Agilent Technologies 9698905 User Manual Download Page 223

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Technical Information

Typical Layout Diagram

Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G

)

223/234

Connection for water cooling

Roughing line with valve (optional)

Turbopump

Flexible connection

Connection A - High Vacuum Flange

To connect the Turbo-V 81-T pump to the ISO inlet flange, remove the
outer ring and position the centering ring as shown in the figure.

Figure 31

Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the
figure.

Figure 32

Summary of Contents for 9698905

Page 1: ...ual Bedienungshandbuch Ohjek sikirja Notice de mode d emploi Felhaszn l i k zik nyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istru es N vod k pou it Bedrijfshandleiding N vod na obsluhu...

Page 2: ...e furnished under a license and may be used or copied only in accordance with the terms of such license Restricted Rights Legend If software is for use in the performance of a U S Government prime con...

Page 3: ...Turbo V 81 T Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G 3 234 Turbo V 81 T...

Page 4: ...Turbo V 81 T 4 234 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G...

Page 5: ...ecolari 14 Informazioni Generali 15 Immagazzinamento 17 Preparazione per l installazione 18 Installazione 19 Uso 22 Manutenzione 23 Smaltimento 24 2 Gebrauchsanleitung25 Sicherheitshinweise f r Turbom...

Page 6: ...42 Installation 43 Utilisation 46 Entretien 47 Mise au rebut 48 4 Manual de istrucciones 49 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50 Informaci n general 51 Almacenamiento 53 Preparaci...

Page 7: ...ng 73 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74 Algemene informatie 75 Opslag 77 Uitpakken 78 Installatie 79 Gebruik 82 Onderhoud 83 Afvalverwerking 84 7 Istruktionsbog 85 Sikkerhedsanvis...

Page 8: ...rberedelser f r installation 101 Installation 102 Anv ndning 104 Underh ll 105 Bortskaffning 106 9 Instruksjon Manual 107 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyl re pumper 108 Generell informasjon109...

Page 9: ...31 Biztons gi tmutat Turb molekul ris szivatty khoz 132 ltal nos inform ic 133 T rol s 134 El k sz t s telep t sre 135 Telep t s 136 Haszn lat 139 Karbantart s 140 Megsemmis t s 141 12 Podrecznik Inst...

Page 10: ...n informace 157 Uskladn n 158 P prava k instalaci 159 Instalace 160 Pou it 162 dr ba 163 Likvidace 164 14 N vod na Obsluhu 165 Bezpe nostn n vod pre Turbomolekul rne v vevy 166 V eobecn inform cie 167...

Page 11: ...v 187 16 Instructions for Use 189 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 190 General Information 191 Storage 192 Preparation for Installation 193 Installation 194 Use 196 Maintenance 197 Disposal 1...

Page 12: ...Cooling Kit Installation 214 Water Cooling Kit Installation 216 Vent Accessories 219 Vibration Isolator Installation220 Typical Layout Diagram 221 Pump used in Presence of Magnetic Fields 226 Accessor...

Page 13: ...oni per l uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Immagazzinamento 17 Preparazione per l installazione 18 Installazione 19 Uso 22 Manutenzione 23 Smaltimento...

Page 14: ...vata quantit di energia cinetica dovuta alla alta velocit di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore...

Page 15: ...mative nazionali specifiche Le pompe della serie Turbo V 81 T sono pompe turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto in grado di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso non...

Page 16: ...ione sono visualizzati prima di procedure che se non osservate potrebbero causare danni all apparecchiatura AVVERTENZA I messaggi di avvertenza attirano l attenzione dell operatore su una procedura o...

Page 17: ...re superate le seguenti condizioni ambientali temperatura da 20 C a 70 C umidit relativa da 0 a 95 non condensante il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft Start quando ri...

Page 18: ...la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni Non disperdere l imballo nell ambiente Il materiale completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85 399 per la tutela dell ambiente ATTENZI...

Page 19: ...ioggia gelo neve polveri gas aggressivi in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio Durante il funzionamento necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali pressione mas...

Page 20: ...pu essere installata in qualsiasi posizione Fissare la Turbo V 81 T in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia...

Page 21: ...ssata tramite la sua base ATTENZIONE La Turbo V 81 T appartiene alla seconda categoria di installazione o sovratensione prevista dalla normativa EN 61010 1 Connettere quindi il dispositivo ad una line...

Page 22: ...n toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento L elevata temperatura pu causare lesioni alle persone ATTENZIONE Evitare urti oscillazioni o bruschi spostam...

Page 23: ...della pompa sia inferiore a 50 C In caso di guasto possibile usufruire del servizio di riparazione Agilent o del Agilent advanced exchange service che permette di ottenere un sistema rigenerato in sos...

Page 24: ...che il prodotto sul quale applicato NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata Si invita pertanto l utent...

Page 25: ...anual 25 234 2 Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise f r Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine 27 Lagerung 29 Vor der Installation 30 Installation 31 Gebrauch 34 Wartung 35 Entsorgung 36 bersetzung der...

Page 26: ...hen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren ber eine gro e Menge kinetischer Energie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und S...

Page 27: ...Serie Turbo V 81 T sind Molekularpumpen f r Hoch und H chstvakuumanwendungen die jede beliebige Art von Gasen oder nicht korrosiven gasf rmigen Gemischen pumpen k nnen Sie sind nicht f r das Pumpen vo...

Page 28: ...sichtshinweise werden vor Vorg ngen angegeben die bei Nichtbeachtung Sch den an der Anlage verursachen k nnten WARNUNG Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder e...

Page 29: ...nicht berschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feuchtigkeit von 0 bis 95 nicht kondensierend Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im M...

