MKS Granville-Phillips 203 Series, Инструкция по эксплуатации

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Series 203 Variable Leak Valve Installation and Operating Instructions
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Contents
1 Safety Hazards
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2 Important Precautions
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3 Description
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3.1 Conductance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
3.2 Throughput . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
3.3 Maximum Inlet Pressures . . . . . . . . . . . . . . 3
3.4 Gases Controlled . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
3.5 Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
3.6 Temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
3.7 Vacuum Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
4 Installation
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5 Operation
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6 Removing the Driver
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5
7 Bakeout
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5
8 Attaching the Driver
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6
9 Packaging for Shipment
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6
10 Troubleshooting
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6
11 Certification
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12 Limited Warranty
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13 Specifications
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