ISVT GMC1100, Инструкция по эксплуатации, Страница: 7 / 54

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Chapter One : General Information
Introduction
GMC1100 Flow & Pressure Controller는 기본적으로 MFC(Mass Flow
Controller)에 Power(+/-15VDC)를 공급하고 Flow량을 Display하며 안정된 Set
Point Voltage(0∼5VDC)를 주어 MFC가 정확하게 Control될 수 있도록 하는
장치이다.
최대 8개의 MFC를 연결할 수 있으며, MFC를 Control할 수 있는 Channel PCB
(Printed Circuit Board)는 1장 당 2Channel(MFC 2개 연결)로 구성 되어 있다.
그러므로 MFC를 연결할 수 있는 확장 성을 보면 2,4,6,8식으로 2Channel씩 추가
할 수 있음을 알 수 있다. 추가된 PCB는 처음 Power를 켰을 때 자동으로 인식하
게 설계되었다. 또한, 2Channel(PCB 한 장)의 단위로 MFC를 연결 하지 않고
Capacitance Manometer Display Board를 이용하여 압력을 Display 할 수 있도록
설계되었다.
Option 사양으로 Upstream Pressure Control Board 를 추가 하면 따로 Pressure
Control Mode로 들어갈 수 있어서, 각 Channel에 연결된 MFC중에서 원하는
Channel들을 임의로 선택하여 Gas양을 가지고 원하는 압력을 자동으로 Control
할 수 있으며 동시에 압력도 Display할 수 있다.
여기서 Pressure Control Channel로 지정되지 않은 Channel은 따로 독립적으로
Flow양을 Control할 수 있다.
Ratio Control Function을 이용 시 8개의 Channel중 1개 Channel을 Master로
나머지 7개 Channel중 원하는 Channel들만 Slave로 설정해 각Channel별로 요구
되어지는 Gas량의 Ratio를 지정해주고, Master Channel Flow Rate의 변화에 따
른 지정된 Ratio값의 Percentage에 따라 자동으로Slave Channel들의 Flow Rate
를 조정할 수 있다. 또한 Slave로 지정되지 않은Channel들은 Ratio Control 기능
과 관계없이 독립적인 운영이 가능하다. 또한 Accumulation 기능을 이용하여 각
Channel별로 지정한 시간만큼의 Total Flow량을 볼 수 있다.
이 모든 것이 Micro Processor로 Control되며 RS-232 Interface를 이용한
PC Control도 가능하다