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Chapter Four : System Setup
Overview
GMC1100 Flow & Pressure Controller는 사용하기 전에 Rear Panel에 연결된
각각의 MFC에 대한 Full Scale Range, Gas의 흐름이 없을 때의 Zeroing, 또는
비율 Control 기능인 Ratio, 적산 기능인 Accumulation, Gas의 양으로 자동으로
Pressure Control을 하는 Automatic Upstream Pressure Control 기능에 대한
설정 등 전반적인 System Setup을 Main Menu로 들어가서 하게 되어있다.
처음 Main 전원을 켰을 때, Display는 Default로 아래와 같이 왼쪽에 Set-point,
오른쪽에 실제 흐르는 Flow 양을 나타내는 기본화면으로 되어 있다.
여기서 [
MENU/ESC
] key을 누르면 Menu로 들어갈 수 있다.
이 Switch는
“
MENU
”
와
“
ESC
”
의 Toggle key여서 다시 [
MENU/ESC
] key을
누르면
“
ESC
”
가 눌린 게 되어 Default화면으로 빠져 나온다.
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