MKS MKSINST IE1000A, Instruction Manual

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Informations de sécurité pour appareils de mesure/contrôle de débit massique
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Mesures de sécurité et précautions
Observer les précautions générales de sécurité suivantes pendant toutes les phases d'exploitation de cet
appareil. Le non-respect des ces précautions ou des avertissements du manuel constitue une violation
des normes de sécurité relatives à l'utilisation de l'appareil et peut compromettre la protection assurée
par l'appareil. MKS Instruments, Inc. rejette toute responsabilité en cas de non-respect des consignes
par les clients.
PAS DE REMPLACEMENT DE PIÈCES OU DE MODIFICATION DE L'APPAREIL
Ne pas installer de pièces de remplacement ni effectuer des modifications non autorisées sur l'appareil. Renvoyer
l'appareil à un centre de service et de calibrage MKS pour tout dépannage ou réparation afin de garantir le l'intégrité des
dispositifs de sécurité.
DÉPANNAGE UNIQUEMENT PAR DU PERSONNEL QUALIFIÉ
Le personnel d'exploitation ne doit pas essayer de sortir les composants du boîtier ou faire des réglages internes. Le
dépannage est réservé au personnel qualifié.
ÉLOIGNEMENT DES CIRCUITS SOUS-TENSION
Ne pas remplacer de composants lorsqu’un câble d’alimentation est branché. Dans certaines conditions, des tensions
dangereuses peuvent être présentes même après le retrait du câble d’alimentation. Pour éliminer tout risque de blessure,
procéder toujours à la déconnexion et décharger les circuits avant tout contact physique.
PRÉCAUTION EN CAS D'UTILISATION AVEC DES PRODUITS DANGEREUX
Si des produits dangereux sont utilisés, l'utilisateur est responsable du respect des mesures de sécurité appropriées, de la
purge complète de l'appareil quand elle s’avère nécessaire, et doit s’assurer que les produits utilisés sont compatibles
avec les matériaux d'étanchéité.
PURGE DE L'APPAREIL
Après l'installation de l'unité, ou avant son retrait d'un système, purger l'unité complètement avec un gaz propre et sec
afin d'éliminer toute trace du produit de flux utilisé précédemment.
UTILISATION DES PROCÉDURES APPROPRIÉES POUR LA PURGE
Cet appareil doit être purgé sous une hotte de ventilation. Le personnel doit porter des gants de protection.
PAS D'EXPLOITATION DANS UN ENVIRONNEMENT EXPLOSIF
Pour éviter toute explosion, ne pas utiliser cet appareil dans un environnement explosif, sauf en cas d'homologation
spécifique pour une telle exploitation.
UTILISATION D'ÉQUIPEMENTS ET PROCÉDURES DE SERRAGE APPROPRIÉS
Tous les équipements de l'appareil doivent être conformes à ses spécifications, et compatibles avec l'utilisation prévue de
l'appareil. Assembler et serrer les équipements conformément aux directives du fabricant.
VÉRIFICATION DE L'ÉTANCHÉITÉ DES CONNEXIONS
Vérifier attentivement toutes les connexions des composants pour le vide afin de garantir l'étanchéité de l'installation.
EXPLOITATION AVEC DES PRESSIONS D'ENTRÉE NON DANGEREUSES
Ne jamais utiliser des pressions supérieures à la pression nominale maximum (se reporter aux spécifications de l'unité
pour la pression maximum admissible).
INSTALLATION D'UN DISQUE D'ÉCHAPPEMENT ADAPTÉ
En cas d'exploitation avec une source de gaz pressurisé, installer un disque d'échappement adapté dans le système à vide,
afin d'éviter une explosion du système en cas d'augmentation de la pression.
MAINTIEN DE L'UNITÉ À L'ABRI DES CONTAMINATIONS
Ne pas laisser des produits contaminants pénétrer dans l'unité avant ou pendant l'utilisation. Des produits contaminants
tels que des poussières et des fragments de tissu, de verre et de métal peuvent endommager l'unité de manière
permanente.
RESPECT DU TEMPS D'ÉCHAUFFEMENT APPROPRIÉ POUR LES UNITÉS Á RÉGULATION DE TEMPÉRATURE
Les unités à régulation de température sont conformes à leurs spécifications uniquement quand on leur laisse un temps
suffisant pour atteindre d'une manière stable la température d'exploitation. Ne pas remettre à zéro ou calibrer l'unité tant
que l'échauffement n'est pas terminé.