Page 30: ...h tzen ist Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgem zu entsorgen Es ist vollst ndig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85 399 EWG f r Umweltschutz VORSICHT Um Entgasungen zu vermeiden d rfen d...

Page 31: ...sind sowie auch nicht in explosionsf higen oder erh ht brandgef hrdeten Umgebungen installiert und oder benutzt werden Beim Betrieb m ssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden Maximaler D...

Page 32: ...bo V 81 T kann in jeder beliebigen Position installiert werden Modell Turbo V 81 T ist stabil zu befestigen indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird...

Page 33: ...seines Sockels befestigt werden VORSICHT Der Turbo V 81 T geh rt zur zweiten Installationsklasse berdruck die von den Normen EN 61010 1 vorgesehen ist Die Vorrichtung mu daher an eine Speisungsleitung...

Page 34: ...en ist W hrend des Aufheizens d rfen weder die Pumpe noch eventuelle hei e Zubeh rteile ber hrt werden Es besteht Verbrennungsgefahr VORSICHT W hrend des Betriebs sind Sto und Vibrationseinwirkungen s...

Page 35: ...eh use unter 50 C abgesunken ist Bei Defekten kann der Agilent Service oder der Agilent advanced exchange service in Anspruch genommen werden der ein general berholtes System als Ersatz f r das defekt...

Page 36: ...ol nur in den EU L ndern g ltig zeigt an dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsm ll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugef hrt werden muss Der Endabnehmer...

Page 37: ...de d emploi Normes de s curit pour Pompe Turbomol culaires 38 Indications g n rales 39 Stockage 41 Preparation pour l installation 42 Installation 43 Utilisation 46 Entretien 47 Mise au rebut 48 Tradu...

Page 38: ...t une nergie cin tique lev e due la grande vitesse de rotation associ e la masse sp cifique de leurs rotors En cas de panne du syst me par exemple cause d un contact entre rotor et stator ou d une rup...

Page 39: ...ales sp cifiques Les pompes de la s rie Turbo V 81 T sont des pompes turbomol culaires pour des applications de vide pouss et ultrapouss en mesure de pomper n importe quel type de gaz ou de compos non...

Page 40: ...ssent avant certaines proc dures qui si elles ne sont pas observ es pourraient endommager s rieusement l appareillage AVERTISSEMENT Les messages d avertissement attirent l attention de l op rateur sur...

Page 41: ...voir lieu dans les conditions ambiantes suivantes temp rature de 20 C 70 C humidit relative de 0 95 non condensante A la premi re utilisation les pompes turbomol culaires doivent toujours tre mises en...

Page 42: ...ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration Ne pas abandonner l emballage dans la nature Le mat riel est enti rement recyclable et conforme la directive CEE 85 399 en mati re de protection de l...

Page 43: ...l neige la poussi re aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou fort risque d incendie Pendant le fonctionnement il est n cessaire de respecter les conditions environnementales suivante...

Page 44: ...96 Le Turbo V 81 T peut tre install e dans n importe quelle position Le fixer dans une position stable en reliant la bride d entr e de la turbopompe une contre bride fixe pouvant supporter un couple d...

Page 45: ...e fix par sa base ATTENTION Le Turbo V 81 T appartient la deuxi me cat gorie d installations ou surtension pr vue par la norme EN 61010 1 De ce fait brancher le dispositif une ligne d alimentation com...

Page 46: ...toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ventuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut tre l origine de l sions graves ATTENTION Lorsque la turbopompe fonctionne viter...

Page 47: ...nf rieure 50 C En cas de panne il est possible de b n ficier du service r parations Agilent ou du Agilent advanced exchange service qui permet d obtenir un syst me r g n r en remplacement du syst me e...

Page 48: ...e produit sur lequel il est appliqu NE doit PAS tre mis au rebut avec les ordures m nag res ou les d chets industriels ordinaires mais passer par un syst me de collecte s lective Apr s avoir v rifi le...

Page 49: ...istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50 Informaci n general 51 Almacenamiento 53 Preparaci n para la instalaci n 54 Instalaci n 55 Uso 58 Mantenimiento 59 Eliminaci n 60...

Page 50: ...una elevada cantidad de energ a cin tica debido a la alta velocidad de rotaci n en combinaci n a la masa espec fica de sus rotores En el caso de un da o del sistema por ejemplo por un contacto entre e...

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Page 54: ...o someterla a golpes o vibraciones No abandonar el embalaje en el medio ambiente El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85 399 para la preservaci n del medio ambiente AT...

Page 55: ...tilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosf ricos lluvia hielo y nieve polvo y gases agresivos en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio Durante el funcionamiento es necesario que...

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Page 58: ...ar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas ATENCI N Ev tense golpes oscilaciones o bruscos desplazam...

Page 59: ...ura superficial de la bomba sea inferior a 50 C En caso de aver a se podr utilizar el servicio de reparaci n Agilent o el Agilent advanced exchange service que permite obtener un sistema regenerado pa...

Page 60: ...plicado NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean stos dom sticos o industriales y que por el contrario deber ser sometido a un procedimiento de recogida diferenciada Por lo tanto se i...

Page 61: ...34 5 Manual de Istru es Indica es de Seguran a para Bombas Turbomoleculares 62 Informa es gerais 63 Armazenagem 65 Prepara o para a instala o 66 Instala o 67 Utiliza o 70 Manuten o 71 Elimina o 72 Tra...

Page 62: ...Instru es t m uma alta quantidade de energia cin tica devida alta velocidade de rota o unida massa espec fica de seus rotores Em caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o r...

Page 63: ...s bombas da s rie Turbo V 81 T s o bombas turbomoleculares para aplica es de alto e ultra alto v cuo em grau de bombear qualquer tipo de g s ou de composto gasoso n o corrosivo N o s o adequadas para...

