最大応答速度を下回ることがあります。