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Beschreibung

Inhalt

Seite

1

Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2

1.1

Aufbau und Funktion. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2

1.2

Lieferumfang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4

1.3

Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4

1.4

Bestelldaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5

2

Anschluss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

2.1

Netzspannung einstellen (Option). . . . . . . . . . . 6

2.2

TURBOVAC anschließen . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

2.3

Vorvakuumpumpe anschließen. . . . . . . . . . . . . 6

2.4

Kühlung anschließen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

2.5

Belüftungsventil anschließen . . . . . . . . . . . . . . 7

2.6

Flanschheizung anschließen. . . . . . . . . . . . . . . 7

2.7

Fernsteuerung anschließen . . . . . . . . . . . . . . . 9

2.8

TURBOTRONIK einbauen . . . . . . . . . . . . . . . 10

3

Bedienung und Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11

3.1

Inbetriebnahme  . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11

3.2

TURBOVAC starten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11

3.3

TURBOVAC ausheizen . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11

3.4

Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

3.5

TURBOVAC abschalten . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

3.6

TURBOVAC belüften. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

3.7

TURBOTRONIK ausschalten . . . . . . . . . . . . . 12

3.8

Wartung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

Fehlersuche . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
EG-Konformitätserklärung. . . . . . . . . . . . . . . . 14

The English Operating Instructions
start on page ............................................................ 16

Die  TURBOTRONIK NT 20 sind nach dem Stand der
Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen
Regeln gebaut. Dennoch können bei unsachgemäßer
Installation oder nicht bestimmungsgemäßem Gebrauch
Gefahren und Schäden entstehen.

1

Beschreibung

1.1 Aufbau und Funktion

Der elektronische Frequenzwandler TURBOTRONIK NT
20 dient zum Antrieb der Turbo-Molekularpumpen:

TURBOVAC 150, 360,

TURBOVAC 150 CSV, 360 CSV,

TURBOVAC 150 V, 360 V,

TURBOVAC 151, 151 C,  361, 361 C

TURBOVAC 600, 600 C,

TURBOVAC 1000, 1000 C, 1100 C

Diese Pumpen enthalten je einen Drehstrom-Asynchron-
motor unterschiedlicher Leistung zum Antrieb des
Rotors.

Die TURBOTRONIK NT 20 formt die einphasige Netz-
spannung in eine dreiphasige Wechselspannung um, die
in Frequenz und Amplitude geregelt wird. 

Jede angeschlossene TURBOVAC hat eine eigene
Codierung. Außerdem muss über DIP-Schalter eine
Codierung des Pumpentyps eingegeben werden. Aus
Sicherheitsgründen wird die TURBOVAC nur angetrie-
ben, wenn beide Codierungen übereinstimmen.

Abhängig vom jeweils angeschlossenen Typ sind das
Hochlaufverhalten, die Regelung während des Betriebes
und die Enddrehzahl unterschiedlich.

TURBOVAC 150 H und TURBOVAC 360 H werden von
der TURBOTRONIK NT 20 nicht unterstützt.

Die Drehzahl jeder TURBOVAC kann im Bedarfsfall
durch den LEYBOLD-Kundendienst um ±5% angepasst
werden.

Über die an der Rückseite der TURBOTRONIK NT 20
befindliche Klemmleiste kann die TURBOTRONIK
potentialfrei an externe Steuer- und Überwachungs-Ein-
richtungen (z.B. Steuergerät LEYBOTRONIK I) ange-
schlossen werden; hierüber können sowohl die Fernbe-
dienung als auch die Zustands-Meldungen des Pump-
Systems erfolgen. 

Eine Steuerung für Vorvakuumpumpe, Heizung oder
Ventile ist möglich.

Eine RS-232-Schnittstelle bietet eine weitere  Überwa-
chungsmöglichkeit. Zyklisch alle 8 s werden alle wichti-
gen internen Parameter ausgegeben; zu Einzelheiten
erbitten wir Ihre Anfrage.

Zur Bedienung der TURBOTRONIK NT 20 befinden sich
auf der Frontplatte drei Tasten:

HEATING, START und STOP.

