Agilent Technologies 9698905, User Manual

Page: 115 / 234

Instruksjon Manual
Bruk
9
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G) 115/234
Bruk
Anvisningene for korrekt bruk av turbopumpen er beskrevet i
styreenhetens bruksanvisning. Les nøye denne manualen før du
bruker pumpen. For å forbedre grensetrykket, er det mulig å varme
opp pumpen.
Mens oppvarmingen av vakuumkammeret pågår, må temperaturen
ved inngangsflensen ikke overskride 120 °C for en ConFlat flens og
80 °C for en ISO flens.
Man må alltid bruke vannkjøling under oppvarmingsoperasjonene.
ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret,
eller ikke er lukket med lukkeflensen. Ikke berør turbopumpen eller noe av
tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
FORSIKTIG!
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i
funksjon. Lagrene kan skades. Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass
ved forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar
(over atmosfærisk trykk). Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene
utstyrt med en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive gasser
(Nitrogen eller lettere gasser) koples for å beskytte lagrene (se “Technical
Information).