Page 64: ...ns de cuidado s o visualizadas antes de proceder que se n o observadas poderiam causar danos aparelhagem ATEN AO As mensagens de aten o atraem a aten o do operador num procedimento ou uma pr tica espe...

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Page 66: ...r a bomba e para n o submet la a choques ou vibra es N o depositar a embalagem no meio ambiente O material completamente recicl vel e em conformidade com a norma CEE 85 399 para a protec o do meio amb...

Page 67: ...u usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosf ricos chuva gelo neve poeiras gases agressivos em ambientes com possibilidade de explos o ou com elevado risco de inc ndio Durante o funcionamento...

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Page 69: ...234 CUIDADO O Turbo V 81 T pertence segunda categoria de instala o ou sobretens o prevista pela norma NE 61010 1 Portanto ligue o dispositivo a uma linha de alimenta o apropriada para esta categoria...

Page 70: ...car a turbobomba e os seus eventuais acess rios durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas CUIDADO Evitar colis es oscila es ou deslocamentos bruscos da turb...

Page 71: ...l da bomba seja inferior a 50 C Em caso de defeito poss vel usufruir do servi o de assist ncia Agilent ou do Agilent advanced exchange service que permite obter um sistema regenerado que substitua a b...

Page 72: ...produto no qual est aplicado N O deve ser eliminado juntamente com os res duos dom sticos ou industriais comuns mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada Portanto convidamos o utiliza...

Page 73: ...3 234 6 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74 Algemene informatie 75 Opslag 77 Uitpakken 78 Installatie 79 Gebruik 82 Onderhoud 83 Afvalverwerking 84 Vertaling van...

Page 74: ...ebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem bijvoorbeeld door een contact tussen d...

Page 75: ...ieke nationale wetgeving De pompen van de serie Turbo V 81 T zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacu mtoepassingen die elk soort gas en niet corrosieve gasvormige verbindingen kunnen...

Page 76: ...taat tekst met procedures die indien niet opgevolgsd schade aan apparatuur kunnen veroorzaken WAARSCHUWING Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure...

Page 77: ...ldaan temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van 0 tot 95 niet condenserend de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor...

Page 78: ...aat de verpakking niet ergens buiten achter Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85 399 VOORZICHTIG Om ontgassingsproblemen te voorkomen mogen de comp...

Page 79: ...eld zijn aan de weersomstandigheden regen vorst sneeuw stof agressieve gassen of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwez...

Page 80: ...98996 De Turbo V 81 T kan in alle standen worden ge nstalleerd Bevestig de Turbo V 81 T in een stabiele positie en verbind de in laatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van...

Page 81: ...eigen basis worden bevestigd VOORZICHTIG De Turbo V 81 T behoort tot de tweede installatiecategorie of overspanningscategorie die door de norm EN 61010 1 is voorzien Sluit deze inrichting dus aan op e...

Page 82: ...accessoires niet tijdens het verwarmen aan De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken VOORZICHTIG Vermijd schokken trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in wer...

Page 83: ...van de pomp onder een temperatuur van 50 C is gezakt In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Agilent of de Agilent advanced exchange service in te schakelen zo krijgt men een ru...

Page 84: ...t waarop het is aangebracht NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval maar gescheiden moet worden ingezameld De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met...

Page 85: ...ktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekyl re turbopumper 86 Generel information 87 Opbevaring 89 Forberedelser f r installation 90 Installation 91 Anvendelse 93 Vedligeholdelse 94 Bortskaffelse 95 O...

Page 86: ...en stor kinetisk energi der skyldes den h je omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke v gt Hvis der er en fejl i systemet for eksempel p grund af en kontakt mellem rotor og stato...

Page 87: ...Pumperne i serien Turbo V 81 T er turbomolekyl re pumper til anvendelse for h j og ultrah j vakuumtilpasning i stand til at pumpe en hvilken som helst type gas eller ikke tsende gasholdige blandinger...

Page 88: ...e advarselsmeddelelse vises f r procedurer der skal f lges n je for ikke at risikere maskinskader ADVARSEL Advarselsmeddelelserne informerer operat ren om at en speciel procedure eller en vis type arb...

Page 89: ...g opbevaring af pumperne temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed fra 0 til 95 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekyl re pumper ved hj lp af Soft Start funktionen ved modtag...

Page 90: ...bes eller uds ttes for st d ved udpakningen Smid ikke emballagen ud Materialet kan genbruges 100 og opfylder EU direktiv 85 399 om milj beskyttelse FORSIGTIG Komponenter der skal uds ttes for vakuum m...

Page 91: ...gt milj F lgende krav til omgivelsesforholdene g lder ved drift max tryk 2 bar over det atmosf riske tryk temperatur fra 5 C til 35 C se illustrationen i bilaget Technical Information relativ luftfugt...

Page 92: ...fastg res med klemmer af h jstyrkest l type Agilent model IC 63250 DCMZ Nedenst ende tabel viser hvor mange klemmer der kr ves samt med hvilket sp ndingsmoment de skal strammes Tab 1 FLANGE KLEMMETYPE...

Page 93: ...flangen R r aldrig turbopumpen eller dens tilbeh r i forbindelse med opvarmningsprocedurerne Den h je temperatur kan resultere i skade p personer FORSIGTIG Undg sammenst d vibrationer eller bratte bev...

Page 94: ...rotoren er standset og til temperaturen p pumpens overflade er under 50 C I tilf lde af skader p systemet kontaktes et Agilent reparationsv rksted eller Agilent advanced exchange service der udskifte...

Page 95: ...idder p IKKE m bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres p en godkendt affaldsstation Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leveran...