Wichtige Betriebszustände, wie Drehzahl, Last oder
Störung werden über LEDs angezeigt.

2

GA 05.208/12 - 05/2003

Abbildungen

Abbildungshinweise, z. B. (2/10), geben mit der ersten Ziffer die
Abbildungsnummer an und mit der zweiten Ziffer die Position in die-
ser Abbildung.

Vorsicht

Steht bei Arbeits- und Betriebsverfahren, die genau einzuhalten sind,
um eine Gefährdung von Personen auszuschließen.

Achtung

Bezieht sich auf Arbeits- und Betriebsverfahren, die genau einzuhal-
ten sind, um Beschädigungen und Zerstörungen des Gerätes zu ver-
meiden.

Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen Daten behal-
ten wir uns vor.
Die Abbildungen sind unverbindlich.

Содержание TURBOTRONIK NT 20

Страница 1: ...n Applikations Unterst tzung Service LEYBOLD VACUUM TURBOTRONIK NT 20 Elektronischer Frequenzwandler Electronic Frequency Converter Kat Nr Cat No 857 20 21 22 Operating Instructions Gebrauchsanleitung...

Страница 2: ...es Pumpentyps eingegeben werden Aus Sicherheitsgr nden wird die TURBOVAC nur angetrie ben wenn beide Codierungen bereinstimmen Abh ngig vom jeweils angeschlossenen Typ sind das Hochlaufverhalten die R...

Страница 3: ...rt POWER gr n Leuchtet bei eingeschalteter Netzversorgung NORMAL gr n Leuchtet im Normal Betrieb Drehzahl ist gr er als 80 der Soll Drehzahl Blinkt w hrend Hochlauf und OVERLOAD FAILURE rot Leuchtet b...

Страница 4: ...n 1 TURBOVAC 1100 30 000 min 1 Steuer Eing nge digital potentialfrei jede Klemme max 25 Veff AC 60 V DC gegen Schutzleiter LEYBOTRONIK I kompatibel High Pegel zwischen und Klemme 13 V 33 V max 10 mA L...

Страница 5: ...sleitung zur TURBOVAC 3 m lang 857 65 5 m lang 857 66 10 m lang 857 67 20 m lang 857 68 Einbaurahmen 19 3HE 161 00 Stromausfallfluter 174 26 Verz gernde Bel ftungs Einrichtung 012 44 Flutventil zur ve...

Страница 6: ...Sicherungen eingebaut werden Dabei darf die Summe der Sicherungsst rken f r die 3 Anschl sse zusammen h chstens betragen 4 5 A f r 100 120 V 6 0 A f r 220 240 V Die Netz Anschlussleitung in die Steckd...

Страница 7: ...perrgas und Bel ftungs ventil Wenn die TURBOVAC ohne Sperrgas betrieben wird den Stromausfallfluter an der Steckdose 3 11 VALVE anschlie en Wenn die TURBOVAC mit Sperrgas betrieben wird das Sperrgas u...

Страница 8: ...0 VA einphasig dreiphasig FAILURE FAILURE Relais Zustand VALVE HEATER FAN FOREPUMP ACCEL 13 14 14 15 NORMAL 3 11 3 9 3 8 3 2 Abb 5 Abb 5 Abb 5 Netz aus offen offen offen offen offen offen geschlossen...

Страница 9: ...uls oder Dauersignal Low aktiv HEATING Heizung EIN AUS Statisches Signal High Ein Low Aus Aus sicherheitstechnischen Gr nden ist die Funktion STOP Low aktiv dominant Um die TURBOTRONIK ber die Fernbed...

Страница 10: ...ut werden Wenn die R ckseite der TURBOTRONIK nach dem Ein bau nicht mehr zug nglich ist die DIP Schalter und den Netzschalter 3 1 vor dem Einbau einschalten und ggf die Startverz gerung einstellen sie...

Страница 11: ...t die LED START dauernd und die TUR BOVAC startet W hrend der Hochlauf Phase blinkt die LED NORMAL Die LED Kette zeigt die zunehmende Drehzahl mit jeweils einer LED an Nach Erreichen von 80 der Soll D...

