Agilent Technologies TPS-mobile 9698403 User Manual Download Page 227

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Felhasználói Kézikönyv

Használat

TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)

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Használat

Ez a

bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.

Mielőtt a rendszert használja, ellenőrizze, hogy valamennyi
elektromos és hidraulikus csatlakozás megfelelően készült.

vákuumkamra esetleges melegítése közben a bemeneti karima

hőmérséklete nem ha

ladhatja meg a 120 °C-ot ConFlat karima és a 80

°C-ot ISO karima esetén.

VESZÉLY!

Soha ne használja a szivattyúzó rendszert, amikor a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.

VESZÉLY!

Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési

folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.

VESZÉLY!

Ne mozdítsa el, és vigyázzon, ne ütközzön semmi a turbószivattyúhoz

működés közben! A csapágyak megsérülhetnek, és anyagi kár vagy személyi

sérülés történhet.

Summary of Contents for TPS-mobile 9698403

Page 1: ...1 9698423 9698425 9698427 9698429 9698431 9698433 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjek sikirja Notice de mode d emploi Felhaszn l i k zik nyv Manual de istrucciones Podrec...

Page 2: ...furnished under a license and may be used or copied only in accordance with the terms of such license Restricted Rights Legend If software is for use in the performance of a U S Government prime cont...

Page 3: ...TPS mobile TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F 3 400 TPS mobile...

Page 4: ...TPS mobile 4 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F...

Page 5: ...nformazioni Generali 15 Immagazzinamento 19 Preparazione per l installazione 20 Installazione 22 Uso24 Unit Speciali 31 Manutenzione 32 Smaltimento 33 Gebrauchsanleitung35 Sicherheitshinweise f r Turb...

Page 6: ...tockage 62 Pr paration pour l installation 63 Installation 65 Utilisation 67 Unit s sp ciales74 Entretien 75 Mise au rebut 76 Manual de istrucciones 77 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomolec...

Page 7: ...para a instala o103 Instala o 105 Utiliza o 107 Unidade especial 114 Manuten o 115 Elimina o 116 Bedrijfshandleiding 117 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 118 Algemene informatie 119...

Page 8: ...Vedligeholdelse 154 Bortskaffelse 155 Bruksanvisning 157 S kerhetsanvisningar f r Molekyl ra turbopumpar158 Allm n Information 159 F rvaring 162 F rberedelser f r installationen 163 Installation 165...

Page 9: ...195 Ohjek sikirja 197 Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 198 Yleisi tietoja 199 Varastointi 202 Valmistelut asennusta varten203 Asennus 205 K ytt 207 Erityisyksik t 213 Huolto 214 H vitt minen 215 F...

Page 10: ...stwa dla Pomp Turbomolekularnych 238 Og lne informacje 239 Magazynowanie 242 Przygotowanie do instalacji 243 Instalacja 245 U ytkowanie 247 Jednostki specjalne 254 Konserwacja 255 Przetworstwo odpadow...

Page 11: ...cn inform cie 279 Uchov vanie 282 Pr prava na in tal ciu 283 In tal cia 285 Pou itie 287 peci lne jednotky 293 dr ba 294 Likvid cia 295 Priro nik za Navodila 297 Varnostna navodila za Turbomolekularne...

Page 12: ...ation 323 Installation 325 Use327 Modified Standard 334 Maintenance 335 Disposal 336 Technical Information 337 Description of the TPS mobile 339 Technical Specification 347 TPS Mobile Outline 358 Turb...

Page 13: ...ri 14 Informazioni Generali 15 Simboli usati 17 Immagazzinamento 19 Preparazione per l installazione 20 Installazione 22 Uso 24 Accensione ed Uso del TPS mobile 25 Arresto del TPS mobile 30 Arresto di...

Page 14: ...ata quantit di energia cinetica dovuta alla alta velocit di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore o...

Page 15: ...torizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche Il TPS mobile un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto integrata dal re...

Page 16: ...retto potrebbe provocare gravi lesioni personali ATTENZIONE I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che se non osservate potrebbero causare danni all apparecchiatura NOTA Le note...

Page 17: ...le interruzione dell alimentazione Simboli usati I seguenti simboli sono utilizzati in modo coerente in tutte le illustrazioni Pericolo Riferirsi a installazione funzionamento Conduttore di protezione...

Page 18: ...gas tossici infiammabili o radioattivi seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas Non usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi La pompa progettata per un elevato trasfer...

Page 19: ...mperatura fare riferimento ai manuali dei singoli componenti del TPS umidit relativa fare riferimento ai manuali dei singoli componenti del TPS il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari...

Page 20: ...l ufficio vendite locale Durante l operazione di disimballaggio prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TPS mobile e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni Non disperdere l imballo nell...

Page 21: ...orma sistemi di pompaggio Agilent denominata TPS mobile le differenze introdotte dai vari numeri di modello sono relative alla pompa turbomolecolare ed alla pompa di foreline integrata nello specifico...

Page 22: ...essivi in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio Durante il funzionamento necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali pressione massima 2 bar oltre la pressione atm...

Page 23: ...di taglia superiore alla 304 FS il TPS mobile potr essere utilizzato solo per la movimentazione della pompa turbopompa spenta che dovr essere installata tramite la sua flangia di inlet nel sistema cl...

Page 24: ...deve essere superiore a 120 C con flangiatura ConFlat e a 80 C con flangiatura ISO AVVERTENZA Non far funzionare mai il sistema di pompaggio se la flangia di ingresso non collegata alla camera a vuot...

Page 25: ...ci infiammabili o radioattivi seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas Non usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi Accensione ed Uso del TPS mobile Dopo aver disimbal...

Page 26: ...dere a collegare il cavo d alimentazione elettrica alla presa elettrica di tipo IEC320 presente sul pannello posteriore del sistema vedi figura La presa dotata di una molla di ritenzione posta al fine...

Page 27: ...questa operazione Fornire la tensione corretta al sistema mediante il cavo d alimentazione Il sistema equipaggiato con un interruttore principale interruttore termico in grado di proteggere i componen...

Page 28: ...r della pompa turbo ma sia la pompa turbo sia la pompa di foreline restano spente L attivazione del sistema permette al controller d iniziare la lettura del dato di pressione attraverso il Full Range...

Page 29: ...l 87 901 005 01 F 29 400 possibile avviare il sistema mediante il selettore denominato Pumping Dopo aver portato il selettore Pumping nella posizione 1 la pompa turbo e la pompa di foreline si avviera...

Page 30: ...tandolo in posizione 0 il controller rester acceso e se un gauge collegato al sistema sar possibile continuare la lettura della pressione anche a pompe spente Un modo alternativo di spegnere il sistem...

Page 31: ...ciali La piattaforma TPS mobile pu essere personalizzata in funzione delle diverse esigenze ottenendo specifici numeri di modello Ad eccezione di casi specifici forniti di specifica documentazione que...

Page 32: ...re all aria la pompa aprendo l apposita valvola attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 C In caso di guasto possibile...

Page 33: ...he il prodotto sul quale applicato NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata Si invita pertanto l utente...

Page 34: ...1 Istruzioni per l uso Smaltimento 34 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F...

Page 35: ...mpen 36 Allgemeine Informationen 37 Verwendete Symbole 39 Lagerung 41 Vor der Installation 42 Installation 44 Gebrauch 46 Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS mobile 47 Stoppen des TPS mobile 52 N...

Page 36: ...en Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren ber eine gro e Menge kinetischer Energie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und St...

Page 37: ...nt keinerlei Haftung Modell TPS mobile ist ein integriertes System das aus einer Turbomolekularpumpe f r Hoch und H chstvakuumanwendungen integriert mit einem entsprechenden Controller und der Prim rp...

Page 38: ...unkorrekter Ausf hrung schwere Verletzungen hervorrufen k nnten VORSICHT Die Vorsichtshinweise werden vor Vorg ngen angegeben die bei Nichtbeachtung Sch den an der Anlage verursachen k nnten HINWEIS D...

Page 39: ...dass die Stromversorgung schnell abgeschaltet werden kann Verwendete Symbole Folgende Symbole wurden durchg ngig in allen Illustrationen verwendet Gefahr Schlagen Sie im Installations und Betriebshand...

Page 40: ...en verwendet die entsprechenden Verfahren f r das jeweilige Gas befolgen Die Pumpe nicht bei Pr senz von explosiven Gasen verwenden Die Pumpe ist entworfen worden um Stickstoff Argon und leichtere Gas...

Page 41: ...peratur siehe Handb cher der einzelnen Komponenten der TPS Relative Feuchtigkeit siehe Handb cher der einzelnen Komponenten der TPS Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbe...

Page 42: ...l TPS mobile ist vorsichtig auszupacken wobei es vor dem Herunterfallen und vor St en und Vibrationen zu sch tzen ist Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgem zu entsorgen Es ist vollst ndig recycle...

Page 43: ...TPS mobile die durch die verschiedenen Modellnummern aufgef hrten Unterschiede beziehen sich auf die Turbomolek lpumpe und die Foreline Pumpe die im spezifischen Modell integriert ist sowie auf die im...

Page 44: ...nicht in explosionsf higen oder erh ht brandgef hrdeten Umgebungen installiert und oder benutzt werden Beim Betrieb m ssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden Maximaler Druck 2 bar ber d...

Page 45: ...obile mit Pumpen ausgestattet wird die gr er sind als die 304 FS kann es nur f r die Bewegung der Pumpe ausgeschaltete Turbopumpe verwendet werden Diese muss dann ber einen Inlet Flansch im System des...

Page 46: ...ht ber 120 C und bei einem ISO Flansch nicht ber 80 C steigen WARNUNG Das Pumpensystem darf nicht in Betrieb genommen werden wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht...

Page 47: ...Gasen benutzt wird sind die f r das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorg nge und Ma nahmen zu befolgen Das Pumpensystem darf niemals bei Vorhandensein von explosionsf higen Gasen verwendet werden Einsc...

Page 48: ...des Systems kompatibel ist kann man das Stromkabel an die Steckdose IEC320 am hinteren Paneel des Systems anschlie en siehe Abbildung Die Steckdose ist mit einer R ckhaltefeder ausgestattet um pl tzl...

Page 49: ...efert somit ist dieser Vorgang nicht notwendig Dem System mittels Speisekabel die korrekte Spannung geben Das System ist mit einem Hauptschalter Thermoschalter ausgestattet der die Bestandteile des Sy...

Page 50: ...er der Turbopumpe Speisung aber die Turbopumpe wie die Forelnepumpe bleiben ausgeschaltet Die Aktivierung des Systems erm glicht dem Controller das Lesen des Druckwerts ber den zus tzlichen Full Range...

Page 51: ...l 87 901 005 01 F 51 400 Es ist m glich das System ber den Wahlschalter Pumping zu starten Nachdem der Wahlschalter Pumping auf die Position 1 gestellt wurde starten die Turbopumpe und die Forelinepum...

