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5. “Range” 맞추기와 “Unit”
Cursor를
“
Range
”
에다 맞추고, [ADJ] key를 우측으로 돌리면,
기본적으로 입력되어 있는 Range 값들이 변하는데 그 값들을 보면
다음과 같다.
[ 0.01 ],
[ 0.02 ],
[ 0.05 ],
[ 0.1 ],
[ 0.2 ],
[ 0.5 ],
[ 1 ],
[ 2 ],
[ 5 ],
[ 10 ],
[ 20 ],
[ 50 ],
[ 100 ],
[ 200 ],
[ 500 ],
[ 1000 ],
[ 2000 ],
[ 5000 ],
[ 10000 ],
[ 20000 ],
[ 25000 ],
Capacitance Manometer의 Range가 100 mtorr 인 것을 예로 들면,
Range를
[ 0.1 ]
에다
맞추어야
한다
.
그러면 Display상에는 자동으로 100.00 mtorr로 맞추어 진다.
6. “Zeroing”
Capacitance Manometer의 Zeroing도 MFC와 마찬가지로 Shift되기 쉬우
므로 틀어졌을 경우에 맞추어 주어야 하는데, Capacitance Manometer의
Display Resolution이 5 Digit 이므로 Range별로 Zeroing 하는 진공도를
보면 다음과 같다.
100 mtorr
10
-6
1 torr
10
-5
10 torr
10
-4
100 torr
10
-3
1000 torr
10
-2