
- 24 -
Range Setup
각 Channel에 연결된 MFC에 대한 Full Scale을 맞추는 기능이다.
MFC를 보면 사용 Gas 및 용량(Range)이 표시되어 있는데 그 중에서도 용량을
각 Channel 별로 맞추어 주어야 한다.
Range 설정에 있어서, [
ADJ/ENT
] key를 돌려서 기본적으로 나타나는 값이 있는데
이때 [
ADJ/ENT
] key를 누르면 다시 미세 조정을 하게 되었는데, 다시 [
ADJ/ENT
]
key를 돌려서 원하는 Range로 맞추어야 하고 그렇지 않을 경우에는 [
ADJ/ENT
]
key를 다시 한번 눌러서 설정을 마쳐야 한다.
3.
“
Range Setup
”
Sub Menu로 들어가면 아래와 같이 나타난다.
2. 위의 Display 상태에서 [
ADJ/ENT
] key를 누르면,
“
Channel 1
”
에 연결된
MFC의 Range 및 Unit를 설정 할 수 있다.
Note
Range의 설정에서 기본값으로
“
1000
”
이 설정되어 있으며,
값을 줄일 땐 왼쪽으로, 값을 늘일 땐 오른쪽으로 돌린다.
[Range & Unit]
CH1:MFC 1000 SCCM
CH2:MFC 1000 SCCM
CH3:MFC 1000 SCCM
CH4:MFC 1000 SCCM
Next Channels
Exit
[Channel 1 Setup]
Device : [MFC]
Range : [1000]
Unit : [SCCM]
Exit
ESC:Cancel ENT: Save
Содержание GMC1100
Страница 2: ...2 WARRANTY ISVT Flow Pressure Controller GMC1100 1 Interface Demo Program Internet Home Page...
Страница 5: ...5 Customer Support GMC1100 Flow Pressure Controller...
Страница 31: ...31 2 5 0000 0000 cc 6 0000 0000 cc 7 0000 0000 cc 8 0000 0000 cc...
Страница 54: ...54 SPZ Set Pressure Zero Return Value OK or FL Faliure Parameter None EX Host SPZ CR GMC1100 OK CR...