Page 96: ...7 Istruktionsbog Bortskaffelse 96 234 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G...

Page 97: ...ksanvisning S kerhetsanvisningar f r Molekyl ra turbopumpar 98 Allm n information 99 F rvaring 100 F rberedelser f r installation 101 Installation 102 Anv ndning 104 Underh ll 105 Bortskaffning 106 ve...

Page 98: ...g kinetisk energi beroende p den h ga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa I det fall fel skulle uppst i systemet t ex p grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle...

Page 99: ...dock inte anv ndas f r att pumpa v tskor eller fasta partiklar Pumpningen stadkoms med hj lp av en h gvarvig turbin max 80000 varv minut som drivs av en trefas h geffektsmotor Inga tillsats mnen anv...

Page 100: ...givningsf rh llanden respekteras Temperaturomr de 20 C till 70 C Relativ fuktighet 0 till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl ra pumparna n r de mottas och s tts i drift f r f...

Page 101: ...er uts tts f r st tar vid uppackningen Kasta inte packmaterialet i soporna Materialet r tervinningsbart till 100 och uppfyller EU direktiv 85 399 om milj skydd OBSERVER Komponenter som skall uts ttas...

Page 102: ...losiv eller brandfarlig milj F ljande krav p omgivningsf rh llanden g ller vid drift maximitryck 2 bar ver atmosf riskt tryck temperatur fr n 5 C till 35 C se bild i Technical Information relativ luft...

Page 103: ...xempel fixeras med h gh llfasta st lbyglar modell Agilent IC 63250 DCMZ I tabellen nedan beskrivs det antal byglar som erfordras och med vilket moment de ska dras t Tab 1 FL NS TYP AV KLAMMER ANT TDRA...

Page 104: ...ockerad p plats med l sfl nsen Vidr r inte turbopumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador OBSERVER Undvik sammanst tningar sv ngningar eller pl tsliga f rflyttningar...

Page 105: ...nas V nta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur r l gre n 50 C Om pumpen havererar kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice som kan ers tta systemet med e...

Page 106: ...bolen har applicerats INTE f r skaffas bort tillsammans med vanliga hush lls eller industriavfall men att d remot ett differentierat uppsamlingssystem m ste uppr ttas Vi rekommenderar d rf r att sluta...

Page 107: ...sjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyl re pumper 108 Generell informasjon 109 Lagring 110 Klargj re til installasjon 111 Installasjon 112 Bruk 115 Vedlikehold 117 Eliminering 118 Oversetti...

Page 108: ...nde Bruksanvisningen har et h yt kinetisk energiniv som skyldes den h ye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor I tilfelle feil ved systemet for eksempel p grunn a...

Page 109: ...ller gassblandinger Den egner seg ikke for pumping av v sker eller faste partikler Pumpingen oppn s med en h yhastighetsturbin maks 80000 opm koplet til en trefaset elektrisk motor Turbo V 81 T har in...

Page 110: ...e f lgende milj forhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 95 uten kondensering Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene n r de mottas og startes opp f r...

Page 111: ...ed eller utsettes for noen form for st t Emballasjen m ikke kastes p en ulovlig m te Alle materialer er 100 resirkulerbare og er i samsvar med EU direktiv 85 399 om milj beskyttelse FORSIKTIG For unng...

Page 112: ...temet i milj er som utsettes for regn sn eller is st v aggressive gasser eksplosjonsfarlige milj er eller milj er med stor brannfare Under bruk m f lgende forhold respekteres maksimalt trykk 2 bar ove...

Page 113: ...o V 81 T kan monteres i en valgfri stilling Fest Turbo V 81 T i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment p 250 Nm rundt aksen For eksempel ISO 63 flen...

Page 114: ...G FORSIKTIG Turbo V 81 T h rer til installasjonsklasse eller overspenningsklasse nummer 2 i f lge EN 61010 1 standarden Kople derfor anordningen til en hovedledning som tilfredsstiller kravene for den...

Page 115: ...rt pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret eller ikke er lukket med lukkeflensen Ikke ber r turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen De h ye temperaturene kan...

Page 116: ...bo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G ADVARSEL N r pumpen brukes for pumpe giftige brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene f lges Pumpen skal ikk...

Page 117: ...mpens overflatetemperatur er lavere enn 50 C Dersom systemet stanser m du ta kontakt med Agilents reparasjonservice eller med Agilents avanserte bytteservice som kan tilby overhalte system til erstatn...

Page 118: ...Det europeiske fellesselskap viser at produktet som det sitter p IKKE m behandles som vanlig hus industriavfall men m legges i kildesortering Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordning...

Page 119: ...Manual 119 234 10 Ohjek sikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 120 Yleisi tietoja 121 Varastointi 122 Valmistelut asennusta varten 123 Asennus 124 K ytt 127 Huolto 128 H vitt minen 129 Alkuper is...

Page 120: ...m r kineettist energiaa joka aiheutuu korkeasta py rimisnopeudesta yhdistettyn pumppujen roottorien massaan J rjestelm n vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai root...

Page 121: ...t mutta se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella 80000 kierrosta min max py riv n turbiinin avulla jota k ytt korkeatehoinen kolmiva...

Page 122: ...seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylitt l mp tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan pum...

Page 123: ...toamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai t rin it Pakkausta ei tule j tt ymp rist n Pakkausmateriaali voidaan kierr tt kokonaisuudessaan ja se vastaa EY direktiivi 85 399 ymp rist n suojelusta HUOMI...

Page 124: ...entaa ja tai k ytt ymp rist ss miss se joutuu kosketuksiin s tekij iden sateen j n tai lumen p lyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa r j hdys tai tulipalovaara K yt n aikana...

