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3. 위의 Display상태에서 [
ADJ/ENT
] key를 돌리면, 기본적인 Range가 아래
와 같이 Scroll된다.
1
2
5
10
20
50
100
200
500
1000 *
2000
5000
*
initial value
4. Range를 맞춘 다음에 [
ADJ/ENT
] key를 누르면, 다시 미세 조정 할 수
있도록 되어 있는데, [
ADJ/ENT
] key를 돌려서 맞춘다
5. Down scroll key인 [▼] key를 눌러서 Cursor (
)를 “Unit”에 가져다
놓고 [
ADJ/ENT
] key를 돌려서 [SCCM] 또는 [ SLM]으로 맞춘다.
예 : Range 139 sccm을 설정할 경우나,
Range 100 sccm, N2 Gas용 MFC를 가지고 Ar Gas를 흘릴 경우
( Ar Gas의 Correction factor가 1.39 일 때 )
1) 일단 Range를 [100]으로 맞추고
“
ENT
”
를 누르면, [100.0]으로
Display 됨.
2) 이 상태에서 다시 조정하여 [139.0]으로 맞추고.
3)
“
Unit
”
는 초기값이 [SCCM]이므로 따로 맞출 필요 없이
“
ENT
”
를 누르면 저장이 되고 Sub Menu로 빠져 나온다.