Page 52: ...zuschalten indem er auf 0 gestellt wird der Controller bleibt eingeschaltet und wenn ein Gauge am System angeschlossen ist kann das Lesen des Drucks auch bei abgeschalteter Pumpe fortgef hrt werden Ei...

Page 53: ...bot TPS mobile kann je nach Wunsch und Bedarf individuell gestaltet werden wodurch spezifische Modellnummern erhalten werden Au er in den durch die spezifische Dokumentation genannten F llen ist diese...

Page 54: ...ehen die Pumpe ber ffnung des entsprechenden Ventils bel ften und abwarten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengeh use unter 50 C abgesunken ist Bei Defekten kann der Agile...

Page 55: ...l nur in den EU L ndern g ltig zeigt an dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsm ll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugef hrt werden muss Der Endabnehmer s...

Page 56: ...2 Gebrauchsanleitung Entsorgung 56 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F...

Page 57: ...ations g n rales 59 Symboles utilis s 61 Stockage 62 Pr paration pour l installation 63 Installation 65 Utilisation 67 Mise en marche et utilisation du TPS mobile 68 Arr t du TPS mobile 73 Arr t d urg...

Page 58: ...une nergie cin tique lev e due la grande vitesse de rotation associ e la masse sp cifique de leurs rotors En cas de panne du syst me par exemple cause d un contact entre rotor et stator ou d une rupt...

Page 59: ...s ou d emploi contraire aux r glementations nationales sp cifiques Le TPS mobile est un syst me int gr constitu d une pompe turbomol culaire con ue pour des applications de vide pouss et ultrapouss et...

Page 60: ...impropre risque de provoquer de graves l sions ATTENTION Les messages d attention apparaissent avant certaines proc dures dont le non respect pourrait endommager s rieusement l appareillage NOTE Les n...

Page 61: ...face chaude Risque de br lure en cas de contact ON Marche Mise sous tension Danger risque d lectrisation OFF Arr t Mise hors tension AVERTISSEMENT Quand la pompe est utilis e pour le pompage de gaz to...

Page 62: ...conditions ambiantes suivantes temp rature consulter les manuels des composants du TPS humidit relative consulter les manuels des composants du TPS A la premi re utilisation les pompes turbomol culai...

Page 63: ...endant l op ration d ouverture de l emballage veiller tout particuli rement ne pas laisser tomber le TPS mobile et ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration Ne pas abandonner l emballage dans...

Page 64: ...es syst mes de pompage Agilent d nomm e TPS mobile les diff rences entre les diff rents mod les concernent la pompe turbomol culaire et la pompe primaire int gr e dans le mod le ainsi que la tension l...

Page 65: ...ie gel neige la poussi re aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou fort risque d incendie Pendant le fonctionnement il est n cessaire de respecter les conditions environnementales sui...

Page 66: ...ile est quip d une pompe de dimension sup rieure la 304 FS le TPS mobile ne peut tre utilis que pour le d placement de la pompe turbopompe l arr t qui devra tre install e l aide de sa bride d entr e d...

Page 67: ...e bridage ConFlat et 80 C en cas de bridage ISO AVERTISSEMENT Ne jamais faire fonctionner le syst me de pompage si la bride d entr e n est pas reli e la chambre vide ou si elle n est pas ferm e avec l...

Page 68: ...age de gaz toxiques inflammables ou radioactifs suivre les proc dures typiques de chaque gaz Ne pas utiliser le syst me de pompage en pr sence de gaz explosifs Mise en marche et utilisation du TPS mob...

Page 69: ...e vous pouvez brancher le c ble d alimentation dans la prise lectrique de type IEC320 situ e l arri re du syst me cf figure La prise est dot e d un ressort de maintien vitant les d branchements accide...

Page 70: ...t pas n cessaire Alimenter la machine la tension prescrite l aide du c ble d alimentation Le syst me est dot d un interrupteur principal disjoncteur thermique destin prot ger les composants lectriques...

Page 71: ...ent le contr leur de la turbopompe mais la pompe turbo et la pompe primaire restent l arr t La mise en marche du syst me permet au contr leur de commencer lire la valeur de pression du manom tre Full...

Page 72: ...2 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F Il est alors possible de d marrer le syst me l aide du s lecteur d nomm Pumping en position 1 La pompe turbo et la pompe primaire d marrent Port manom tre...

Page 73: ...e contr leur reste sous tension et si un manom tre a t reli au syst me il est possible de lire la valeur de pression m me lorsque les pompes sont l arr t Une autre mani re d arr ter le pompage consist...

Page 74: ...sp ciales La plateforme TPS mobile peut tre personnalis e en fonction des exigences en obtenant des num ros de mod le sp cifiques A l exception de cas particuliers accompagn s d une documentation sp c...

Page 75: ...ouvrant la soupape pr vue cet effet attendre jusqu l arr t complet du rotor et jusqu ce que la temp rature superficielle de la pompe soit inf rieure 50 C En cas de panne il est possible de b n ficier...

Page 76: ...produit sur lequel il est appliqu NE doit PAS tre mis au rebut avec les ordures m nag res ou les d chets industriels ordinaires mais passer par un syst me de collecte s lective Apr s avoir v rifi les...

Page 77: ...res 78 Informaci n general 79 S mbolos usados 81 Almacenamiento 82 Preparaci n para la instalaci n 83 Instalaci n 85 Uso 87 Encendido y Uso del TPS mobile 88 Parada del TPS mobile 93 Parada de Emergen...

Page 78: ...na elevada cantidad de energ a cin tica debido a la alta velocidad de rotaci n en combinaci n a la masa espec fica de sus rotores En el caso de un da o del sistema por ejemplo por un contacto entre el...

Page 79: ...as o a un uso contrario a las normas nacionales espec ficas El TPS mobile es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vac o integrada por el r...

Page 80: ...alizarse correctamente podr a provocar graves lesiones personales ATENCI N Los mensajes de atenci n se visualizan antes de los procedimientos que de no cumplirse podr an provocar da os al aparato NOTA...

Page 81: ...Peligro de quemadura si se tocan las partes calientes ON Arranque Alimentaci n Peligro riesgo de descarga el ctrica OFF Parada Alimentaci n ADVERTENCIA Cuando la bomba se utiliza para bombear gases t...

Page 82: ...e cada componente del TPS humedad relativa consultar los manuales de cada componente del TPS el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerl...

Page 83: ...ina local de ventas Durante la operaci n de desembalaje tener cuidado de que no se caiga el TPS mobile y de no someterlo a golpes o vibraciones No abandonar el embalaje en el medio ambiente El materia...

Page 84: ...de bombeo Agilent denominada TPS m vil las diferencias aportadas por los distintos n meros de modelo corresponden a la bomba turbomolecular y a la bomba de previo integrada al modelo espec fico como a...

Page 85: ...riesgo de explosi n o incendio Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes presi n m xima 2 bares por encima de la presi n atmosf rica temperatura co...

Page 86: ...bas de tama o mayor al 304 FS el TPS mobile podr ser utilizado nicamente para el desplazamiento de la bomba turbobomba apagada que deber instalarse con la respectiva brida de entrada en el sistema del...

Page 87: ...0 C con una fijaci n con brida ConFlat y a 80 C con una fijaci n con brida ISO ADVERTENCIA No hacer funcionar nunca el sistema de bombeo si la brida de entrada no est conectada a la c mara de vac o o...

Page 88: ...os inflamables o radioactivos seguir los procedimientos apropiados t picos de cada gas No usar el sistema de bombeo cuando haya gases explosivos Encendido y Uso del TPS mobile Despu s de desembalar el...

Page 89: ...ema se puede conectar el cable de alimentaci n el ctrica a la toma de corriente tipo IEC320 presente en el panel trasero del sistema v ase la figura La toma cuenta con un muelle de retenci n para evit...

Page 90: ...sario realizar esta operaci n Suministrar la tensi n correcta al sistema mediante el cable de alimentaci n El sistema est equipado con un Interruptor Principal interruptor t rmico capaz de proteger lo...

Page 91: ...olador de la turbobomba pero tanto sta como la bomba de apoyo permanecen apagadas La activaci n del sistema permite al controlador comenzar con la lectura del dato de presi n mediante el Full Range Ga...

Page 92: ...Manual 87 901 005 01 F Se puede poner en marcha el sistema mediante el selector denominado Pumping Despu s de colocar el selector Pumping en la posici n 1 la bomba y la bomba de apoyo se pondr n en ma...

Page 93: ...ng desplaz ndolo a la posici n 0 el controlador permanecer encendido y si hay un indicador conectado al sistema se podr continuar con la lectura de la presi n incluso con el sistema apagado Una manera...

Page 94: ...ales La plataforma TPS m vil se puede personalizar de acuerdo con las distintas necesidades obteniendo n meros de modelo espec ficos A excepci n de casos especiales provistos de documentaci n espec fi...

Page 95: ...ci n disponer la bomba en presi n atmosf rica abriendo la v lvula respectiva y esperar hasta que el rotor se pare completamente y que la temperatura superficial de la bomba se reduzca a menos de 50 C...

Page 96: ...licado NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean stos dom sticos o industriales y que por el contrario deber ser sometido a un procedimiento de recogida diferenciada Por lo tanto se in...

Page 97: ...s 98 Informa es gerais 99 S mbolos utilizados101 Armazenagem 102 Prepara o para a instala o 103 Instala o 105 Utiliza o 107 Acendimento e Utiliza o do TPS mobile 108 Paragem do TPS mobile 113 Paragem...

Page 98: ...Instru es t m uma alta quantidade de energia cin tica devida alta velocidade de rota o unida massa espec fica de seus rotores Em caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o...

Page 99: ...rio s normas nacionais espec ficas O TPS mobile um sistema integrado constitu do por uma bomba turbomolecular para aplica es de alto e ultra alto v cuo equipado com os respectivos controller e bomba p...

Page 100: ...s pessoais CUIDADO As mensagens de cuidado s o visualizadas antes de procedimentos que se n o efectuados correctamente podem causar danos aparelhagem NOTA As notas cont m informa es importantes destac...

Page 101: ...adas ON Liga o Alimenta o Perigo risco de choque el trico OFF Paragem Alimenta o ATEN AO Quando a bomba for utilizada para a bombagem de gases t xicos inflam veis ou radioactivos seguir os procediment...

Page 102: ...tura consultar os manuais dos componentes individuais do TPS umidade relativa consultar os manuais dos componentes individuais do TPS ao accionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente...

Page 103: ...to com o escrit rio de vendas local Durante a remo o da embalagem tomar muito cuidado para n o deixar cair o TPS mobile e para n o submet lo a choques ou vibra es N o depositar a embalagem no meio amb...

Page 104: ...bagem Agilent denominada TPS m vel as diferen as introduzidas pelos diferentes n mero de modelo s o relativas bomba turbomolecular e bomba de foreline integrada no modelo espec fico al m da tens o apl...