Page 125: ...24 Vdc 9698995 Navigator Controller 81AG 100 240 Vac 9698996 Turbo V 81 T voidaan asentaa mihin tahansa asentoon Kiinnitt k Turbo V 81 T vakaaseen asentoon liitt m ll turbopumpun sis ntulolaippa kiin...

Page 126: ...900 984 01 G HUOMIO Turbo V 81 T kuuluu toiseen EN 61010 1 s nn sten mukaiseen asennusluokkaan tai ylij nniteluokkaan Kytke laite t m n vuoksi s hk verkkoon joka t ytt t m n luokan vaatimukset Ks Tech...

Page 127: ...ulaipalla lk koskeko turbopumppuun tai sen lis osiin l mmitt misen aikana Korkea l mp tila saattaa aiheuttaa henkil iden loukkaantumisia HUOMIO V lt kolhuja heiluntaa tai kkiliikkeit turbopumpun toimi...

Page 128: ...umpun pintal mm n laskea alle 50 C en Laitteen vahingoittuessa on mahdollista k ytt Agilentin korjauspalvelua tai Agilent advanced exchange service vaihtopalvelua jonka kautta saatte uudistetun pumpun...

Page 129: ...in j senmaita tarkoittaa ett tuotetta EI saa h vitt tavallisen kotitalous tai teollisuusj tteen mukana vaan se on toimitettava erilliseen ker yspisteeseen Loppuk ytt j kehotetaan sen vuoksi ottamaan k...

Page 130: ...10 Ohjek sikirja H vitt minen 130 234 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G...

Page 131: ...1 Felhaszn l i K zik nyv Biztons gi tmutat Turb molekul ris szivatty khoz 132 ltal nos inform ic 133 T rol s 134 El k sz t s telep t sre 135 Telep t s 136 Haszn lat 139 Karbantart s 140 Megsemmis t s...

Page 132: ...kul ris szivatty k nagy mozg si energi val rendelkeznek nagy forg si sebess g k s a rotorok fajlagos t mege miatt A rendszer hib s m k d se p ld ul a rotor s az ll r sz rintkez se vagy a forg r sz sz...

Page 133: ...d l g z illetve g zvegy let szivatty z s ra k pes legyen Nem alkalmas folyad kok vagy szil rd r szecsk k szivatty z s ra A szivatty z si m veletet egy nagyteljes tm ny 3 f zis elektromos motorral hajt...

Page 134: ...tereket nem szabad t ll pni h m rs klettartom ny 20 C 70 C relat v p ratartalom 0 95 nem kondenz l A turbomolekul ris szivatty kat mindig l gyan kell ind tani amikor a felhaszn l tveszi s el sz r zem...

Page 135: ...k b rmilyen hirtelen t s t vagy r zk d s t Ne rtalmatlan tsa a csomagol anyagokat nem megengedett m don Az anyag teljesen jrafeldolgozhat s megfelel az EEC 85 399 es direkt v nak FIGYELEM G zkivon si...

Page 136: ...tt k rnyezetben es h j g porban agressz v g zokban illetve robban vagy t zvesz lyes k rnyezetben zemeltet s k zben a k vetkez k rnyezeti felt teleket kell biztos tani maxim lis nyom s 2 bar a l gk ri...

Page 137: ...ator Controller 81AG 24 Vdc 9698995 Navigator Controller 81AG 100 240 Vac 9698996 A Turbo V 81 T b rmely helyzetben telep thet R gz tse a Turbo V 81 Tt stabil helyzetben a turb szivatty bemeneti karim...

Page 138: ...rbo V 81 T nem r gz thet az alapj n kereszt l FIGYELEM A Turbo V 81 T a m sodik telep t si vagy t lfesz lts g kateg ri hoz tartozik az EN 61010 1 direkt va szerint Csatlakoztassa az eszk zt a fenti ka...

Page 139: ...a v kuumkamr hoz vagy nincs kiiktatva Ne rintse meg a turb szivatty t vagy annak tartoz kait a meleg t si folyamat k zben Magas h m rs klet g st okozhat FIGYELEM Ker lje a szivatty t s t r z s t vagy...

Page 140: ...a rotor forg sa le ll s am g a szivatty fel let nek h m rs klete 50 C al esik Meghib sod s eset n l pjen kapcsolatba a helyi Agilent szervizk zponttal ahol tudnak adni egy helyre ll tott rendszert a...

Page 141: ...n megtal lhat NEM ker lhet k z ns ges h ztart si vagy ipari hullad kkal egy tt megsemmis t sre hanem azt egy szelekt v hullad kgy jt rendszerbe kell tov bb tani A v gfelhaszn l nak a gy jt si s megsem...

Page 142: ...11 Felhaszn l i K zik nyv Megsemmis t s 142 234 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G...

Page 143: ...ukcji Wskaz wki dotycz ce bezpiecze stwa dla Pomp Turbomolekularnych 144 Og lne Informacje 145 Magazynowanie 146 Przygotowanie do instalacji 147 Instalacja 148 U ytkowanie 151 Konserwacja 152 Przetwor...

Page 144: ...ugi posiadaj wysok ilo energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysok pr dko ci obrotow razem z mas w a ciw wirnik w W przypadku uszkodzenia systemu na przyk ad z powodu kontaktu mi dzy wirnikiem a sto...

Page 145: ...81 T to pompy turbomolekularne przeznaczone s do wywo ywania wysokiej i ultra wysokiej pr ni s wstanie pompowa jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej nie korozyjnej Nie znajduj one zastosowania do...

Page 146: ...ie W celu zagwarantowania najwy szego poziomu funkcjonalno ci i niezawodno ci pomp Turbomolekularnych Agilent nale y przestrzega nast puj cych zalece podczas transportu przestawiania i magazynowania p...

