Thyracont VSR53MV, Руководство по эксплуатации

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4 Betrieb
4.1 Allgemeines
Messprinzip
Vakuum Transmitter des Typs VSR besitzen eine interne Kombination aus einem
piezoresistiven Membransensor und einem Piranisensor, der die Wärmeleitfähig-
keit von Gasen zur Vakuummessung nutzt.
Unter Einwirkung des Druckes verformt sich die dünne Membran des Piezosen-
sors, auf deren Rückseite eine Widerstands-Messbrücke aufgebracht ist. Die da-
bei auftretende Verstimmung der Messbrücke ist ein Maß für den auf die Membran
wirkenden Absolutdruck.
Beim Wärmeleitungssensor wird ein Wendel-Filament in einer Wheatstone Brü-
ckenschaltung auf eine konstante Temperatur aufgeheizt. Die notwendige Brücken-
spannung ist ein Maß für den Absolutdruck.
Ausgangssignal
Das Mess-Signal 1,2 V - 8,8 V des VSR ist über den gesamten Messbereich von
5,0x10
-5
- 2000 mbar logarithmisch vom Druck abhängig. Die Umrechnung erfolgt
gemäß folgendem Zusammenhang:
V
out
(V) = log(p(mbar)) + 5,5
p(mbar) = 10
(V
out
(V) - 5,5)
Stabilisierungszeit
Die Ausgabe des Mess-Signals erfolgt ca. 2 s nach Einschalten des Geräts. Zur
Ausnutzung der vollen Genauigkeit kann es -auch nach extremen Drucksprüngen-
angebracht sein, eine Stabilisierungszeit von 5 Minuten zu beachten.
Messgenauigkeit
Das Gerät ist ab Werk in stehender Position bei einer Versorgungsspannung von
24 VDC abgeglichen. Verschmutzung, Alterung, extreme klimatische Bedingungen
oder andere Einbaulagen können ein Nachjustieren erforderlich machen.
Gasartabhängigkeit
Das Mess-Signal des Piranisensors ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N
2
bzw.
trockene Luft abgeglichen.
VSR-0-10 V-210805