Page 105: ...com possibilidade de explos o ou com elevado risco de inc ndio Durante o funcionamento necess rio que sejam respeitadas as seguintes condi es ambientais press o m xima 2 bar al m da press o atmosf ri...

Page 106: ...bombas maiores que 304 FS o TPS mobile s pode ser utilizado para mover a bomba bomba turbo desligada que deve ser instalada atrav s da sua flange de entrada no sistema do cliente antes de iniciar o T...

Page 107: ...n o deve ser superior a 120 C com flangeamento ConFlat e a 80 C com flangeamento ISO ATEN AO Nunca activar o sistema de bombeamento se o flange de entrada n o estiver ligado c mara de v cuo ou n o est...

Page 108: ...m veis ou radioactivos seguir os procedimentos adequados t picos para cada g s N o usar o sistema de bombeamento na presen a de gases explosivos Acendimento e Utiliza o do TPS mobile Ap s ter desembal...

Page 109: ...tema poss vel conectar o cabo de alimenta o el ctrica na tomada el ctrica do tipo IEC320 presente no painel traseiro do sistema ver figura A tomada equipada com uma mola de reten o posicionada para ev...

Page 110: ...n o necess rio realizar esta opera o Fornecer a tens o correcta ao sistema por meio do cabo de alimenta o O sistema equipado com um interruptor principal interruptor t rmico capaz de proteger os comp...

Page 111: ...ler da bomba turbo mas tanto a bomba turbo quanto a bomba de foreline permanecem desligadas A activa o do sistema permite ao controller iniciar a leitura do dado de press o por meio do Full Range Gaug...

Page 112: ...bile User Manual 87 901 005 01 F poss vel arrancar o sistema por meio do selector denominado Pumping Ap s ter colocado o selector Pumping na posi o 1 a bomba turbo e a bomba de foreline s o activadas...

Page 113: ...g deslocando o para a posi o 0 o controller permanecer aceso e se um medidor estiver conectado ao sistema ser poss vel continuar a leitura da press o mesmo com a bomba desligada Um modo alternativo de...

Page 114: ...cial A plataforma TPS m vel pode ser personalizada em fun o das diferentes exig ncias obtendo n meros espec ficos de modelo Com excep o de casos espec ficos fornecidos de documenta o espec fica este m...

Page 115: ...da rede de alimenta o introduzir ar na bomba abrindo a v lvula espec fica aguardar at a completa paragem do rotor e at que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 C Em caso de defeito p...

Page 116: ...produto no qual est aplicado N O deve ser eliminado juntamente com os res duos dom sticos ou industriais comuns mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada Portanto convidamos o utiliza...

Page 117: ...e pompen 118 Algemene informatie 119 Gebruikte symbolen 121 Opslag 122 Uitpakken 123 Installatie 125 Gebruik 127 Inschakeling en gebruik van de TPS mobile 128 Afzetten van de TPS mobile 133 Noodstop 1...

Page 118: ...ebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem bijvoorbeeld door een contact tussen d...

Page 119: ...oestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving De TPS mobile is een ge ntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacu mtoepassingen...

Page 120: ...n VOORZICHTIG Bij dit symbool staat tekst met procedures die indien niet opgevolgd schade aan apparatuur kunnen veroorzaken OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is...

Page 121: ...r risico op elektrische schok OFF Stoppen Voeding WAARSCHUWING Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare giftige of radioactieve gassen moeten de procedures worden gevolgd die speci...

Page 122: ...rlijke componenten van de TPS relatieve vochtigheidsgraad raadpleeg de handleidingen van de afzonderlijke componenten van de TPS de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opsta...

Page 123: ...jke verkoopkantoor Zorg er bij het uitpakken voor dat de TPS mobile niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt Laat de verpakking niet ergens buiten achter Het verpakkingsmateriaa...

Page 124: ...ysteem platform van Agilent dat TPS mobile wordt genoemd de verschillen van de diverse modelnummers hebben betrekking op de turbomoleculaire pomp en de foreline pomp die in het specifieke model is ing...

Page 125: ...heden regen vorst sneeuw stof agressieve gassen of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn max druk 2 bar boven d...

Page 126: ...n 304 FS worden uitsluitend gebruikt voor het transport van de pomp turbopomp uitgeschakeld die in het systeem van de klant ge nstalleerd moet worden met de ingangsflens vooraleer TPS mobile te starte...

Page 127: ...aatflens niet meer dan 120 C bedragen met flens ConFlat en 80 C met flens ISO WAARSCHUWING Laat het pompsysteem nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacu mkamer is aangesloten of als de afsluit...

Page 128: ...andbare giftige of radioactieve gassen moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld Gebruik het pompsysteem niet in aanwezigheid van explosieve gassen Inschakeling...

Page 129: ...het systeem kan de elektrische voedingskabel op het contact type IEC320 op het achterpaneel van het systeem worden aangesloten zie figuur Het aansluitcontact is voorzien van een borgveer om onvoorzien...

Page 130: ...ing niet uitgevoerd te worden Sluit de juiste spanning op het systeem aan door middel van de voedingskabel Het systeem is uitgerust met een hoofdschakelaar thermische schakelaar die dient om de compon...

Page 131: ...troller van de turbopomp gevoed maar zowel de turbopomp als de foreline pomp blijven uit Door inschakeling van het systeem kan de controller beginnen met het aflezen van de drukwaarde via de optionele...

Page 132: ...obile User Manual 87 901 005 01 F Het systeem kan worden gestart via de keuzeschakelaar Pumping Nadat de keuzeschakelaar Pumping in de stand 1 is gezet worden de turbopomp en de foreline pomp gestart...

Page 133: ...in de stand 0 te zetten de controller blijft ingeschakeld en indien een gauge op het systeem is aangesloten kan de druk ook worden afgelezen als de pompen uit staan Het systeem kan ook worden uitgesch...

Page 134: ...t TPS mobile platform kan op verschillende behoeften worden aangepast waardoor specifieke modelnummers worden verkregen Met uitzondering van specifieke gevallen voorzien van specifieke documentatie is...

Page 135: ...lp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 C is gezakt In geval van storing is het...

Page 136: ...waarop het is aangebracht NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval maar gescheiden moet worden ingezameld De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met...

Page 137: ...Generel Information 139 Anvendte symboler141 Opbevaring 142 Forberedelse f r installation 143 Installation 145 Anvendelse 147 Start og anvendelse af TPS mobile 148 Stop af TPS mobile 152 N dstop 152 S...

Page 138: ...en stor kinetisk energi der skyldes den h je omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke v gt Hvis der er en fejl i systemet for eksempel p grund af en kontakt mellem rotor og stator...

Page 139: ...der strider imod g ldende lokale regler TPS mobile systemet omfatter en turbomolekyl r pumpe til h je eller meget h je vakuumtilpasninger og aktuel styreenhed og hovedpumpe Systemet er i stand til at...

Page 140: ...d er der risiko for sv re personskader FORSIGTIG Denne advarselsmeddelelse vises f r procedurer der skal f lges n je for ikke at risikere maskinskader BEM RK Dette g r opm rksom p vigtig information i...

Page 141: ...N Start Forsyning Fare risiko for elektrisk st d OFF Stop Forsyning ADVARSEL N r pumpen anvendes til at pumpe giftige br ndbare eller radioaktive gasser skal de passende standardprocedurer for hver sl...

Page 142: ...ningerne der omhandler de enkelte TPS komponenter relativ fugtighedsgrad Der henvises til vejledningerne der omhandler de enkelte TPS komponenter Kunden skal altid starte de turbomolekyl re pumper ved...

Page 143: ...ballagen viser tegn p skader der kan v re opst et under transporten S rg for at TPS mobile ikke tabes eller uds ttes for st d ved udpakningen Smid ikke emballagen ud Materialet kan genbruges 100 og op...

Page 144: ...ra Agilent pumpesystem serien ben vnt TPS mobile Forskellene som de forskellige modelnumre indf rer henviser til foreline pumpen der er indbygget i den specifikke model ud over sp ndingen der er kr ve...

Page 145: ...essive gasser og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt milj F lgende krav til omgivelsesforholdene g lder ved drift max tryk 2 bar over det atmosf riske tryk temperatur Der henvises til vejle...

Page 146: ...er forsynet med pumper med m l der er st rre end 304 FS er det udelukkende muligt at anvende TPS mobile til pumpens h ndtering slukket turbopumpe der skal installeres ved brug af indgangsflangen i ku...

Page 147: ...af ISO type ADVARSEL Pumpen m aldrig aktiveres hvis indl bsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret eller hvis pumpen ikke er lukket ved hj lp af lukkeflangen ADVARSEL R r aldrig turbopumpen eller d...

Page 148: ...og anvendelse af TPS mobile Efter at have udpakket TPS mobile udf r en visuel kontrol for at udelukke at systemet viser tegn p skader der kan v re opst et under transporten de kritiske punkter er pum...

Page 149: ...er af forsyningsledningen fjederen bruges til at tilkoble forsyningsledningen BEM RK Den leverede model 980 8433 er udstyret med en indbygget forsyningsledning og det er derfor ikke n dvendigt at udf...

Page 150: ...ens styreenhed med str m men turbopumpen og Foreline pumpen vedbliver slukket Systemets aktivering giver styreenheden mulighed for at starte afl sning af trykv rdien ved hj lp af Full Range Gauge FRG...

Page 151: ...Manual 87 901 005 01 F 151 400 Det er muligt at starte anl gget ved hj lp af Pumping afbryderen Efter at have stillet afbryderen Pumping i position 1 starter b de turbopumpen og Foreline pumpen M lei...

Page 152: ...n ved at flytte den i position 0 styreenheden vedbliver t ndt og hvis der er et m leinstrument der er tilsluttet systemet er det muligt at forts tte afl sningen selv hvis pumperne er slukket En anden...

Page 153: ...cielle enheder TPS mobile serien kan tilpasses afh ngigt af forskellige krav med specifikke modelnumre Med undtagelse af specifikke tilf lde der er ledsaget med en specifik dokumentation kan denne man...

Page 154: ...oget som helst indgreb p systemet skal str mmen f rst afbrydes og luften i pumpen skal fjernes ved at bne ventilen Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset og til temperaturen p pumpe...

Page 155: ...dder p IKKE m bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres p en godkendt affaldsstation Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverand...

Page 156: ...7 Istruktionsbog Bortskaffelse 156 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F...

Page 157: ...m n Information 159 Symboler som anv nds 161 F rvaring 162 F rberedelser f r installationen 163 Installation 165 Anv nding 167 Start och anv ndning av TPS mobile 168 Att st nga av TPS mobile 172 N dst...

Page 158: ...g kinetisk energi beroende p den h ga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa I det fall fel skulle uppst i systemet t ex p grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle...