Page 147: ...rbo V 81 T ani nie poddawa go uderzeniom lub wibracjom Nie porzuca opakowania w rodowisku Materia ten nadaje si ca kowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektyw UE 855 399 dotycz cej ochrony rodowiska...

Page 148: ...chemiczne w rodowiskach wybuchowych lub z wysokim zagro eniem po aru Podczas dzia ania obowi zkowo nale y przestrzega nast puj ce warunki otoczenia maksymalne ci nienie 2 bary ponad ci nieniem atmosf...

Page 149: ...bo V 81 T mo e by zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji Zamocowa Turbo V 81 T w stabilnej pozycji cz c ko nierz wej ciowy turbopompy do ko nierza sta ego wytrzyma ego na obci enie 250 Nm wok w asnej o...

Page 150: ...nie mo e by mocowany poprzez w asn podstaw UWAGA Turbo V 81 T nale y do drugiej kategorii instalacji lub nadnapi cia przewidzianej przez norm EN 61010 1 Dlatego te pod czy urz dzenie do linii zasilan...

Page 151: ...ony do komory lub nie jest zamkni ty z ko nierzem zamkni cia Nie dotyka turbopompy i jej ewentualnych akcesori w podczas operacji nagrzewania Wysoka temperatura mo e spowodowa uszkodzenia cia a na oso...

Page 152: ...mpy b dzie poni ej 50 C W przypadku usterki mo liwe jest skorzystanie z serwisu naprawczego Agilent lub Agilent advanced exchange service kt ry pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu w zast pstw...

Page 153: ...nacza ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki...

Page 154: ...12 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 154 234 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G...

Page 155: ...anual 155 234 13 N vod k Pou it Bezpe nostn n vod pro Turbomolekul rn v v vy 156 V eobecn informace 157 Uskladn n 158 P prava k instalaci 159 Instalace 160 Pou it 162 dr ba 163 Likvidace 164 P eklad o...

Page 156: ...opisov ny v n sleduj c m n vodu obsahuj velk mno stv kinetick energie d ky vysok ot iv rychlosti v kombinaci s konkr tn m objemem jejich rotor V p pad syst mov nefunk nosti nap kontaktu rotoru anebo s...

Page 157: ...opn erpat jak koli typ nekoroz vn ho plynu nebo slou eniny plyn Nehod se pro erp n tekutin nebo pevn ch stic erp n zaji uje velmi rychl turb na max 80000 ot min poh n n vysoce v konn m trojf zov m ele...

Page 158: ...n v v v byste nem li p ekra ovat n sleduj c technick podm nky prost ed Teplotn rozp t 20 C a 70 C Rozp t vlhkosti 0 a 95 bez sr en turbomolekul rn v v vy mus u ivatel po dod vce a poprv v dycky spou...

Page 159: ...enad l mi n razy ot esy nebo vibracemi Balic materi l nelikvidujte nedovolen m zp sobem Tento materi l lze 100 recyklovat a spl uje po adavky sm rnice EEC 85 399 POZOR Aby se zamezilo probl m m s odpl...

Page 160: ...po ru Za provozu je t eba dodr ovat n sleduj c podm nky dan prost ed m maxim ln tlak 2 bary nad atmosf rick m tlakem teplota od 5 C do 35 C viz diagram tlak teplota v p loze Technical Information rela...

Page 161: ...sv osy Nap p rubu ISO 63 lze p ipevnit p chytkami z vysoce pevn oceli jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Agilent N sleduj c tabulka uv d nezbytn po et p chytek a p slu n utahovac moment Tab 1 P RUBA P CH...

Page 162: ...zah v n se turbov v vy ani jej ho p slu enstv nedot kejte Vysok teplota m e zp sobit pop leniny POZOR B hem chodu chra te v v vu p ed n razy vibracemi a prudk mi pohyby Mohly by se po kodit lo iska P...

Page 163: ...o kejte dokud povrchov teplota v v vy neklesne pod 50 C V p pad poruchy kontaktujte m stn servisn st edisko firmy Agilent kter m e dodat n hradn repasovan za zen v m nou za porouchan POZN MKA P ed ode...

Page 164: ...ov n spole n s ostatn mi dom c mi nebo pr myslov mi odpady ale je nutno ho p edat do pat i n ch provozn ch sb ren kde mus b t t d n a likvidov n odd len od m stsk ho odpadu U ivateli kter m n v robek...

Page 165: ...165 234 14 N vod na Obsluhu Bezpe nostn n vod pre Turbomolekul rne v vevy 166 V eobecn inform cie 167 Uchov vanie 168 Pr prava na in tal ciu 169 In tal cia 170 Pou itie 172 dr ba 174 Likvid cia 175 Pr...

Page 166: ...cej pr ru ke sa vyzna uj vysokou kinetickou energiou a to v aka vysokej r chlosti ot ania v kombin cii so pecifickou hmotnos ou svojich rotorov V pr pade syst movej poruchy napr pri kontakte rotora a...

Page 167: ...alebo ak mko vek postupom ktor je v rozpore so pecifick mi tandardmi danej krajiny erpadl s rie Turbo V 81 T s turbomolekul rnymi erpadlami na vytvorenie vysok ho a ultravysok ho v kua ktor s schopn o...

Page 168: ...aby turbomolekul rne v vevy zna ky Agilent pod vali maxim lny a spo ahliv v kon dodr iavajte nasleduj ce pokyny neprekra ujte nasleduj ce podmienky prostredia po as prevozu pren ania a uchov vania v...

Page 169: ...ie nespadlo nebolo vystaven n razu alebo prudk mu otrasu alebo vibr ci m Obalov materi l zlikvidujte predp san m sp sobom Materi l je 100 recyklovate n a sp a po iadavky smernice EEC 85 399 POZOR Ak c...

