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Pressure Control
Front Panel에 있는 key 중에서 [P.CON MODE] key를 누르면 Pressure Control
Mode로 들어갈 수 있으며, 아래의 그림은 Pressure Control에 사용할 MFC로
[ 1 ], [ 2 ], [ 3 ] Channel을 Setup Menu에서 선택한 모양이고, Channel 번호
왼쪽 편에 “p” 라고 나타난다.
여기서 “p” 라고 선택하지 않은 Channel의 MFC는 따로 [P.CON MODE] key를
눌러 Flow Mode로 간 다음 독립적으로 사용 할 수 있다.
1. Pressure Setting 값 변환 하기
[ADJ] key를 돌리면 Pressure Setting 값이 변화한다.
원하는 압력 값에 맞추고 [ENT] key를 누른다.
2. Flow
“
On/Off
”
하기
위의 상태에서 [FLOW ON] 또는 [FLOW OFF] key를 눌러 수행한다.
이 때 “p” 라고 선택한 Channel의 MFC는 모두 동시에 On 또는 Off된다.
3. Gain, Phase Lead, Control Channel 등 Parameter 바꾸기.
[MENU/ESC] key를 누르면 Pressure Control Setup Menu로 들어갔다
나왔다 할 수 있으므로 기존에 설정한 값을 변경할 수 있다.
p1: 0 p2: 0
p3: 0
4: 0
P.Set : 1.0000 Torr
Press :
0.0000