Page 159: ...utrustningen eller hantering som strider mot g llande lokala f reskrifter Systemet TPS mobile best r av en turbomolekyl r pump f r h ga och mycket h ga vakuumtill mpningar en styrenhet och en huvudpum...

Page 160: ...all finns risk f r sv ra personskador OBSERVER Detta varningsmeddelande visas framf r procedurer som m ste f ljas exakt f r att inte risk f r maskinskada ska uppst OBSERVERA Detta visar p viktig infor...

Page 161: ...nnskador vid kontakt med varma delar ON Start f rs rjning Fara risk f r elektrisk st t OFF Stopp f rs rjning VARNING N r pumpen anv nds f r en pumpning av giftiga ant ndabara eller radioaktiva gaser f...

Page 162: ...Temperatur se handb ckerna f r de enstaka komponenterna p TPS Relativ fuktighet se handb ckerna f r de enstaka komponenterna p TPS Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl ra pumparna n r de motta...

Page 163: ...om emballaget visar tecken p skador som kan ha uppst tt under transporten Se till att TPS mobile inte tappas eller uts tts f r st tar vid uppackningen Kasta inte packmaterialet i soporna Materialet r...

Page 164: ...attformen med Agilent pumpsystem som kallas TPS mobile Skillnaderna som inf rts p de olika modellnumren motsvarar den turbomolekyl r pumpen och foreline pumpen som integrerats i den specifika modellen...

Page 165: ...n atmosf ren regn sn is damm aggressiva gaser och inte heller i explosiv eller brandfarlig milj F ljande krav p omgivningsf rh llanden g ller vid drift maximitryck 2 bar ver atmosf riskt tryck tempera...

Page 166: ...r en pump med en st rre storlek n 304 FS kan TPS mobile endast anv ndas f r f rflyttning av pumpen sl ckt turbopump Pumpen ska installeras med ing ngsfl ns i kundens system innan TPS mobile startas FL...

Page 167: ...ed fl nsningen ISO VARNING S tt aldrig ig ng pumpsystemet om intagsfl nsen varken r kopplad till vakuumkammaren eller r blockerad p plats med l sfl nsen VARNING Vidr r inte turbopumpen eller n gra til...

Page 168: ...Anv nd ej pumpsystemet i n rheten av explosiva gaser Start och anv ndning av TPS mobile Efter att ha packat upp TPS modellen se till att det inte uppst tt skador p systemet under transporten kritiska...

Page 169: ...ka oavsiktliga fr nkopplingar av elkabeln Anv nd kl mman f r att f sta elkabeln OBSERVERA Modellen 9698433 som erh lls levereras med en integrerad elkabel och d rmed beh vs inte denna tg rd utf ras Ti...

Page 170: ...aren f rs rjer turbopumpens kontrollenhet men b de turbopumpen och Foreline pumpen f rblir sl ckta Aktiveringen av systemet g r att kontrollenheten b rjar att l sa av trycket genom Full Range Gauge FR...

Page 171: ...S mobile User Manual 87 901 005 01 F 171 400 Det g r att starta systemet med v ljaren som kallas Pumping Efter att v ljaren Pumping st llts p l get 1 starta turbopumpen och Foreline pumpen M tarens po...

Page 172: ...ljaren Pumping genom att flytta den till l get 0 Kontrollenheten f rblir t nd och om m taren r kopplad till systemet g r det att forts tta avl sningen av trycket ven med sl ckta pumpar Ett alternativ...

Page 173: ...173 400 Speciella enheter Plattformen TPS mobile kan anpassas i funktion till olika krav och f specifika modellnummer Med undantag av s rskilda fall som ges i en specifik dokumentation g ller denna ha...

Page 174: ...utf rs p systemet m ste pumpens str mf rs rjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen ppnas V nta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur r l gre n 50 C Om pu...

Page 175: ...olen har applicerats INTE f r skaffas bort tillsammans med vanliga hush lls eller industriavfall men att d remot ett differentierat uppsamlingssystem m ste uppr ttas Vi rekommenderar d rf r att slutan...

Page 176: ...8 Bruksanvisning Bortskaffning 176 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F...

Page 177: ...pumper 178 Generell informasjon 179 Symboler i bruk 181 Lagring 182 Klargj re til installasjon 183 Installasjon 185 Bruk 187 Starte og bruke TPS mobile 188 Stoppe TPS mobile 192 N dstopp 192 Spesialen...

Page 178: ...Bruksanvisningen har et h yt kinetisk energiniv som skyldes den h ye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor I tilfelle feil ved systemet for eksempel p grunn av e...

Page 179: ...ersonell ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som p noen m te er i strid med nasjonale bestemmelser TPS mobile systemet best r av en turbo molekul r pumpe for bruk i h y eller ultra...

Page 180: ...f lges kan medf re alvorlige skader FORSIKTIG Denne advarselen vises foran fremgangsm ter som dersom de ikke f lges kan fore til at utstyret skades MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er...

Page 181: ...mforsyning Fare for elektrisk st t AV stopp str mforsyning ADVARSEL N r pumpen brukes for pumpe giftige brennbare eller radioaktive gasser f lg de passende fremgangsm tene som er typisk riktige for hv...

Page 182: ...d overstiges temperatur se h ndb kene til de enkelte komponentene til TPS relativ fuktighet se h ndb kene til de enkelte komponentene til TPS Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene n r...

Page 183: ...u ta kontakt med det lokale salgskontoret N r TPS mobile pakkes ut m du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for st t Emballasjen m ikke kastes p en ulovlig m te Alle materialer...

Page 184: ...esystemer fra Agilent kalt TPS mobile Forskjellene som inntroduseres av de forskjellige modellnumrene gjelder for den turbomolekyl re pumpen og for den innebygde foreline pumpen i den spesifikke model...

Page 185: ...f lgende forhold respekteres maksimalt trykk 2 bar over atmosf risk trykk temperatur se h ndb kene til de enkelte komponentene til TPS relativ fuktighet se h ndb kene til de enkelte komponentene til T...

Page 186: ...bopumpe sl tt av som m installeres ved hjelp av innl psflensen i klientens system f r TPS mobile startes FLENS TYPE KLEMME ANT STRAMME MOMENT ISO 63 Dobbel klemme gjenge M10 4 22 Nm ISO 100 K Dobbel k...

Page 187: ...sflens ADVARSEL Ikke start pumpesystemet hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret eller ikke er lukket med lukkeflensen ADVARSEL Ikke ber r turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret unde...

Page 188: ...s i eksplosjonsfarlige milj er Starte og bruke TPS mobile Etter ha pakket ut TPS mobile sjekk at systemet ikke har spor etter skader grunnet transport de kritiske delene er pumpens flense festeb yle f...

Page 189: ...t p for unng uhensiktsmessige frakoblinger av str mkaleben Bruk fj ren for hekte el kabelen fast MERK Den leverte modellen 9698433 er utstyrt med en integrert tilf rselsledning dermed er det ikke n dv...

Page 190: ...sel til turbopumpens controller men b de turbopumpen og Foreline pumpen forblir vsl tte Aktiveringen av systemet gj r det mulig for controlleren starte avlesning av trykkets data gjennom Full Range Ga...

Page 191: ...ser Manual 87 901 005 01 F 191 400 Det er mulig sette systemet i gang ved hjelp av valgbryteren kalt Pumping Etter ha satt velgeren Pumping i posisjon 1 vil turbopumpen og Foreline pumpen starte Gauge...

Page 192: ...algbryteren Pumping ved sette den i stillingen 0 controlleren vil forbli p sl tt og hvis en gauge er tilkoblet systemet vil det v re mulig fortsette lese av trykkket ogs n r pumpene er sl tt av En ann...

Page 193: ...lenheter Plattformen TPS mobile kan brukertilpasses i henhold til de enkelte behov og dermed oppn spesifikke modellnummere Med unntak av spesifikkke tilfeller utstyrt med spesifikk dokumentasjon kan d...

Page 194: ...rbeid gj res p systemet m det frakoples tilf rselen pumpen m luftes ved pne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 C Dersom sys...

Page 195: ...et europeiske fellesselskap viser at produktet som det st r p IKKE m behandles som vanlig hus industriavfall men m legges i kildesortering Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen...

Page 196: ...9 Instruksjon Manual Kassering 196 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F...

Page 197: ...t 198 Yleisi tietoja 199 K ytetyt symbolit 201 Varastointi 202 Valmistelut asennusta varten 203 Asennus 205 K ytt 207 TPS mobile n k ynnistys ja k ytt 208 TPS mobile n pys ytt minen 212 H t pys ytys 2...

Page 198: ...m r kineettist energiaa joka aiheutuu korkeasta py rimisnopeudesta yhdistettyn pumppujen roottorien massaan J rjestelm n vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roott...

Page 199: ...iteist tai kansallisen lains d nn n vastaisesta k yt st TPS mobile on kokonaisj rjestelm joka muodostuu valvojalla ja p pumpulla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja ultrakorkean tyhji n k y...

Page 200: ...euttaa vakavia henkil vaurioita HUOMIO Huomio merkinn t varoittavat toiminnoista joiden laiminly nti voi johtaa laitteen vaurioitumiseen HUOM Huomautukset sis lt v t t rke tekstiss k sitelty tietoa HU...

Page 201: ...ON K ynnistys Virransy tt Vaara s hk iskun vaara OFF Pys ytys Virransy tt VAROITUS Kun pumppua k ytet n myrkyllisten palavien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen noudata jokaiselle kaasutyypil...

Page 202: ...e ylitt l mp tila viittaa yksitt isten TPS n osien ohjekirjoihin suhteellinen kosteus viittaa yksitt isten TPS n osien ohjekirjoihin Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start t...

Page 203: ...ys paikalliseen myyntitoimistoon Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TPS mobile n putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai t rin it Pakkausta ei tule j tt ymp rist n Pakkausmateri...

Page 204: ...ent pumppausj rjestelm arkkitehtuuriin jota kutsutaan nimell TPS mobile Eri malleihin liittyv t numerot viittaavat turbomolekyyliseen pumppuun ja foreline pumppuun joka on integroitu erityiseen mallii...

Page 205: ...yjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa r j hdys tai tulipalovaara K yt n aikana on noudatettava seuraavia ymp rist koskevia ehtoja maksimipaine 2 baaria yli atmosf risen paine...

Page 206: ...tettu 304 FS n n hden suuremmilla pumpuilla TPS mobilea voidaan k ytt vain pumpun liikuttamista varten turbopumppu sammutettu joka on asennettava siihen kuuluvan inlet laipan kautta asiakkaan j rjeste...

Page 207: ...ei sis ntulolaippaa ole kytketty tyhji kammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla VAROITUS lk koskeko turbopumppuun tai sen lis osiin l mmitt misen aikana Korkea l mp tila saattaa aiheuttaa henkil id...