Страница 12: ...e St rung ist beseitigt 3 6 TURBOVAC bel ften Die TURBOVAC bei jedem Abschalten bel ften um eine m gliche R ckdiffusion von ld mpfen aus der Vorva kuumleitung zur Hochvakuumseite zu vermeiden Wenn ein...

Страница 13: ...erpr fen die Soll Drehzahl innerhalb Pumpe blockiert Leybold Kundendienst benachrichtigen von 10 Minuten Hochvakuumdruck zu hoch Vakuumbeh lter berpr fen Nr 4 Mindest Drehzahl wurde Vorvakuum 10 2 mba...

Страница 14: ...ung eines Produkts verliert diese Erkl rung ihre G ltigkeit Bezeichnung des Produkts Elektronischer Frequenzwandler Typen TURBOTRONIK NT 20 Katalog Nummern 857 20 21 22 Die Produkte entsprechen folgen...

Страница 15: ...are made to the product without consultation with us Designation of the product Electronic frequency converter Models TURBOTRONIK NT 20 Catalog numbers 857 20 21 22 The products comply with the follo...

Страница 16: ...nction The electronic frequency converter TURBOTRONIK NT 20 is used to drive the following turbo molecular pumps TURBOVAC 150 360 TURBOVAC 150 CSV 360 CSV TURBOVAC 150 V 360 V TURBOVAC 151 151 C 361 3...

Страница 17: ...en Lights when mains power supply is on NORMAL green Lights during normal operation speed is above 80 of the target speed Flashes in case of acceleration and OVERLOAD FAILURE red Lights in case of fai...

Страница 18: ...trol Inputs digital floating each terminal 25 Veff AC max 60 V DC versus protective conductor LEYBOTRONIK I compatible High level between and terminal 13 V 33 V max 10 mA Low level between and termina...

Страница 19: ...onnection line to the TURBOVAC 3 m long 857 65 5 m long 857 66 10 m long 857 67 20 m long 857 68 Mounting frame 19 3HU 161 00 Power failure airing valve 174 26 Delaying venting device 012 44 Venting v...

Страница 20: ...case of need other fuses may be installed for VALVE HEATING and FAN However the sum of the fuses capacity for the three connections must not exceed 4 5 A for 100 120 V 6 0 A for 220 240 V Plug the pow...

Страница 21: ...resetting time can vary between 3 to 15 minutes A short power failure does not entail an unwanted ven ting Connect the delayed venting device to 3 11 2 6 Connecting the Flange Heater Only for pumps wi...

Страница 22: ...wer 750 VA single phase three phase FAILURE FAILURE Relay status VALVE HEATER FAN FOREPUMP ACCEL 13 14 14 15 NORMAL 3 11 3 9 3 8 3 2 Fig 5 Fig 5 Fig 5 Power off open open open open open open closed op...

Страница 23: ...e or continuous signal Low active HEATING Heating ON OFF steady state signal High On Low Off Due to safety reasons the STOP function Low active is dominant In order to start the TURBOTRONIK via the re...

Страница 24: ...rack If after installation the rear of the TURBOTRONIK is no longer accessible switch on the power switch 3 1 and the DIP switches before mounting and if nec set the starting delay refer to section 3...

Страница 25: ...LED will flash during the delay period after which it will remain on conti nuously and the TURBOVAC starts The acceleration relay is already active during the delay period The NORMAL LED flashes durin...

Страница 26: ...TURBOVAC runs down until it stands still If a mulfunction FAILURE occurs the malfunction signal can be reset via the STOP key provided the cause of malfunction has been eliminated 3 6 Venting of the...

Страница 27: ...speed Pump blocked Inform the Leybold after sales service within 10 minutes High vacuum pressure too high Check the vacuum chamber No 4 Speed below minimum Forevacuum pressure 10 2 mbar Check the for...

Страница 28: ...rasse 498 Bayenthal D 50968 K ln Tel 0221 347 0 Fax 0221 347 1250 http www leyboldvac de e mail documentation leyboldvac de LV_05812_2003 PG 05 03 Printed in Germany on chlorine free bleached paper Te...

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