Page 170: ...oroz vne plyny ani vo v bu n ch prostrediach alebo tam kde existuje vysok riziko po iaru Po as innosti zariadenia je potrebn zabezpe i tieto vlastnosti prostredia maxim lny pretlak 2 bary nad rov ou a...

Page 171: ...9698996 Zariadenie Turbo V 81 T m e by nain talovan v ubovo nej polohe Upevnite Turbo V 81 T do stabilnej polohy pripojen m vstupnej pr ruby turbov vevy k pevnej pr rube upevnenej tak aby vydr ala na...

Page 172: ...o V 81 T sa nem e upevni pomocou vlastnej z kladne POZOR Zariadenie Turbo V 81 T patr do druhej in tala nej prep ovej kateg rie pod a smernice EN 61010 1 Zariadenie je potrebn pripoji ku zdroju nap ja...

Page 173: ...e zablendovan V priebehu zahrievania sa nikdy nedot kajte turbov vevy ani iadneho pr slu enstva Vysok teploty m u sp sobi pop leniny POZOR Dbajte na to aby v veva po as innosti nebola vystaven n razom...

Page 174: ...k m sa rotor neprestane ot a a k m teplota povrchu v vevy neklesne pod 50 C V pr pade poruchy zariadenia vyh adajte kontaktn stredisko spolo nosti Agilent kde v m pokazen syst m vymenia POZN MKA Sk r...

Page 175: ...ty Eur pskej nie znamen e v robok s t mto t tkom NESMIE by odstr nen spolu s be n m dom cim alebo priemyseln m odpadom ale sa mus odstr ni ako delen odpad Vyz vame preto kone n ho u vate a aby sa skon...

Page 176: ...14 N vod na Obsluhu Likvid cia 176 234 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G...

Page 177: ...4 15 Priro nik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke 178 Splo ne informacije 179 Shranjevanje 180 Priprava za monta o 181 Monta a 182 Uporaba 184 Vzdr evanje 186 Odlaganje opadkov...

Page 178: ...lednjih navodilih vsebujejo veliko koli ino kineti ne energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifi nimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanje sistema na primer pri dotiku rotorja st...

Page 179: ...plinov ali nekorozivnih plinskih zmesi Ni primeren za rpanje teko ine ali trdnih delcev rpanje se izvaja preko hitre turbine maks 80000 rpm ki jo vodi visoko u inkovit 3 fazni elektri ni motor Turbo V...

Page 180: ...e smete prese i naslednjih specifikacij temperaturno obmo je 20 C do 70 C obmo je relativne vla nosti 0 do 95 brez kondenza Turbomolekularne rpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko ivljen...

Page 181: ...Embala o zavrzite v skladu s pravili Material je mo no v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85 399 POZOR Komponent ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami saj bos...

Page 182: ...tavljeno na atmosferske agente de sneg led prah agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost po ara Tekom delovanja je treba spo otvati naslednje pogoje Maksimalen pritisk 2 bara nad pritiskom...

Page 183: ...ko montirate v tevilne pozicije Turbo V 81 T namestite v stabilem polo aj tako da pove ete vhodno prirobnico turbo rpalke na pritrjeno tevno prirobnico ki lahko prenese navor 250 Nm okoli svoje osi IS...

Page 184: ...T User Manual 87 900 984 01 G POZOR Po direktivi EN 61010 1 spada Turbo V 81 T v skupino za drugo name anje ali prekovolta o Napravo prilju ite na napetost ki je v vskladu z zgornjo kategorijo Za name...

Page 185: ...riklju ena na vakuumsko le i e Tekom segrevanja se turbo rpalke ali njenih delov ne dotikajte Visoka temperatura lahko povzro i opekline POZOR Izogibajte se udarcem oscilacijam ali nenadnim premikom r...

Page 186: ...rimerno odprtino po akajte da se rotor ustavi an po akajte da povr inska temperatura rpalke pade pod 50 C V primeru okvare kontaktirajte lokalni Agilent servisni center ki vam lahko zamenja pokvarjen...

Page 187: ...sti pomeni da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki temve morate poskrbeti za njihovo primerno lo evanje Zato pozivamo uporabnike da se ali pri prodaj...

Page 188: ...15 Priro nik za Navodila Odlaganje opadkov 188 234 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G...

Page 189: ...189 234 16 Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 190 General Information 191 Storage 192 Preparation for Installation 193 Installation 194 Use 195 Maintenance 197 Disposal 19...

Page 190: ...contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact...

Page 191: ...pound It is not suitable for pumping liquids or solid particles The pumping action is obtained through a high speed turbine max 80000 rpm driven by a high performance 3 phase electric motor The Turbo...

Page 192: ...l specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 95 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated fo...

Page 193: ...of sudden impact or shock vibration to it Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner The material is 100 recyclable and complies with EEC Directive 85 399 CAUTION In order to p...

Page 194: ...ring operation the following environmental conditions must be respected maximum pressure 2 bar above atmospheric pressure temperature from 5 C to 35 C see the diagram pressure temperature in the appen...

Page 195: ...axis For example the ISO 63 flange can be fixed using high strength steel clamps as Agilent model IC 63250 DCMZ The following table shows the necessary number of clamps and the relevant fixing torque...

Page 196: ...uch the turbopump or any of its accessories during the heating process The high temperatures may cause burns CAUTION Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump when in operation The bea...

Page 197: ...turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 C In the case of breakdown contact your local Agilent service center who can supply a reconditioned system to replace that bro...

Page 198: ...ean Community indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system The end...