Page 208: ...dysherkkien kaasujen l hell TPS mobile n k ynnistys ja k ytt Kun TPS mobile on purettu pakkauksesta varmista silm m r isen tarkistuksen avulla ett j rjestelm ss ei n y kuljetuksesta syntyneit vikoja k...

Page 209: ...ella joka on asennettu est m n virtajohdon satunnaista irtoamista k yt jousta johdon kiinnitt mist varten HUOM Malli 9698433 on varustettu integroidulla virtajohdolla joten t m n toimenpiteen suoritta...

Page 210: ...virtaa sy tet n turbopumpun ohjaimelle mutta sek turbopumppu ett foreline pumppu pysyv t pois p lt J rjestelm n aktivoinnin my t ohjain aloittaa painearvon luennan valinnaisen Full Range Gaugen FRG 7...

Page 211: ...Manual 87 901 005 01 F 211 400 Voit k ynnist j rjestelm n Pumping nimisen valitsimen kautta Kun olet asettanut Pumping valitsimen asentoon 1 turbopumppu ja foreline pumppu k ynnistyv t Mittauslaittee...

Page 212: ...voidaan sammuttaa Pumping valitsimen kautta siirt m ll se asentoon 0 ohjain j p lle ja jos mittauslaite on kytketty j rjestelm n paineenarvon lukemista voidaan jatkaa my s pumput sammutettuina Vaihto...

Page 213: ...le arkkitehtuuri voidaan yksil llist erilaisten vaatimusten perusteella saamalla aikaan erityisi mallinumeroita Lukuun ottamatta erityisell dokumentaatiolla varustettuja m r ttyj tapauksia t t k ytt o...

Page 214: ...a p st k pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin t ydellist pys htymist Antakaa t m n j lkeen pumpun pintal mm n laskea alle 50 C en Laitteen vahingoittuessa on ma...

Page 215: ...n j senmaita tarkoittaa ett tuotetta EI saa h vitt tavallisen kotitalous tai teollisuusj tteen mukana vaan se on toimitettava erilliseen ker yspisteeseen Loppuk ytt j kehotetaan sen vuoksi ottamaan ke...

Page 216: ...10 Ohjek sikirja H vitt minen 216 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F...

Page 217: ...oz 218 ltal nos inform ci 219 Felhaszn lt jelk pek 221 T rol s 222 El k sz t s telep t sre 223 Telep t s 225 Haszn lat 227 A TPS mobile bekapcsol sa s haszn lata 228 A TPS mobile kikapcsol sa 233 V sz...

Page 218: ...pk nyvben le van rva nagy mozg si energi val rendelkeznek a nagy forg si sebess g k s a rotorok fajlagos t mege miatt A rendszer hib s m k d se p ld ul a rotor ll r sz rintkez si hib ja vagy ak r a f...

Page 219: ...dez sbe val jogosulatlan beavatkoz s vagy a konkr t nemzeti szabv nyokkal ellent tes b rmely m velet miatt t rt ntek A TPS mobile egy integr lt rendszer turb molekul ris szivatty val nagy s rendk v l...

Page 220: ...l shez vezethet FIGYELEM A Figyelem zenetek olyan elj r sok el tt jelennek meg amelyeket ha nem k vetnek a berendez s k rosod s t okozhatj k MEGJEGYZ S A megjegyz sek a sz vegb l vett fontos inform c...

Page 221: ...svesz llyel j r ON Bekapcsol s T p Vesz lyjel ram t s vesz lye OFF Kikapcsol s T p VESZ LY Ha a szivatty val m rgez gy l kony vagy r di akt v g zokat szivatty zunk az egyes g zokra vonatkoz speci lis...

Page 222: ...h m rs klet olvassa el a TPS egyes alkatr szeinek k zik nyv t relat v p ratartalom olvassa el a TPS egyes alkatr szeinek k zik nyv t A turbomolekul ris szivatty kat mindig l gyan kell ind tani amikor...

Page 223: ...a helyi szolg ltat si irod hoz A rendszer kicsomagol sakor gyeljen arra hogy ne ejtse le s ker lje annak b rmilyen hirtelen t s t vagy r zk d s t Ne rtalmatlan tsa a csomagol anyagokat nem megengedett...

Page 224: ...S mobil Agilent szivatty rendszer azonoss g n alapulnak a k l nb z sz m t pusok k z tti k l nbs gek a turbomolekul ris szivatty ra s az adott t pusba integr lt foreline szivatty ra valamint a rendszer...

Page 225: ...k rnyezetben es h j g porban agressz v g zokban illetve robban vagy t zvesz lyes k rnyezetben zemeltet s k zben a k vetkez k rnyezeti felt teleket kell biztos tani maxim lis nyom s 2 bar a l gk ri ny...

Page 226: ...van telep tve Ha a TPS mobile on a 304 FS m ret n l nagyobb m ret szivatty van felszerelve akkor a TPS mobile felszerel st csak a szivatty mozgat s hoz haszn lhatja kikapcsolt turb szivatty amelyet a...

Page 227: ...eneti karima h m rs klete nem haladhatja meg a 120 C ot ConFlat karima s a 80 C ot ISO karima eset n VESZ LY Soha ne haszn lja a szivatty z rendszert amikor a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a v...

Page 228: ...ivatty z s ra haszn lja k rem k vesse az egyes g zok rtalmatlan t s hoz sz ks ges elj r sokat Ne haszn lja a szivatty z rendszert robban g zok jelenl t ben A TPS mobile bekapcsol sa s haszn lata Miut...

Page 229: ...lel a rendszer nek az elektromos t pk bel csatlakoztathat a rendszer h ts panelj n l v IEC320 t pus elektromos konnektorba l sd az br t A konnektor visszatart rug val van ell tva a t pk bel v letlen s...

Page 230: ...t ezt a m veletet nem kell elv gezni A t pk belen kereszt l biztos tsa a megfelel fesz lts get a rendszernek A rendszer olyan f kapcsol val h kapcsol val rendelkezik amely k pes a rendszer elemeit a...

Page 231: ...pot biztos t a turb szivatty vez rl j nek de a turb szivatty s a Foreline szivatty kikapcsolva maradnak A rendszer bekapcsol s val a vez rl elkezdi a nyom sadatok olvas s t a v laszthat Full Range Gau...

Page 232: ...t 232 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F El lehet ind tani a rendszert az n Pumping kapcsol val A Pumping kapcsol 1 helyzetbe hoz s t k vet en a turb szivatty s a Foreline szivatty beindul Gau...

Page 233: ...a Pumping kapcsol val 0 helyzetbe hoz ssal a vez rl bekapcsolva marad s ha a gauge a rendszerhez van csatlakoztatva kikapcsolt szivatty k mellett tov bbra is le lehet olvasni a nyom st A rendszer kik...

Page 234: ...ci lis egys g A TPS mobile alapot a k l nb z ig nyeknek megfelel en testre lehet szabni ez ltal specifikus t pussz mok nyerhet k A specifikus dokument ci val rendelkez specifikus esetek kiv tel vel ez...

Page 235: ...tt v lassza le azt a t pfesz lts gr l szell ztesse a szivatty t a megfelel szelep kinyit s val v rjon am g a rotor forg sa le ll s am g a szivatty fel let nek h m rs klete 50 C al esik Meghib sod s es...

Page 236: ...n megtal lhat NEM ker lhet k z ns ges h ztart si vagy ipari hullad kkal egy tt megsemmis t sre hanem azt egy szelekt v hullad kgy jt rendszerbe kell tov bb tani A v gfelhaszn l nak a gy jt si s megsem...

Page 237: ...Og lne informacje239 Zastosdowane symbole 241 Magazynowanie 242 Przygotowanie do instalacji243 Instalacja 245 U ytkowanie 247 W czenie i obs uga systemu TPS mobile 248 Zatrzymanie TPS mobile 253 Zatrz...

Page 238: ...Obs ugi posiadaj wysok energi kinetyczn spowodowan bardzo wysok pr dko ci obrot w razem z mas w a ciw wirnik w W przypadku uszkodzenia systemu na przyk ad z powodu kontaktu mi dzy wirnikiem a stojanem...

Page 239: ...u zastosowania odpowiednich norm krajowych TPS mobile jest zintegrowanym systemem sk adaj cym si z pompy turbomolekularnej dla zastosowania wysokich i ultra wysokich pr ni odpowiedniego sterownika i z...

Page 240: ...owodowa powa ne uszkodzenia cia a UWAGA Komunikaty zwi kszonej uwagi s wy wietlane przed procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania mo e doj do uszkodzenia aparatury PRZYPIS S to wa ne informa...

Page 241: ...nie Niebezpiecze stwo grozi pora eniem elektrycznym OFF Zatrzymanie Zasilanie ZAGROZENIE Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gaz w toksycznych palnych lub radioaktywnych nale y post powa zgodnie...

Page 242: ...e podano w instrukcjach obs ugi poszczeg lnych komponent w TPS wilgotno wzgl dna informacje podano w instrukcjach obs ugi poszczeg lnych komponent w TPS klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pie...

Page 243: ...m biurem sprzeda y Podczas operacji rozpakowywania nale y zwr ci szczeg ln uwag aby nie spowodowa upadku systemu TPS mobile ani nie poddawa go uderzeniom lub wibracjom Nie porzuca opakowania w rodowis...

Page 244: ...iejszej instrukcji bazuj na platformie system w pompowania Agilent o nazwie TPS mobile r ne numery modelu dotycz pompy turbomolekularnej oraz pompy foreline wbudowanej w specjalny model a tak e napi c...

Page 245: ...eniem po aru Podczas dzia ania obowi zkowo nale y przestrzega nast puj ce warunki otoczenia maksymalne ci nienie 2 bary ponad ci nieniem atmosferycznym temperatura informacje podano w instrukcjach ob...

Page 246: ...sz ni 304 FS TPS mobile b dzie m g by wykorzystywany wy cznie do przemieszczania pompy turbopompa wy czona kt ra musi by zainstalowana z wykorzystaniem jej ko nierza inlet w systemie klienta przed uru...

Page 247: ...mo e przekroczy 120 C w przypadku ko nierza ConFlat i 80 C w przypadku ko nierza ISO ZAGROZENIE Absolutnie nie wolno uruchamia zespo u pompuj cego w przypadku gdy ko nierz wej ciowy nie jest pod czony...

Page 248: ...sycznych atwo palnych lub radioaktywnych nale y wykona odpowiednie procedury typowe dla ka dego z gaz w Nie stosowa zespo u pompuj cego w obecno ci gaz w wybuchowych W czenie i obs uga systemu TPS mob...

Page 249: ...dla systemu mo na pod czy kabel zasilania elektrycznego do gniazda typu IEC320 kt re znajduje si na tylnym panelu systemu patrz rysunek Gniazdo posiada spr yn blokuj c kt rej celem jest uniemo liwien...

Page 250: ...zwi zku z czym operacja ta nie jest konieczna Doprowadzi prawid owe napi cie do systemu za pomoc kabla zasilaj cego System jest wyposa ony w wy cznik g wny wy cznik termiczny kt ry zapewnia ochron ele...

Page 251: ...ilania do sterownika turbopompy ale zar wno turbopompa jak i pompa foreline pozostaj wy czone Uruchomienie systemu umo liwia sterownikowi rozpocz cie odczytu ci nienia przez opcjonalny Full Range Gaug...

Page 252: ...1 005 01 F Posta 5 Pod czenie przyrz du pomiarowego gauge System mo na uruchomi za pomoc prze cznika Pumping pompowanie Po ustawieniu prze cznika Pumping w po o eniu 1 uruchamia si turbopompa oraz pom...

Page 253: ...ka Pumping ustawiaj c go w po o eniu 0 sterownik pozostanie w czony i je eli do systemu pod czony jest przyrz d pomiarowy mo liwy b dzie dalszy odczyt ci nienia nawet przy wy czonym pompa Alternatywny...

Page 254: ...latforma TPS mobile mo e by dostosowana do potrzeb odpowiednio do r nych wymaga uzyskuj c w ten spos b specjalne numery modelu Z wyj tkiem szczeg lnych przypadk w podanych w specjalnej dokumentacji ni...

Page 255: ...tworzy odpowiedni zaw r dla wlotu powietrza odczeka a do ca kowitego zatrzymania wirnika i odczeka a temperatura powierzchni pompy b dzie wynosi a poni ej 50 C W przypadku uszkodzenia mo liwe jest sko...

Page 256: ...acza ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki z...

Page 257: ...rn v v vy 258 V eobecn informace 259 Pou it symboly 261 Uskladn n 262 P prava k instalaci 263 Instalace 265 Pou it 267 Zapnut a pou v n v v vy TPS mobile 268 Vypnut v v vy TPS mobile 272 Nouzov zastav...

Page 258: ...opisov ny v n sleduj c m n vodu obsahuj velk mno stv kinetick energie d ky vysok ot iv rychlosti v kombinaci s konkr tn m objemem jejich rotor V p pad syst mov nefuk nosti nap kontaktu rotoru anebo st...

Page 259: ...sahem do za zen nebo jakoukoli innost kter je v rozporu s pokyny uveden mi v p slu n ch st tn ch norm ch TPS mobile je integrovan syst m pro aplikace vy aduj c vysok a velmi vysok vakuum vybaven hlavn...

Page 260: ...en mohly zp sobit v n raz POZOR Varovn hl en jsou uvedena p ed postupy kter by v p pad nedodr en mohly po kodit za zen POZN MKA Pozn mky obsahuj d le it informace p evzat z textu POZOR P ed zapnut m...

Page 261: ...lenin p i dotyku st s vysokou teplotou ZAP Zapnut Nap jen Nebezpe Riziko z sahu elektrick m proudem VYP Vypnut Nap jen NEBEZPE P i pou it v v vy pro erp n toxick ch ho lav ch nebo radioaktivn ch plyn...

Page 262: ...c technick podm nky prost ed teplota vych zejte z n vod k jednotliv m komponent m TPS relativn vlhkost vych zejte z n vod k jednotliv m komponent m TPS turbomolekul rn v v vy mus u ivatel po dod vce a...

Page 263: ...tujte va i m stn prodejn pobo ku P i vybalov n d vejte pozor aby za zen nespadlo a chra te jej p ed v emi nenad l mi n razy ot esy nebo vibracemi Balic materi l nelikvidujte nedovolen m zp sobem Tento...

Page 264: ...platformy erpac ch syst m Agilent nazvan TPS mobile p i em rozd ly zaveden r zn mi sly model se vztahuj na turbomolekul rn v v vu a na v v vu foreline integrovanou ve specifick m modelu a na nap t apl...

Page 265: ...yn m ve v bu n m prost ed nebo v prost ed s vysok m nebezpe m po ru Za provozu je t eba dodr ovat n sleduj c podm nky dan prost ed m maxim ln tlak 2 bary nad atmosf rick m tlakem teplota vych zejte z...

Page 266: ...obile V p pad e by byl syst m TPS mobile vybaven erpadly v t velikosti ne 304 FS TPS mobile bude moci b t pou it pouze pro manipulaci s erpadlem vypnut turbo erpadlo kter bude muset b t nainstalov no...

Page 267: ...Flat a 80 C v p pad p ruby ISO NEBEZPE erpac syst m nikdy nepou vejte nebude li vstupn p ruba p ipojen k vakuov komo e NEBEZPE B hem zah v n se turbov v vy ani jej ho p slu enstv nedot kejte Vysok tep...

Page 268: ...nu V v vu nepou vejte v p tomnosti v bu n ch plyn Zapnut a pou v n v v vy TPS mobile Po vybalen TPS mobile se vizu ln kontrolou ujist te e se syst m b hem p epravy nepo kodil kritick mi stmi jsou p ru...

Page 269: ...ru inu aby se zabr nilo n hodn mu odpojen nap jec ho kabelu pou ijte pru inu pro p ipojen nap jec ho kabelu POZN MKA Dodan model 9698433 je vybaven nap jec m kabelem kter je jeho sou st a proto tato o...

Page 270: ...bude dic za zen v v vy turbo nap jen ale v v va turbo a tak v v va foreline z stanou vypnut Aktivace syst mu umo uje dic mu za zen zah jit ten daje o tlaku prost ednictv m voliteln ho p slu enstv Full...

Page 271: ...obile User Manual 87 901 005 01 F 271 400 Syst m je mo n spustit prost ednictv m voli e nazvan ho Pumping Po p epnut voli e Pumping do polohy 1 se spust v v va turbo a v v va foreline Port m c ho p st...

Page 272: ...t m je mo n vypnout voli em Pumping jeho p epnut m do polohy 0 dic za zen z stane zapnuto a kdy bude do syst mu p ipojen m i bude mo n pokra ovat v ode t n tlaku i p i vypnut ch v v v ch Alternativn j...

Page 273: ...ln jednotky Platforma TPS mobile m e b t u ivatelsky p izp sobena v z vislosti na specifick ch pot eb ch kdy bude modelu p id leno speci ln slo S v jimkou specifick ch p pad kter maj specifickou dokum...

Page 274: ...s t odvzdu n te v v vu otev en m p slu n ho ventilu po kejte a se rotor p estane ot et a po kejte dokud povrchov teplota v v vy neklesne pod 50 C V p pad poruchy kontaktujte va e m stn servisn st edis...

Page 275: ...v n spole n s ostatn mi dom c mi nebo pr myslov mi odpady ale je nutno ho p edat do pat i n ch provozn ch sb ren kde mus b t t d n a likvidov n odd len od m stsk ho odpadu U ivateli kter m n v robek l...

Page 276: ...13 N vod k Pou it Likvidace 276 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F...

Page 277: ...vevy 278 V eobecn inform cie 279 Pou it symboly 281 Uchov vanie 282 Pr prava na in tal ciu 283 In tal cia 285 Pou itie 287 Zapnutie a pou itie zariadenia TPS mobile 288 Vypnutie TPS mobile 292 N dzov...

Page 278: ...edovne popisovan obsahuj ve k mno stvo kinetickej energie v aka vysokej ot avej r chlosti v kombin cii s konkretn m objemom ich rotorov V pr pade syst movej poruchy napr pri kontaktu rotora statora al...

Page 279: ...i neopr vnenou pravou zariadenia alebo ak mko vek postupom ktor je v rozpore so pecifick mi tandardmi danej krajiny TPS mobile je integrovan syst m s turbov vevou pre ur en pre aplik cie pou vaj ce vy...

Page 280: ...m e sp sobi v ne zranenie POZOR Pozor ozna uj postupy nedodr anie ktor ch m e sp sobi po kodenie zariadenia POZN MKA Pozn mky upozor uj na d le it inform cie z textu POZOR Pred zapnut m erpadla skontr...

Page 281: ...enia pri kontakte s as ami s vysokou teplotou ZAP Zapnutie Nap janie Nebezpe enstvo Riziko z sahu elektrick m pr dom VYP Vypnutie Nap janie NEBEZPE E Pri pou it v vevy pre erpanie toxick ch hor av ch...

Page 282: ...vev teplota vych dzajte z n vodov k jednotliv m komponentom TPS relat vna vlhkos vych dzajte z n vodov k jednotliv m komponentom TPS z kazn k mus pri prvom spusten turbomolekul rnej v vevy v dy postu...

Page 283: ...te sa na zast penie spolo nosti Agilent Po as vyba ovania syst mu dbajte na to aby zariadenie nespadlo nebolo vystaven n razu alebo prudk mu otrasu alebo vibr ci m Obalov materi l zlikvidujte predp s...

Page 284: ...ch syst mov Agilent nazvanej TPS mobile pri om rozdiely zaveden r znymi slami modelov sa vz ahuj na turbomolekul rnu v vevu a na v vevu foreline integrovan v pecifickom modeli a na nap tie aplikovate...

Page 285: ...n ch prostrediach alebo tam kde existuje vysok riziko po iaru Po as innosti zariadenia je potrebn zabezpe i tieto vlastnosti prostredia maxim lny tlak 2 bary nad rov ou atmosf rick ho tlaku teplota vy...

Page 286: ...obile V pr pade ak je syst m TPS mobile vybaven v mi erpadlami ako 304 FS TPS mobile m e by pou it len pre manipul ciu s erpadlom vypnut turbo erpadlo ktor bude musie by nain talovan prostredn ctvom v...

Page 287: ...de pr ruby ISO NEBEZPE E Nikdy nepou vajte erpac syst m ak vstupn pr ruba nie je pripojen k v kuovej komore alebo nie je zablendovan NEBEZPE E V priebehu zahrievania sa nikdy nedot kajte turbov vevy a...

Page 288: ...v vevu v pr tomnosti v bu n ch plynov Zapnutie a pou itie zariadenia TPS mobile Po odbalen TPS mobile sa vizu lnou kontrolou uistite e sa syst m po as prepravy nepo kodil kritick mi as ami s pr ruby v...

Page 289: ...pru inu aby sa zabr nilo n hodn mu odpojeniu nap jacieho k bla pou ite pru inu pre pripojenie nap jacieho k bla POZN MKA Dodan model 9698433 je vybaven nap jac m k blom ktor je jeho s as ou a preto t...

Page 290: ...iace zariadenie v vevy turbo nap jan ale v veva turbo ako aj v veva foreline zostan vypnut Aktiv cia syst mu umo uje riadiacemu zariadeniu zah ji tanie daja o tlaku prostredn ctvom volite n ho pr slu...

Page 291: ...S mobile User Manual 87 901 005 01 F 291 400 Je mo n spusti syst m prostredn ctvom voli a nazvan ho Pumping Po prepnut voli a Pumping do polohy 1 sa spust v veva turbo a v veva foreline Port m c ho p...