Page 199: ...on 214 Water Cooling Kit Installation 216 Vent Accessories 219 Vibration Isolator Installation 220 Typical Layout Diagram 221 With Navigator Controller 221 With Standard Rack Controller 222 Connection...

Page 200: ...O 63 high vacuum flange Model 9698906 with KF 40 NW high vacuum flange Model 9698907 with ConFlat 4 5 external diameter high vacuum flange Model 9698908 with ConFlat 2 75 external diameter high vacuum...

Page 201: ...Technical Information Description of the Turbo V 81 T 17 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G 201 234 Figure 4 Model 9698906 Figure 5 Model 9698907 Figure 6 Model 9698908...

Page 202: ...hese are supported and accurately positioned by spacer rings During normal operation the motor is fed with a voltage of 54 Vac three phase at 1350 Hz max To reduce losses during start up to a minimum...

Page 203: ...Technical Information Description of the Turbo V 81 T 17 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G 203 234 Figure 7 PUMP FOREPUMP CONNECTOR CONTROLLER CONNECTOR...

Page 204: ...FF 4 5 O D CFF 2 75 O D Foreline flange KF16 NW Rotational speed 1350 Hz max Start up time 60 seconds Cooling requirements Natural air convection Forced air or water optional Recommended forepump mech...

Page 205: ...llation category II Pollution degree 2 Storage temperature 20 C to 70 C Weight kg lbs ISO 63 1 83 4 03 KF 40 1 80 3 97 CFF 4 5 2 62 5 78 CFF 2 75 2 59 5 71 According to standard DIN 28 428 the base pr...

Page 206: ...Information Turbo V 81 T Outline 206 234 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G Turbo V 81 T Outline The following figure shows the Turbo V 81 T outlines dimensions are in inches mm Figure 8 Turbo V...

Page 207: ...ation Turbo V 81 T Outline 17 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G 207 234 Figure 9 Graph of pumping speed vs inlet pressure with a 8 m3 h mechanical pump Figure 10 Graph of compression ratio vs f...

Page 208: ...17 Technical Information Turbo V 81 T Outline 208 234 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G Figure 11 Graph of Nitrogen throughput against inlet pressure using a DS102 as forevacuum pump...

Page 209: ...Installation Figure 12 Figure 13 The inlet screens mod 9699300 and 9699309 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0 7 mm diameter The inlet screen however does reduc...

Page 210: ...cal Information Inlet Screen Installation 210 234 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G Figure 14 The screen can be mounted on each pump The screen can be removed as shown in the following figure F...

Page 211: ...allation 17 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G 211 234 The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange...

Page 212: ...l 9699801 and 9699802 can be used to heat the pump casing when a bakeout is needed The heater band is applied to the upper part of the pump casing as shown in the figure and heats it to a temperature...

Page 213: ...ll be automatically cut out by the thermistor sensor NOTE The turbopump must be baked only when operating with an inlet pressure less than 10 4 mbar and with water cooling CAUTION If the chamber of th...

Page 214: ...cient Figure 19 Fan specifications air flow 12 8 l s 27 1 CFM input voltage 24 Vdc dimensions 60 x 60 x 25 mm power 2 60 W The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump and in...

Page 215: ...Technical Information Air Cooling Kit Installation 17 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G 215 234 Figure 20 Figure 21 Figure 22...

Page 216: ...o types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient The two model part numbers are 9699823 metallic model an...

Page 217: ...nstallation 17 Turbo V 81 T User Manual 87 900 984 01 G 217 234 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm The water kit is as...

Page 218: ...stic kit as shown Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or using a closed circuit cooling system The water temperature must be between 15 C and...

Page 219: ...e driven by its own control unit NOTE Refer to the Vent Valve Model Selection table to choose the valve and the related control unit NOTE Refer to the control unit manual for the pump valve controller...

Page 220: ...to the suitable connector on the controller Vibration Isolator Installation Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories The two model part numbers...

Page 221: ...ntroller Figure 29 1 Turbo V Navigator controller 2 Vent valve 3 Vacuum pump shut off valve optional 4 System vent valve optional 5 Vacuum chamber 6 Ionization gauge 7 Fore vacuum pump connecting flan...

Page 222: ...15 Flexible connection With Standard Rack Controller Figure 30 1 Turbo V standard rack controller 2 Vent valve 3 Vacuum pump shut off valve optional 4 System vent valve optional 5 Vacuum chamber 6 Ion...

Page 223: ...2 Roughing line with valve optional 13 Turbopump 14 Flexible connection Connection A High Vacuum Flange To connect the Turbo V 81 T pump to the ISO inlet flange remove the outer ring and position the...

Page 224: ...apply Felpro C 100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Attach the units and tighten each one in turn Repeat the sequential tighte...

Page 225: ...ts high compression ratio also for oil vapors When using a mechanical oil sealed pump it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil...

Page 226: ...leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool This effect is strongly dependant from the intensity time function and distribution...

Page 227: ...90 Air cooling kit extension cable 5 m 9699940 Pump extension cable 9699942 Vibration damper DN 63 9699375 Vibration damper CFF 4 5 9699376 Mechanical pump DS 102 9499315 Mechanical pump DS 42 9499309...

Page 228: ...Table Tab 4 Vent valve model selection table CONTROL UNIT MODEL VENT VALVE PART NUMBER Turbo V 81 AG Navigator Controller cable 0 7 m any version N O 9699844 Turbo V 81 AG Rack Controller cable 0 7 m...

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Page 234: ...Toll free 0800 728 1405 Singapore Agilent Technologies Singapore Pte Ltd 1 Yishun Avenue 7 Singapore 768923 Tel 65 6215 8045 Fax 65 6754 0574 Toll free 1 800 2762622 vps customerservice agilent com M...

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