Page 292: ...je mo n vypn voli om Pumping jeho prepnut m do polohy 0 riadiace zariadenie zostane zapnut a ak je do syst mu pripojen mera bude mo n pokra ova v od tavan tlaku aj pri vypnut ch v vev ch Alternat vne...

Page 293: ...lne jednotky Platforma TPS mobile m e by u vate sky prisp soben v z vislosti na pecifick ch potreb ch kedy bude modelu pridelen peci lne slo S v nimkou pecifick ch pr padov ktor maj pecifick dokument...

Page 294: ...me odpojte ho od zdroja nap jania vyvetrajte v vevu tak e otvor te pr slu n ventil po kajte k m sa rotor neprestane ot a a k m teplota povrchu v vevy neklesne pod 50 C V pr pade poruchy zariadenia vy...

Page 295: ...y Eur pskej nie znamen e v robok s t mto t tkom NESMIE by odstr nen spolu s be n m dom cim alebo priemyseln m odpadom ale sa mus odstr ni ako delen odpad Vyz vame preto kone n ho u vate a aby sa skont...

Page 296: ...14 N vod na Obsluhu Likvid cia 296 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F...

Page 297: ...ne rpalke 298 Splo ne informacije 299 Uporabljeni simboli301 Shranjevanje 302 Priprava za monta o 303 Monta a 305 Uporaba 307 Vklop in uporaba TPS mobile a 308 Izklop TPS mobile a 313 Zaustavitev v si...

Page 298: ...ednjih navodilih vsebujejo veliko koli ino kineti ne energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifi nimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanje sistema na primer pri dotiku rotorja sta...

Page 299: ...eganja v opremo ali kakr nega koli dejanja ki niso v skladu s standardi TPS mobile je integriran sistem s turbomolekularno rpalko za visoko in ultravisoko vakuumsko uporabo ki je povezana s pripadajo...

Page 300: ...h po kodb e se jih ne dr i POZOR Sporo ila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do po kodbe opreme OPOMBA Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila POZOR Preden vklju...

Page 301: ...n ob dotiku vro ih delov ON vklop napajanja Nevarnost elektri nega udara OFF izklop napajanja SVARILO Ko rpalko uporabljate za rpanje toksi nih vnetljivih ali radioaktivnih plinov vedno upo tevajte us...

Page 302: ...slednjih specifikacij temperatura oglejte si priro nike posameznih komponent TPS relativna vla nost oglejte si priro nike posameznih komponent TPS Turbomolekularne rpalke morate pred prvo uporabo zmer...

Page 303: ...taktirajte lokalno prodajno pisarno Pri odpiranju sistema pazite da vam ne pade iz rok oz ga ne stresajte Embala o zavrzite v skladu s pravili Material je mo no v celoti reciklirati in je v skladu z E...

Page 304: ...iku temeljijo na platformi rpalnih sistemov Agilent imenovani TSP mobile Razlike med razli nimi tevilkami modelov se poleg napetosti sistema nana ajo na turbomolekularno rpalko in rpalko foreline vgra...

Page 305: ...o ara Tekom delovanja je treba spo otvati naslednje pogoje Maksimalen pritisk 2 bara nad pritiskom atmosfere temperatura oglejte si priro nike posameznih komponent TPS relativna vla nost oglejte si pr...

Page 306: ...vljanje rpalke turbo rpalka izklju ena ki jo je treba pred zagonom TPS mobile vgraditi s pripadajo o vhodno prirobnico na sistem stranke PRIROBNICA NAPRAVA ZA PRITRJEVANJE N NAVOR ISO 63 M10 dr ala 4...

Page 307: ...re temperatura na vhodni prirobnici ne sme presegati 120 C pri prirobnici ConFlate oziroma 80 C pri prirobnici ISO SVARILO rpalnega sistema ne uporabljajte e dovodna prirobnica ni priklju ena na vakuu...

Page 308: ...inov sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina rpalnega sistema ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov Vklop in uporaba TPS mobile a Potem ko ste TPS mobile vzeli iz emba...

Page 309: ...ru ljiva z napetostjo sistema lahko elektri ni napajalni kabel vtaknete v vti nico tipa IEC320 na zadnji plo i sistema glej sliko Vti nica ima zaporno vzmet ki prepre uje nenamerni odklop napajalnega...

Page 310: ...alni kabel zato ta postopek ni potreben S pomo jo napajalnega kabla vzpostavite pravilno napetost sistema Sistem je opremljen z glavnim stikalom termi no stikalo ki komponente sistema iti pred preobre...

Page 311: ...a turbomolekularne rpalke toda tako turbomolekularna rpalka kot rpalka foreline ostaneta ugasnjeni Z vklopom sistema lahko pri ne kontroler brati podatke o tlaku s pomo jo merilnika Full Range Gauge F...

Page 312: ...ser Manual 87 901 005 01 F Sistem je mogo e zagnati s pomo jo izbirnega stikala poimenovanega Pumping Po obratu stikala Pumping v polo aj 1 se turbo rpalka in rpalka foreline za eneta Priklju ek za me...

Page 313: ...zklopiti s pomo jo izbirnega stikala Pumping s pomikom slednjega v polo aj 0 kontroler ostane vklju en in e je na sistem priklju en merilnik se merjenje tlaka lahko nadaljuje tudi z izklopljenima rpal...

Page 314: ...1 005 01 F Posebne enote Platformo TPS mobile lahko prikrojite lastnim potrebam in eljam z izdelavo posebnih tevilk modelov Z izjemo posebnih primerov s prilo eno specifi no dokumentacijo je ta priro...

Page 315: ...kom dela na sistemu ga izklju ite iz napetosti pre istite rpalko tako da odprete primerno odprtino po akajte da se rotor ustavi an po akajte da povr inska temperatura rpalke pade pod 50 C V primeru na...

Page 316: ...ti pomeni da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki temve morate poskrbeti za njihovo primerno lo evanje Zato pozivamo uporabnike da se ali pri prodaja...

Page 317: ...lar Pumps 318 General Information 319 Symbols used 321 Storage 321 Preparation for Installation 323 Installation 325 Use 327 Switching on and Use of TPS mobile 328 TPS mobile Switching off 333 Emergen...

Page 318: ...ontain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact o...

Page 319: ...the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards The TPS mobile is an integrated system with a turbo molecular pump for high and ultra high vacuum applications...

Page 320: ...ocedure or practice which if not followed correctly could lead to serious injury CAUTION The caution messages are displayed before procedures which if not followed could cause damage to the equipment...

Page 321: ...rating Protective conductor terminal Hot surface Danger of burns if hot parts are touched On Power Caution risk of electric shock Off Power WARNING When employing the pump for pumping toxic flammable...

Page 322: ...d temperature refer to the manuals of the single TPS components relative humidity range refer to the manuals of the single TPS components the turbomolecular pumps must be always soft started when rece...

Page 323: ...ort contact your local sales office When unpacking the system be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it Do not dispose of the packing materials in an unauthor...

Page 324: ...rted on this User Manual are based on the Agilent pumping system platform named TPS mobile differences introduced by different PNs are related to TMP and Forepump integrated in the specific system and...

Page 325: ...must be respected maximum pressure 2 bar above atmospheric pressure temperature refer to the manuals of the single TPS components relative humidity refer to the manuals of the single TPS components I...

Page 326: ...bo pump off that must be installed by means of its inlet flange in the customer s system prior to activate TPS mobile FLANGE FIXING DEVICE N FIXING TORQUE ISO 63 M10 clamps 4 22 Nm ISO 100 K M10 clamp...

Page 327: ...let flange must not exceed 120 C with ConFlat flanging and 80 C with ISO flanging WARNING Never use the pumping system when the turboinlet flange is not connected to the vacuum chamber or is not blank...

Page 328: ...le or radioactive gases please follow the required procedures for each gas disposal Do not use the pumping system in presence of explosive gases Switching on and Use of TPS mobile After TPS mobile unp...

Page 329: ...ible with the system voltage you can connect the provided power cord to the IEC320 electrical socket on the rear side of the system see picture The socket is provided with a retention spring to avoid...

Page 330: ...ou don t need to perform this step Provide the correct voltage to the system through the power cord The system is equipped with a main switch thermal breaker able to protect the system components agai...

Page 331: ...es voltage to TMP controller but both TMP and Foreline pump continue to be switched off The system activation allows the TMP controller to start reading the pressure data through the optional FRG 700...

Page 332: ...e User Manual 87 901 005 01 F It is possible to start pumping by means of the selector named Pumping As soon as the Pumping selector is moved to the position 1 the TMP and Foreline pump will be switch...

Page 333: ...ing the pumping selector moving it to position 0 the TMP controller will remain ON and if a gauge is connected to the system it will be possible to continue reading the pressure even if pumps are off...

Page 334: ...odified Standard TPS mobile platform is suited to be tailored in according to many different needs so special TPS mobile PNs can be released Except some specific cases provided with a specific documen...

Page 335: ...nect it from the mains vent the pump by opening the appropriate valve wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 C In the case of breakd...

Page 336: ...an Community indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system The end u...

Page 337: ...s 344 6 Foreline Pumps Description 345 Technical Specification 347 TPS Mobile Outline 358 Vacuum Inlet Flange 359 Inlet Screen Installation 359 High Vacuum Flange Connection 360 High Vacuum Flange Con...

Page 338: ...ter Protocol Description 370 Window Protocol 376 Description 376 Communication Format 376 Communication Protocol 377 Examples 380 Window Meanings 383 Pumping System Component Info 387 Accessories and...

Page 339: ...z 0 9KW 9698412 74 FS IDP 7 Scroll 200 240Vac 50 60Hz 1 5kW 9698403 304 FS DS102 RVP 200 230Vac 50 60Hz 1 5kW 9698400 304 FS DS302 RVP 200 230Vac 50 60Hz 1 5kW 9698417 304 FS DS402 RVP 200 230Vac 50 6...

Page 340: ...0Hz or 100 120Vac 60H 1 5kW 9698426 304 FS DS402 RVP 100Vac 50Hz or 100 120Vac 60H 1 5kW 9698427 304 FS IDP 3 Scroll 115V 60Hz 0 9KW 9698428 304 FS IDP 7 Scroll 100 115Vac 50 60Hz 1 8kW 9698429 304 FS...

Page 341: ...nual 87 901 005 01 F 341 400 Vibration Dampers 5 Wheels with brake 4 5m long TMP and Fan Cables 3 Electrical Devices Box 2 Front Panel Main Switch TMP Controller Pumping Selector Gauge Control Unit op...

Page 342: ...he static blades of the stator are fabricated in stainless steel These are supported and accurately positioned by spacer rings The TwisTorr stators are in the form of selfpositioning machined disks On...

Page 343: ...nnected TMP Controller The integrated controller is a solid state frequency converter which is driven by a single chip microcomputer and is composed of a PCB which includes a power supply with a 3 pha...

Page 344: ...age the vacuum components integrated in the TPS mobile The rear panel of the Electrical Box is equipped with Main socket IEC 320 electrical socket for pumping system power cable connection except the...

Page 345: ...lications requiring clean vacuum TPS mobile versions equipped with scroll pumps are 9698416 9698412 9698418 9698402 9698401 9698404 9698406 9698422 9698423 9698427 9698428 9698429 9698432 and 9698433...

Page 346: ...separated This separation is achieved placing the rotor in close proximity to the stator the near contact line being placed between the inlet and discharge and spring loading the blades so that they r...

Page 347: ...rr N2 Pumping Speed L s 48 with inlet screen He Pumping Speed L s 44 with inlet screen H2 Pumping Speed L s 32 with inlet screen TMP Rotational Speed 70000 rpm Start up time 2 min Operating Position O...

Page 348: ...32 with inlet screen TMP Rotational Speed 70000 rpm Start up time 2 min Operating Position On a flat floor Ambient Temperature 5 C to 35 C Bakeout Temperature max 80 C on Inlet Flange Protection Brea...

Page 349: ...on Technical Specification 17 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F 349 400 NOTE When the TPS mobile has been stored at a temperature less than 5 C wait until the TPS mobile has reached the above men...

Page 350: ...10 Torr N2 Pumping Speed L s 550 He Pumping Speed L s 600 H2 Pumping Speed L s 510 TMP Rotational Speed 40000 rpm Start up time 5 min Operating Position On a flat floor Ambient Temperature 5 C to 35...

Page 351: ...al Speed 40000 rpm Start up time 5 min Operating Position On a flat floor Ambient Temperature 5 C to 35 C Bakeout Temperature max 120 C on Inlet Flange Protection Breaker 25 A Installation category II...

Page 352: ...ation Technical Specification 352 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F NOTE When the TPS mobile has been stored at a temperature less than 5 C wait until the TPS mobile has reached the above men...

Page 353: ...eed L s 180 with inlet screen He Pumping Speed L s 185 with inlet screen H2 Pumping Speed L s 160 with inlet screen TMP Rotational Speed 60000 rpm Start up time 3 min Operating Position On a flat floo...

Page 354: ...ing Speed L s 160 with inlet screen TMP Rotational Speed 60000 rpm Start up time 3 min Operating Position On a flat floor Ambient Temperature 5 C to 35 C Bakeout Temperature max 80 C on Inlet Flange P...

Page 355: ...on Technical Specification 17 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F 355 400 NOTE When the TPS mobile has been stored at a temperature less than 5 C wait until the TPS mobile has reached the above men...

Page 356: ...0 with inlet screen TMP Rotational Speed 60000 rpm Start up time 3 min Operating Position On a flat floor Ambient Temperature 5 C to 35 C Bakeout Temperature max 80 C on Inlet Flange Protection Breake...

Page 357: ...on Technical Specification 17 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F 357 400 NOTE When the TPS mobile has been stored at a temperature less than 5 C wait until the TPS mobile has reached the above men...

Page 358: ...17 Technical Information TPS Mobile Outline 358 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F TPS Mobile Outline The following figure shows the TPS mobile outline...

Page 359: ...9 400 Turbo Pumping System Connection Vacuum Inlet Flange Inlet Screen Installation The inlet screens mod 9699300 9699309 9699302 and 9699303 prevent the blades of the pump from being damaged by debri...

Page 360: ...with inlet screen fitted on Agilent suggest not to remove the TMP inlet screen to avoid accidents involving the pumping system tool and or pumping system users High Vacuum Flange Connection To connec...

Page 361: ...mbly and dismantling apply Fel pro C 100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Attach the units and tighten each one in turn Repeat...

Page 362: ...17 Technical Information Turbo Pumping System Connection 362 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F High Vacuum Flange Connection Configurations...

Page 363: ...anual 87 901 005 01 F 363 400 Electrical Connections Input Power Connector The following figure shows the input power connector NOTE PN 9698433 is already supplied with an integrated power cord so you...

Page 364: ...17 Technical Information Electrical Connections 364 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F Gauge Serial Line Connection Gauge port Serial port...

Page 365: ...00 Full Range Gauge is a combined technologies gauge Inverted Magnetron plus Pirani Gauge FRG 700 measure from 5x10 9 mbar to atmos phere 3 8x10 9 Torr to atmosphere and its tem perature range goes fr...

Page 366: ...17 Technical Information Electrical Connections 366 400 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F J2 Serial Connector This connector provides the connection for RS 232 and serial line J2 Pin out...

Page 367: ...ctions 17 TPS mobile User Manual 87 901 005 01 F 367 400 PIN N SIGNAL NAME 1 5 V OUT Reserved 2 TX RS232 3 RX RS232 4 NC 5 GND 6 A RS485 7 NC 8 B RS485 9 RESERVED Connector Examples 5 5 2 2 TV 301 AG...

Page 368: ...ata signal from controller pin 2 must be connected to the host computer s receive data line pin 2 and vice versa Consult the host computer s instruction manual for its serial port connections NOTE Agi...

Page 369: ...901 005 01 F 369 400 Serial Communication Description This unit can comunicate by two different protocol protocol old system letter Window protocol new system These two protocols can be used as well...

Page 370: ...programmable via front panel from 600 to 9600 baud The controller is factory set for 9600 baud operation Communication protocol Host Master Controller Slave The communication is performed in the foll...

Page 371: ...005 01 F 371 400 E Request for operational parameters F Pump times zeroing G Parameters reading H Parameters writing I Request for operating status J Request for numerical reading K Request for counte...

Page 372: ...g the START command A in ASCII code 41 inverted it will be FF 1 41 BF CHARACTER ASCII CONVERTED ASCII FOR CRC CALCULATION A CRC 41h BFh B CRC 42h BEh C CRC 43h BDh D CRC 44h BCh E CRC 45h BBh F CRC 4...

Page 373: ...est is A B C D F the Turbo V 301 controller will Answer the ACK or NACK When the Request is E the Answer will contain the complete set of the following parameters BYTES MEANING 1 MSB LSB X X X X 0 STO...

Page 374: ...ollowing parameters BYTES MEANING 1 2 Pump cycles number integer coded in 2 bytes 3 Speed threshold 4 7 Run up time in seconds long coded in 4 bytes 8 Deat time 0 NO 1 YES 9 Reserved 10 Soft Start mod...

Page 375: ...LSB X X X X X X 0 STOP 1 WAITING INTERLOCK 2 STARTING 3 NORMAL OPERATION 4 5 HIGH LOAD 6 FAILURE 7 APPROACHING LOW SPEED R2 status 0 OFF 1 ON R1 status 0 OFF 1 ON 2 CRC When the Request is J Numerica...

Page 376: ...Answer will contain a string of 11 characters with the following parameters BYTES MEANING 1 4 Cycle time 5 8 Pump life 9 10 Cycle number 11 CRC On request a sample program in QBasic language is avail...

Page 377: ...at STX ADDR WIN COM DATA ETX CRC Where NOTE When a data is indicated between two quotes it means that the indicated data is the corresponding ASCII character STX Start of transmission 0x02 ADDR Unit a...

Page 378: ...x03 CRC XOR of all characters subsequent to STX and including the ETX terminator The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character The addressed SLAVE will respond with an ANSWER who...

Page 379: ...1 byte 0x6 the command execution has been successfully completed NACK 1 byte 0x15 the command execution has been failed Unknown Window 1 byte 0x32 the specified window in the command is not a valid wi...

Page 380: ...Destination Controller 02 80 30 30 30 31 31 03 42 33 STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Command STOP Source PC Destination Controller...

Page 381: ...ation Controller 02 80 31 30 30 31 31 03 42 32 STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Command SOFT START OFF Source PC Destination Contro...

Page 382: ...TX ADDR WINDOW RD ETX CRC Source Controller with address 3 in stop status Destination PC 02 83 32 30 35 30 30 30 30 30 30 03 38 37 STX ADDR WINDOW DATA STATUS ETX CRC Command REAL SERIAL TYPE Source P...

Page 383: ...equency 1 Power 2 Time 3 Normal 4 Pressure default 3 102 R W N R1 Set Point valve expressed in Hz W or s default 900 103 R W N Set Point delay time between the pump start and the set point check secon...

Page 384: ...off on closed On 1 Off 0 default 1 123 124 Reserved to Agilent service 125 R W L Set the vent valve operation Automatic 0 see note 1 On command 1 see note 2 126 R W N Vent valve opening delay express...

Page 385: ...R W L R2 Set Point Segnal Activation Type high level active 1 low level active 175 R W N R2 Set front Mysteresis in of R2 Valve 176 R A R2 Set Point Pressure Valve Valid in win 171 4 Format X X E X X...

Page 386: ...CRC EPROM QE QE8XXXX where XXXX are variable 402 R A CRC Param PA PA8XXXX where XXXX are variable 404 R A CRC Parameter structure XXXX 500 Reserved to Agilent service 503 R W N RS 485 address 0 to 31...

Page 387: ...ch component PN component name and user manual reference are reported For specific information about one of integrated components please contact Agilent Service department asking for the specific user...

Page 388: ...olator CF 8 9699335 Vent flange NW 10 KF M8 9699108 Vent flange NW 10 KF M5 9699109 Replacement TMP 74 FS ISO 63 X3502 69090 Replacement TMP 74 FS KF 40 X3502 69001 Replacement TMP 74 FS CFF 4 5 X3502...

Page 389: ...plicable to following models 9698400 9698401 9698402 9698403 9698404 9698405 9698406 9698411 9698412 9698416 9698417 9698418 9698419 9698421 9698422 9698423 9698424 9698425 9698426 9698427 9698428 969...

Page 390: ...e system voltage you can connect the provided power cord to the IEC320 electrical socket on the rear side of the system see picture The socket is provided with a retention spring to avoid accidental d...

Page 391: ...t the system components against overload or short circuits Move the breaker switch to the position 1 to start operating with the TPS mobile 6 The system activation by means of the Main Switch provides...

Page 392: ...bile User Manual 87 901 005 01 F 7 It is possible to start pumping by means of the selector named Pumping As soon as the Pumping selector is moved to the position 1 the TMP and Foreline pump will be s...

Page 393: ...ps off by using the pumping selector moving it to position 0 the TMP controller will remain ON and if a gauge is connected to the system it will be possible to continue reading the pressure even if pu...

Page 394: ...he Main Switch on position 1 Turbo pump is not able to reach the Normal Operation Status Leak on vacuum system connected to the inlet flange Check the vacuum system critical points valves flanges plas...

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Page 400: ...Barueri Sao Paulo CEP 06460 040 Toll free 0800 728 1405 Singapore Agilent Technologies Singapore Pte Ltd 1 Yishun Avenue 7 Singapore 768923 Tel 65 6215 8045 Fax 65 6754 0574 Toll free 1 800 2762622 vp...

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